JPH0139375B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、例えばウエハーなどのようにゴミや
ホコリをきらう荷をクリーンルーム内で搬送する
のに採用されるクリーンルーム内の荷搬送設備に
関するものである。

従来例の構成とその問題点 従来においては、クリーンルーム内にレールを
配設し、このレールに案内されて一定経路上を往
復走行自在な自走台車を設ける構成が採用されて
いる。ここで自走台車は走行用駆動モータを有
し、さらに上部に向き変更自在な荷支持部を設け
た場合には向き変更駆動モータを有する。これは
自走台車の大型・重量化を招き、その結果、荷搬
送設備の全体は大型化し、クリーンルーム内にお
ける設備占有空間が大となつていた。また従来形
式では、自走台車の車輪がレールに接触転動する
際に、或いはレールに敷設した給電レールに自走
台車側の集電ブラシが擢接する際に、夫々粉塵が
発生し、クリーン化に悪影響を及ぼすことにな
る。この粉塵に対処するためにレールをダクト内
に配設する形式が考えられているが、これによる
と荷搬送設備はさらに大型化することになる。

発明の目的 本発明は、上記従来の問題点を解決し得るクリ
ーンルーム内の荷搬送設備を提供することを目的
とする。

発明の構成 上記目的を達成するために本発明におけるクリ
ーンルーム内の荷搬送設備は、下部外面側に吸引
ダクトを付設した箱形ダクトを設け、この箱形ダ
クト内の底面上にガイド体を敷設し、このガイド
体に擢動案内される被ガイド体を箱形ダクト内に
配設した可動台に取付け、前記箱形ダクト内に索
体を配設すると共に、この索体の適所を前記可動
台に連結し、前記索体を長さ方向に往復移動させ
る駆動装置を、前記箱形ダクトの端部側に形成し
た作動室内に設け、前記箱形ダクトの天板に形成
したスリツトを通る縦軸を前記可動台に回転自在
に取付け、前記縦軸の突出部に短形板状の荷支持
部を長さ方向の一端をして取付け、前記可動台に
押し引きロツドを設けると共に、この押し引きロ
ツドの押し引き動により前記縦軸を正逆回転すべ
く両者を連動連結し、前記箱形ダクトの適所外方
に荷受け渡し装置を設けると共に、当該適所にお
いて、前記押し引きロツドに対向自在な操作装置
を該箱形ダクトに設けて構成している。

