JPH0138570Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は放射線環境下での目視検査を行なう際
に使用されるフアバスコープを利用した検査装置
に於いて、放射線による伝送損失を補償する補償
装置に関する。

従来、高放射線下の目視検査には、耐放射線型
ITVカメラ、或いは耐放射線型フアイバスコー
プ等が用いられていた。従来のこの種各検査装置
の構成及び問題点を第１図乃至第４図を参照して
説明する。第１図はITVカメラを用いた検査装
置の一部の構成を示したもので、被検査体１の検
査面２（被検査体１の部分的な面、或いは全或）
の目視検査を行なう場合、検査ツール３（対象に
より種々の機械要素より構成されるため、図では
簡略化して示す）によつて、ITVカメラ４を取
り付け、ミラー５等によつて投影される検査面２
を光源６により照射し、目視検査を実施する。

しかしながら、このような構成による従来の
ITVカメラを用いた検査装置においては、ITV
カメラ４の寸法、重量大によるところから、検査
ツール３の大きさ、及び強度面からの重量が増大
し、更には、ケーブル類７の引き廻し等によつて
装置構成がかなり大がかりになるという欠点を有
していた。すなわち、検査装置がかなり大きくな
つてしまうという欠点を有していた。

そこでITVカメラに代り、フアイバスコープ
を用いた検査装置が開発された。すなわち、第２
図に示す如く、検査ツール３に、ITVカメラに
代つてフアイバスコープ８を取り付けた構成とし
たもので、これにより、ITVカメラによつて生
じた上述の欠点を改善していた。

しかしながら、これら各検査装置においては、
高放射線環境下での影響により感度劣化等の不都
合が生じるという共通の問題があつた。即ち、具
体的な放射線環境下での影響として、第１図に示
したようなITVカメラを用いた場合も、又、第
２図に示したようなフアイバスコープを用いた場
合も同様に、第３図に示す如く、検査時間ｈによ
り累積される放射線の集積線量Ｒに対して、
ITVカメラ、或いはフアイバスコープの感度dB、
或いは検査信号上のＳ／Ｎが著しく損われるとい
う現象が生じる。このことは検査進行過程上、一
定した検査が事実上不可能であることを示す。

ここで、フアイバスコープを用いた検査装置に
ついて、第４図を参照して更に詳細な説明を行な
う。尚、第４図に於いて、上記した第１図、及び
第２図と同一部分に対しては同一符号を付して示
している。フアイバスコープ８は、対物レンズ部
１１により検査面２を投影し、フアイバスコープ
８の対面上に設けられた対物レンズ部１２によ
り、撮像装置１３に検査面２を撮像する構成を採
る。そして撮像装置１３により、画像を電気信号
（映像信号）１４に変換した上で処理装置（一般
的には画像処理装置）１５に入力し、信号処理し
て目視検査を実施するシステムとなつている。こ
のような構成に於いて、実際に放射線環境にさら
されるのは、フアイバスコープ８自身と光源部
６、及び対物レンズ部１１である。故に、この部
分６，８，１１には放射線による影響から光学的
な伝送損失（主にレンズ透光率低下、フアイバス
コープ伝送損失量増加等）が発生し、目視検査性
能上に於いて著しい影響を与える。

本考案は上記実情に鑑みなされたもので、放射
線環境下での目視検査を行なう際に使用されるフ
アイバスコープを利用した検査装置において、前
記フアイバスコープと該フアイバスコープを介し
て得られる光学像を入力する撮像装置との間に、
光増幅装置を介在せしめ、該光増幅装置の増幅
度、及び被検査体の検査面を照射する光源の光量
を前記撮像装置の入力光量測光信号にもとづき自
動的に制御する構成として、前記撮像装置におけ
る受光感度を一定に保ち、放射線環境下における
伝送損失増加量を自動的に補償できるようにした
補償装置を提供することを目的とする。

以下図面を参照して本考案の一実施例を説明す
る。第５図は本考案の一実施例における要部の構
成を示すもので、図中、第４図と同一部分には同
一符号を付し、その説明を省略する。ここでは、
フアイバスコープ８の対物レンズ部１２と、撮像
装置１３の受光面との間に、対物レンズを含む光
量測光部２１、及び放射線環境下におけるフアイ
バスコープ８等の伝送損失量を補償するための光
増幅装置としてイメージインテンシフアイヤ２２
が設けられる。上記光量測光部２１は、第６図に
示す如く、ハーフミラー３１、対物レンズ３２、
及びフオトセンサ（レンズ内蔵）３３等により構
成され、フオトセンサ３３より、撮像装置１３の
入力光量測光信号S_fを得る構成としている。又、
第５図において、２３は制御装置であり、光量測
光部２１より得られる測光信号S_fにもとづいて、
イメージインテンシフアイヤ２２の光増幅度、及
び光源６の光量を制御し、撮像装置１３へ入力さ
れる光学像が常に一定レベル状態となるよう、即
ち、撮像装置１３の受光感度を常に一定にすべく
伝送損失量に対する自動補償制御を行なう。

