JPH0139043B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0139043B2 JPH0139043B2 JP14687578A JP14687578A JPH0139043B2 JP H0139043 B2 JPH0139043 B2 JP H0139043B2 JP 14687578 A JP14687578 A JP 14687578A JP 14687578 A JP14687578 A JP 14687578A JP H0139043 B2 JPH0139043 B2 JP H0139043B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pattern
- memory
- picture element
- circuit
- recognition
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はプリント板用フオトマスク等のパター
ン検査方式に関する。
ン検査方式に関する。
一般にプリント板はフオトレジストを施した銅
張基板にプリント板パターンを有するフオトマス
クを密着して露光した後、エツチング処理等を経
て完成する。
張基板にプリント板パターンを有するフオトマス
クを密着して露光した後、エツチング処理等を経
て完成する。
従つて１枚のフオトマスクを基に多数のプリン
ト板が作成される場合があり、完成したフオトマ
スクが所定のパターン形状およびパターン幅を有
しているか否かを検査する作業は重要である。
ト板が作成される場合があり、完成したフオトマ
スクが所定のパターン形状およびパターン幅を有
しているか否かを検査する作業は重要である。
従来このようなフオトマスクの検査は顕微鏡等
を使用して人手による方法で行なつているが、こ
の方法ではパターン検査能率がきわめて低いとい
う問題がある。そこで最近、被検査資料パターン
面を光で走査してパターン形状を２値化信号に変
換してメモリに記憶させ、この記憶内容を読出
し、パターン幅の測長等を行なう自動検査方式も
開発されている。
を使用して人手による方法で行なつているが、こ
の方法ではパターン検査能率がきわめて低いとい
う問題がある。そこで最近、被検査資料パターン
面を光で走査してパターン形状を２値化信号に変
換してメモリに記憶させ、この記憶内容を読出
し、パターン幅の測長等を行なう自動検査方式も
開発されている。
しかしながら例えばプリント板パターンのリー
ド幅の自動測長を行なう場合は、リードの走つて
いる方向に対し常に直角方向にリード幅を測る必
要がある。
ド幅の自動測長を行なう場合は、リードの走つて
いる方向に対し常に直角方向にリード幅を測る必
要がある。
リードの走行方向がＹ軸またはＸ軸に平行な場
合は自動測長が比較的簡単であるが、斜め方向に
走つている場合は、まずパターンの走つている角
度を判定し、この角度からパターン幅を測長する
必要がある。最近プリント板パターンも多様化し
ており、複雑なパターンも多く採用されている。
合は自動測長が比較的簡単であるが、斜め方向に
走つている場合は、まずパターンの走つている角
度を判定し、この角度からパターン幅を測長する
必要がある。最近プリント板パターンも多様化し
ており、複雑なパターンも多く採用されている。
以上のような複雑なパターンを自動検査する事
は検査回路が複雑、高価となり、場合によつては
自動測長不可能の場合も生じる。
は検査回路が複雑、高価となり、場合によつては
自動測長不可能の場合も生じる。
本発明の目的は上記問題点を解決するパターン
検査方式を提供するもので、複雑なパターンでも
簡単に検査することができる。
検査方式を提供するもので、複雑なパターンでも
簡単に検査することができる。
上記本発明の目的は被検査資料パターン上の予
め決められた複数の検査ポイントにパターンが存
在するか否かを検出し、この検出した情報に対応
して予め登録されているパターン絵素を合成し、
この合成パターンと、前記被検査資料パターンと
を比較してパターンの検査する事により達成され
る。
め決められた複数の検査ポイントにパターンが存
在するか否かを検出し、この検出した情報に対応
して予め登録されているパターン絵素を合成し、
この合成パターンと、前記被検査資料パターンと
を比較してパターンの検査する事により達成され
る。
次に図面により本発明の詳細を説明する。
第１図は本発明の実施例によるパターン検査装
置構成図、第２図はパターン絵素認知ポイント設
定図例、第３図は本発明の実施例によるパターン
検査方式説明図を示す。
置構成図、第２図はパターン絵素認知ポイント設
定図例、第３図は本発明の実施例によるパターン
検査方式説明図を示す。
図において１は被検査資料パターン、２は画像
メモリ、３はパターン絵素認知回路、４は絵素メ
モリ抽出回路、５は絵素メモリ群、６は絵素メモ
リ合成回路、７はパターン比較回路、８は欠陥個
所メモリ回路、９は表示回路、１０はテレビカメ
ラを示す。
メモリ、３はパターン絵素認知回路、４は絵素メ
モリ抽出回路、５は絵素メモリ群、６は絵素メモ
リ合成回路、７はパターン比較回路、８は欠陥個
所メモリ回路、９は表示回路、１０はテレビカメ
ラを示す。
第１図によりパターン検査装置の動作概要を説
明する。
明する。
被検査資料パターン１の一定範囲（グリツト四
方）をテレビカメラで撮影し、このパターン情報
を２値化して画像メモリ２に記憶する。この画像
メモリ２上のパターンの予め決められている認知
ポイントにパターンがあるか否かをパターン絵素
認知回路３で調べる。絵素メモリ抽出回路４は、
この認知情報を基に、予め登録されている絵素メ
モリ群５の中から、複数の絵素メモリを抽出し、
絵素メモリ合成回路６でパターンを合成する。こ
の合成パターンと画像メモリ２の内容をパターン
比較回路７で比較し、その結果一致しない個所を
欠陥個所として欠陥個所メモリ回路８に記憶し、
表示回路９にて表示する。
方）をテレビカメラで撮影し、このパターン情報
を２値化して画像メモリ２に記憶する。この画像
メモリ２上のパターンの予め決められている認知
ポイントにパターンがあるか否かをパターン絵素
認知回路３で調べる。絵素メモリ抽出回路４は、
この認知情報を基に、予め登録されている絵素メ
モリ群５の中から、複数の絵素メモリを抽出し、