実施例と作用 以下に本発明の一実施例を図面に基づいて説明
する。１はクリーンルーム２内に配設した箱形ダ
クトで、底板１Ａと、左右一対の側板１Ｂと、天
板１Ｃとにより構成され、天板１Ｃの巾方向中央
部に長さ方向全長に亘つてのスリツト３を形成す
ると共に、底板１Ａに多数の吸引孔４を形成して
いる。前記箱形ダクト１内で底板１Ａ上には、
LMガイド構造の一方であるガイド体５が長さ方
向全長に亘つて敷設され、このガイド体５に擢接
案内される他方である被ガガイド体６が、前記箱
形ダクト(1)内に配設した可動台７の下部に取付け
てある。前記箱形ダクト１内には無端状の索体８
が長さ方向に沿つて配設される。すなわち前記箱
形ダクト１の一端部側には、前後ならびに上下に
位相をずらせた一対の案内輪９，１０と、これら
案内輪９，１０の下方に位置する駆動輪１１とが
配設され、また他端部側には、前後ならびに上下
に位相をずらせた一対の案内輪１２，１３と、こ
れら案内輪１２，１３の下部に位置するテンシヨ
ン輪１４とが配設される。前記索体８はこれら輪
９〜１４間に亘つて配設され、したがつて箱形ダ
クト１内においては、一側において上下一対で且
つ長さ方向全長に亘つて位置することになる。な
お箱形ダクト１内には、前記索体８のたるみを防
止するための受け輪１５が復数個設けてある。索
体８の上位直線部における適所が、前記可動台７
からの連結部材１６によつて連結されている。前
記箱形ダクト１の一端部側にはカバー枠１７によ
つて作動室１８が形成され、この作動室１８内に
前記索体８を長さ方向に往復移動させる駆動装置
１９が設けられる。この駆動装置１９は、モータ
２０と、このモータ２０の出力軸２１と駆動輪軸
２１とを連動する伝動機構２３とからなる。前記
箱形ダクト１の他端側にはカバー枠２４によつて
調整室２５が形成され、この調整室２５内にはガ
イドロツド２６に案内されて昇降自在なウエイト
２７を設けると共に、このウエイト２７の上部に
前記テンシヨン輪１４を取付けている。したがつ
て駆動装置１９を正逆駆動することによつて、箱
形ダクト１内で可動台７を往復移動し得る。前記
可動台７の他端側上部には、軸受装置２８を介し
て縦軸２９が回転自在に設けてあり、この縦軸２
９は前記スリツト３を通つて外方に突出する。前
記縦軸２９の突出部には、矩形板状（長方形板
状）の荷支持部３０が長さ方向の一端をして取付
けてあり、さらに荷支持部３０の上面に位置規制
板３１を取付けて、該荷支持部３０の長さ方向に
おける中間部と他端とに夫々キヤリア（ウエハー
を収納したもので、荷の一例である。）３２を載
置自在としている。なおキヤリア３２は上端に側
方に突出する係止部３２Ａを有する前記可動台７
上に左右一対の支持ブラケツト３３が設けられ、
これら支持ブラケツト３３間に上下複数本のガイ
ドロツド３４が取付けてある。これらガイドロツ
ド３４に案内されて左右移動自在なブロツク３５
が設けられ、このブロツク３５は一側の支持ブラ
ケツト３３との間に設けたばね３６によつて他側
方向に移動付勢されている。前記ブロツク３５に
はガイドロツド３４に沿つた押し引きロツド３７
が挿通され、この押し引きロツド３７の一側にス
トツパ板３８を取付けると共に、他側に操作受け
具３９を取付けている。前記押し引きロツド３７
は、操作受け具３９とブロツク３５との間に設け
た緩衛ばね４０によつて他側方向に引き出し付勢
され、また操作受け具３９の他側面は平面視Ｖ状
の位置出し面３９ａに形成してある。なお緩衛ば
ね４０の弾性力は前記ばね３６の弾性力よりも大
に設定してある。したがつて押し引きロツド３７
を押し込み移動させたとき、ばね３６に抗してブ
ロツク３５が一体的に移動することになる。前記
ブロツク３５にラツク部４１を設けると共に、こ
のラツク部４１に咬合するピニオン４２を前記縦
軸２９に取付けており、これにより、押し引きロ
ツド３７の押し引き動により縦軸２９を正逆回転
すべく両者３７，２９は連動連結される。ここ
で、押し引きロツド３７が他側に最も引き出され
たとき、前記荷支持部３１はその長さ方向が箱形
ダクト１の長さ方向に沿うように設定してある。
前記箱形ダクト１の適所外方で一側方向には荷受
け渡し装置４３が設けられ、また他側には前記押
し引きロツド３７に対向自在な操作装置４４を該
箱形ダクト１に設けている。前記操作装置４４
は、駆動部４５と、その駆動により操作受け具３
９に対して接近離間動を行なう操作杆４６と、こ
の操作杆４６の内端に取付けたローラ４７とから
なり、前記操作杆４６は側板１Ｂに形成した貫通
孔４８を通つて箱形ダクト１内に位置すると共
に、箱形ダクト１外の全体はカバー４９によつて
覆つている。ここで操作杆４６のストロークは、
前記荷支持部３０を〔90＋α〕度回転させるに必
要な長さに設定してあり、その際に荷支持部３０
を90度回転に規制する当て止めブラケツト５０を
設けて、α度分は緩衛ばね４０で吸収するように
構成してある。なお当て止めブラケツト５０は縦
軸２９に取付けられ、そして荷支持部３０を受け
止めるものである。前記荷受け渡し装置４３は、
立設した四角状の角筒体５１と、この角筒体５１
の前面中央に形成した上下方向のスリツト５２
と、このスリツト５２を通つて角筒体５１の内外
に亘つて位置する可動体５３と、角筒体５１の後
部内面に取付けた上下方向のガイドレール５４
と、このガイドレール５４に案内され且つ前記可
動体５３と一体の被ガイド体５５と、チエン駆動
形式の昇降駆動装置５６と、前記可動体５３の前
面に取付けた荷保持具５７とからなり、この荷保
持具５７は一対の保持腕５７ａ，５７ａを有す
る。両保持腕５７ａの内側面間距離は、キヤリア
３２の通過は許すけれども係止部３２Ａの通過は
許さない寸法に設定してある。５８はロケートピ
ンを示す。前記箱形ダクト１における底板１Ａの
外側（下面側）には吸引ダクト５９が配設され、
この吸引ダクト５９には吸引管６０が連通してい
る。