ここで一実施例の作用を説明する。フアイバス
コープ８を介して伝送された検査面２上の光学像
はイメージインテンシフアイヤ２２、及び光量測
光部２１を経て撮像装置１３に入力される。この
際、撮像装置１３の入力光量が光量測光部２１に
て測光され、その測光信号S_fが制御装置２３に入
力される。この測光信号S_fは、フアイバスコープ
８の伝送損失量を示す参照信号となるもので、該
測光信号S_fにもとづき、制御装置２３は、光源部
６の光量、及びイメージインテンシフアイヤ２２
の光増幅度を制御し、撮像装置１３へ入力される
光学像が常に最適状態となるよう、即ち、撮像装
置１３における受光感度を一定に保つよう、フア
イバスコープ８の伝送損失量に対する自動補償を
行なう。これにより、放射線環境下におけるフア
イバスコープ８等の光伝送損失量が増加し、フア
イバスコープ８より出力される光学像の輝度が低
下しても、これをイメージインテンシフアイヤ２
２にて伝送損失量に応じた適度の光増幅度をもつ
て十分に補償し得、撮像装置１３に常に一定した
光学像を入力できることから、安定画像による目
視検査が実施できる。

ここで、実質的な伝送損失量から作用を説明す
ると、フアイバスコープ８は、その特性から、放
射線未照射状態でも〜20dB／100ｍ程度の伝送損
失を発生する。実質光源光量を１ルクスとする
と、（dB＝10logA）より、光電面照度は１／100
ルクスに低下している。従つて、放射線による損
失増加量を30dB／100ｍとすれば、全体で〜
50dB／100ｍ程度となり、１／10⁵にまで低下す
る。よつて光源光量の増大のみでは補償が不可能
であるため、イメージインテンシフアイヤ２２を
併用して用いる。これにより、〜10^-5ルクス程度
まで受光感度が得られることから、光源６との組
み合わせで十分上記伝送損失に対しての補償が可
能となる。具体的には、 １ 光源光量の補償可能範囲 光源光量（平均照度）5000ルクスまで可、 被写体反射率 0.1〜0.2程度 故に、0.1×5000ルクス〜0.2×5000ルクスが可
能。

２ インテンシフアイヤの補償可能範囲 10^-5ルクス程度まで可能（自動感度調整機能
付）。

この１），２）の実効値より、伝送損失による
補償が十分に可能であることが判る。

以上詳記したように本考案の補償装置によれ
ば、放射線環境下での目視検査を行なう際に使用
されるフアイバスコープを利用した検査装置にお
いて、前記フアイバスコープと該フアイバスコー
プを介して得られる光学像を入力する撮像装置と
の間に光増幅装置を介在せしめ、該光増幅装置の
増幅度、及び被検査体の検査面を照射する光源の
光量を前記撮像装置の入力光量測定信号にもとづ
いて自動的に制御する構成としたことにより、撮
像装置の受光感度を一定に保ち、放射線環境下に
おける伝送損失増加量を自動的に補償して常に安
定した画像による目視検査の実施が可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図及び第４図は、それぞれ従来の
検査装置の構成を示す図、第３図は上記第１図、
及び第２図の構成による検査装置の放射線集積線
量に対する伝送損失特性を説明するための図、第
５図は本考案の一実施例における要部の構成を示
す図、第６図は上記実施例における光量測光部の
構成を示す図である。 ６……光源部、８……フアイバスコープ、１
１，１２……対物レンズ部、１３……撮像装置、
２１……光量測光部、２２……イメージインテン
シフアイヤ、２３……制御装置。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 放射線環境下での目視検査のためのフアイバス
   コープを用いた検査装置において、前記フアイバ
   スコープと該フアイバスコープを介して伝送され
   た被検査面の光学像を撮像する撮像装置との間に
   設けられた光増幅装置、及び前記撮像装置の入力
   光量を測光する光量測光部と、前記被検査面を照
   射する光源部と、前記光量測光部の測光出力信号
   にもとづいて、前記光増幅装置の増幅度、及び前
   記光源部の光量を制御する制御装置とを具備し、
   前記制御装置の光量制御及び光増幅度制御によ
   り、放射線環境下における光伝送損失増加量を補
   償することを特徴とした補償装置。