絵素メモリ合成回路６でパターンを合成する。こ
の合成パターンと画像メモリ２の内容をパターン
比較回路７で比較し、その結果一致しない個所を
欠陥個所として欠陥個所メモリ回路８に記憶し、
表示回路９にて表示する。
次に第２図および第３図を用いて、さらに具体
的に本発明のパターン検査方式を説明する。
的に本発明のパターン検査方式を説明する。
第２図は１グリツト内のパターン絵素認知ポイ
ント設定図例を示すもので、１′〜１６′はパター
ン認知ポイントを示すもので、この点に黒パター
ンがあるか否か調べる。Ｂ１〜Ｂ１６は黒パター
ン絵素番号、Ｗ１７〜Ｗ２５は白パターン絵素番
号を示す。
ント設定図例を示すもので、１′〜１６′はパター
ン認知ポイントを示すもので、この点に黒パター
ンがあるか否か調べる。Ｂ１〜Ｂ１６は黒パター
ン絵素番号、Ｗ１７〜Ｗ２５は白パターン絵素番
号を示す。
例えば第３図に示すような被検査パターン１の
点線で囲まれた１グリツドの範囲Ａをテレビカメ
ラで撮影し、この映像を抽出して画像メモリ２に
記憶する。
点線で囲まれた１グリツドの範囲Ａをテレビカメ
ラで撮影し、この映像を抽出して画像メモリ２に
記憶する。
なお説明を簡単にするために画像メモリ２は範
囲Ａの中の一部分ａの記録パターン部分について
説明する。
囲Ａの中の一部分ａの記録パターン部分について
説明する。
パターン絵素認知回路３ではパターンａの部分
の認知ポイントに対応して、これらの点の黒また
は白パターンの存在を調べる。この結果、認知ポ
イント９′に黒パターンがあり、認知ポイント
１′，５′，１７′，１９′に黒パターンが存在しな
い事を認知する。この認知情報により絵素メモリ
抽出回路４は絵素メモリ群５の中から絵素９のメ
モリを抽出して絵素メモリ合成回路６で合成す
る。この合成回路６で合成したメモリの内容と画
像メモリ２の内容をパターン比較回路７で比較
し、この結果を欠陥個所メモリ８に格納する。
の認知ポイントに対応して、これらの点の黒また
は白パターンの存在を調べる。この結果、認知ポ
イント９′に黒パターンがあり、認知ポイント
１′，５′，１７′，１９′に黒パターンが存在しな
い事を認知する。この認知情報により絵素メモリ
抽出回路４は絵素メモリ群５の中から絵素９のメ
モリを抽出して絵素メモリ合成回路６で合成す
る。この合成回路６で合成したメモリの内容と画
像メモリ２の内容をパターン比較回路７で比較
し、この結果を欠陥個所メモリ８に格納する。
以上具体例にて説明した如く本発明のパターン
検査方式によると認識対象から該認識対象の正常
パターンを作り検査パターンと比較することによ
り比較用の検査対象が不必要となる効果がある。
検査方式によると認識対象から該認識対象の正常
パターンを作り検査パターンと比較することによ
り比較用の検査対象が不必要となる効果がある。
第１図は本発明の実施例によるパターン検査装
置構成図、第２図はパターン絵素認知ポイント設
定図例、第３図は本発明の実施例によるパターン
検査方式説明図を示す。 図において１は被検査資料パターン、２は画像
メモリ、３はパターン絵素認知回路、４は絵素メ
モリ抽出回路、５は絵素メモリ群、６は絵素メモ
リ合成回路、７はパターン比較回路、８は欠陥個
所メモリ回路、９は表示回路、１０はテレビカメ
ラを示す。
置構成図、第２図はパターン絵素認知ポイント設
定図例、第３図は本発明の実施例によるパターン
検査方式説明図を示す。 図において１は被検査資料パターン、２は画像
メモリ、３はパターン絵素認知回路、４は絵素メ
モリ抽出回路、５は絵素メモリ群、６は絵素メモ
リ合成回路、７はパターン比較回路、８は欠陥個
所メモリ回路、９は表示回路、１０はテレビカメ
ラを示す。
Claims (1)
- １ 被検査資料パターンの所定の範囲を有するグ
リツドのパターン情報を２値化してメモリ２に格
納する手段と、該グリツドの予め決められている
認知ポイントに黒パターンまたは白パターンの存
在を認知する手段と、該認知情報に基づき絵素メ
モリ群より所定の絵素メモリを抽出する手段と、
該抽出した絵素メモリを合成する手段と、該合成
された絵素メモリと該メモリ２の内容を比較する
手段から構成されることを特徴とするパターン検
査方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14687578A JPS5572805A (en) | 1978-11-28 | 1978-11-28 | Pattern check system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14687578A JPS5572805A (en) | 1978-11-28 | 1978-11-28 | Pattern check system |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5572805A JPS5572805A (en) | 1980-06-02 |
| JPH0139043B2 true JPH0139043B2 (ja) | 1989-08-17 |
Family
ID=15417533
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14687578A Granted JPS5572805A (en) | 1978-11-28 | 1978-11-28 | Pattern check system |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5572805A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61239105A (ja) * | 1985-04-17 | 1986-10-24 | Fuji Electric Co Ltd | 印刷パタ−ンの検査方法 |
-
1978
- 1978-11-28 JP JP14687578A patent/JPS5572805A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5572805A (en) | 1980-06-02 |
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