以下に上記実施例における作用について説明す
る。ここでは荷支持部３０上のキヤリア３２を荷
受け渡し装置４３によつて床側に移載する作用を
説明するが、これは逆操作を行なうことによつて
床側のキヤリア３２を荷支持部３０上に移載し得
るものである。荷支持部３０上にキヤリア３２を
載置している状態において該荷支持部３０は長さ
方向が箱形ダクト１の長さ方向に沿つており、箱
形ダクト１の巾内に納まつている。このとき、例
えば第５図実線に示すように両ばね３６，４０は
伸び切つており、ブロツク３５ならびに押し引き
ロツド３７ともに他側へと最も移動している。こ
の状態で駆動装置１９を作動させ索体８を移動さ
せる。すると、連結部材１６などを介して索体８
と一体の可動台７が、被ガイド体６を介してガイ
ド体に案内されて移動し、そして適当な検出手段
による検出によつて荷受け渡し装置４３ならびに
操作装置４４の箇所で停止する。次いで操作装置
４４を作動させ、操作杆４６を介してローラ４７
を前進させる。すると、先ずローラが位置出し面
３９ａに接当し、押し引きロツド３７を一体的に
押し込み移動させる。このとき緩衛ばね４０の弾
性力がばね３６の弾性力よりも大であることから
ばね３６に抗してブロツク３５が移動し、ラツク
部４１とピニオン４２を介して縦軸２９が回転す
る。これにより縦軸２９と共に荷支持部３０が揺
動し、キヤリア３２を箱形ダクト１の一側外方に
はり出させる。荷支持部３０を直角に90度揺動さ
せたとき、軸受装置２８が当て止めブラケツト５
０に接当し、それ以上の揺動が阻止される。その
後、少し（α分）だけ操作杆４６が移動するが、
その移動量は緩衛ばね４０の弾性変形によつて吸
収され、以つて第６図仮想線の状態になる。キヤ
リア３２をはり出したとき、第３図実線に示すよ
うにキヤリア３２の下方に保持腕５７ａが位置し
ており、この状態で昇降駆動装置５６を作動させ
て保持腕５７ａを上昇させる。両保持腕５７ａは
キヤリア３２の側方を上昇し、係止部３２Ａに係
止して第３図仮想線イで示すようにキヤリア３２
を荷支持部３０から上方に持ち上げる。その後、
操作装置４４を逆作動させて操作杆４６を退入さ
せる。すると先ず緩衛ばね４０の弾性力により押
し引きロツド３７が押し出され、そしてばね３６
の弾性力によりブロツク３５を他側に向けて移動
させる。この移動により、ラツク部４１をピニオ
ン４２とを介して縦軸２９を前述とは逆回転さ
せ、空の荷支持部３０を第５図仮想線に示すよう
に箱形ダクト１内に納まるべく揺動させる。そし
て可動台７は復帰移動される。第３図仮想線イで
示すように保持腕５７ａで受取られたキヤリア３
２は、その受取りがロケートピン５８を介して行
なわれることから精度良く行なわれる。前述した
ように荷支持部３０が逃げたのち、昇降駆動装置
５６を逆作動させて保持腕５７ａを下降させる。
これにより第３図仮想線ロで示すようにキヤリア
３２は降される。降されたキヤリア３２は機械的
あるいは人為的に除去される。

上述したような作業中において箱形ダクト１側
には、スリツト３から箱形ダクト１内、吸引孔
４、吸引ダクト５９内、吸引管６０へと流れる気
流が発生しており、したがつて箱形ダクト１内で
発生した粉塵はスリツト３からクリーンルーム２
内に漏出することなく、吸引管６０を通して吸引
除去される。

上記実施例で示すように、位置出し面３９ａと
ローラ４７との組合せ構造を採用することによ
り、位置出し精度を出すことが可能である。また
当て止めブラケツト５０と緩衛ばね４０の構成に
より、操作装置４４の操作量を（90＋α）度に設
定することによつて常に90度の回転を可能にでき
る。

発明の効果 本発明構成におけるクリーンルーム内の荷搬送
設備によると、次のような効果を期待できる。す
なわち走行駆動装置や荷支持部回転駆動装置を可
動台（走行台）側に持たさないことから、この可
動台の小型・軽量化を期待でき、これは箱形ダク
トを含む設備全体の小型化を可能にできてクリー
ンルーム内における設備占有空間を小さくでき、
スペース的に配設を容易に行なうことができる。
また車輪や集電機構を使用しないことから、箱形
ダクト内での粉塵の発生を極減できる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例を示し、第１図は縦断
側面図、第２図は一部切欠き平面図、第３図は正
面図、第４図は要部の一部切欠き斜視図、第５図
は要部の横断平面図、第６図は同縦断正面図であ
る。 １……箱形ダクト、１Ａ……底板、１Ｂ……側
板、１Ｃ……天板、２……クリーンルーム、３…
…スリツト、５……ガイド体、……被ガイド体、
７……可動台、８……索体、１８……作動室、１
９……駆動装置、２５……調整室、２９……縦
軸、３０……荷支持部、３２……キヤリア（荷）、
３２Ａ……係止部、３５……ブロツク、３６……
ばね、３７……押し引きロツド、３８……ストツ
パ板、３９……操作受け具、３９ａ……位置出し
面、４０……緩衛ばね、４１……ラツク部、４２
……ピニオン、４３……荷受け渡し装置、４４…
…操作装置、４６……操作杆、４７……ローラ、
５０……当て止めブラケツト、５３……可動体、
５６……昇降駆動装置、５７……荷保持具、５７
ａ……保持腕、５９……吸引ダクト。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 下部外面側に吸引ダクトを付設した箱形ダク
   トを設け、この箱形ダクト内の底面上にガイド体
   を敷設し、このガイド体に擢動案内される被ガイ
   ド体を箱形ダクト内に配設した可動台に取付け、
   前記箱形ダクト内に索体を配設すると共に、この
   索体の適所を前記可動台に連結し、前記索体を長
   さ方向に往復移動させる駆動装置を、前記箱形ダ
   クトの端部側に形成した作動室内に設け、前記箱
   形ダクトの天板に形成したスリツトを通る縦軸を
   前記可動台に回転自在に取付け、前記縦軸の突出
   部に短形板状の荷支持部を長さ方向の一端をして
   取付け、前記可動台に押し引きロツドを設けると
   共に、この押し引きロツドの押し引き動により前
   記縦軸を正逆回転すべく両者を連動連結し、前記
   箱形ダクトの適所外方に荷受け渡し装置を設ける
   と共に、当該適所において、前記押し引きロツド
   に対向自在な操作装置を該箱形ダクトに設けたこ
   とを特徴とするクリーンルーム内の荷搬送設備。