JPH0211376Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案は、例えばウエハーなどのようにゴミや
ホコリをきらう荷をクリーンルーム内で搬送する
荷搬送装置と床側との間で荷の受け渡しを行なう
荷受け渡し装置、換言すれば、天井側からクリー
ンエアーを下吹きし、下降するエアーを床下に吸
引するクリーンルーム内の天井側に荷搬送装置を
配設し、この荷搬送装置と床側との間で荷の受け
渡しを行なう荷受け渡し装置に関するものであ
る。

従来例の構成とその問題点 従来の荷受け渡し装置は、床上に位置調整台車
を設け、この位置調整台車から立設した角筒体の
前面に上下方向のスリツトを形成し、このスリツ
トに案内されて昇降自在で且つ保持腕が前方に突
出する荷保持具を設け、この荷保持具の昇降駆動
装置を角筒体内に配設して構成している。このよ
うな荷受け渡し装置においては、荷保持具の昇降
ガイド機構を含む昇降駆動装置に摩損などにより
多くのゴミなどが発生し、このゴミなどが角筒体
内からスリツトを通つてクリーンルーム内に流出
してクリーン化に悪影響を及ぼすことになる。ま
た保持腕により取扱われる荷はスリツトの前方に
位置していることから、このスリツトから流出す
るゴミなどは荷側に簡単に移行することになる。

考案の目的 本考案の目的とするところは、昇降駆動装置側
で発生したゴミなどを、スリツトからクリーンル
ーム内に流出させることなく床下側に除去し得る
クリーンルーム内の荷受け渡し装置を提供する点
にある。

考案の構成 上記目的を達成するために本考案におけるクリ
ーンルーム内の荷受け渡し装置は、床下に位置調
整台車を配設し、この位置調整台車から床を貫通
して角筒体を立設し、この角筒体の両側板に上下
方向のスリツトを形成し、これらスリツトに案内
されて昇降自在で且つ保持腕が前方に突出する荷
保持具を設け、この荷保持具の昇降駆動装置を前
記角筒体内に配設し、さらに角筒体の下部に吸引
ダクトを連通して構成している。

実施例と作用 以下に本考案の一実施例を図面に基づいて説明
する。８０はクリーンルームで、天井８１側から
フイルター８２を通してクリーンエアー８３を下
吹きし、下降するエアーをメツシユ形式の床８４
を通して床下空間８５内に吸引するように構成し
てある。次に荷搬送装置８６の詳細を説明する。
１はクリーンルーム８０内に配設した箱形ダクト
で、底板１Ａと、左右一対側板１Ｂと、天板１Ｃ
とにより構成され、天板１Ｃの巾方向中央部に長
さ方向全長に亘つてのスリツト３を形成すると共
に、底板１Ａに多数の吸引孔４を形成している。
前記箱形ダクト１内で底板１Ａ上には、LMガイ
ド構造の一方であるガイド体５が長さ方向全長に
亘つて敷設され、このガイド体５に摺接案内され
る他方である被ガイド体６が、前記箱形ダクト１
内に配設した可動台７の下部に取付けてある。前
記箱形ダクト１内には無端状の索体８が長さ方向
に沿つて配設される。すなわち前記箱形ダクト１
の一端部側には、前後ならびに上下に位相をずら
せた一対の案内輪９，１０と、こられ案内輪９，
１０の下方に位置する駆動輪１１とが配設され、
また他端部側には、前後ならびに上下に位相をず
らせた一対の案内輪１２，１３と、これら案内輪
１２，１３の下方に位置するテンシヨン輪１４と
が配設される。前記索体８はこれら輪９〜１４間
に亘つて配設され、したがつて箱形ダクト１内に
おいては、一側において上下一対で且つ長さ方向
全長に亘つて位置することになる。なお箱形ダク
ト１内には、前記索体８のたるみを防止するため
の受け軸１５が複数個設けてある。索体８の上位
直線部における適所が、前記可動台７からの連結
部材１６によつて連結されている。前記箱形ダク
ト１の一端部側にはカバー枠１７によつて作動室
１８が形成され、この作動室１８内に前記索体８
を長さ方向に往復移動させる駆動装置１９が設け
られる。この駆動装置１９は、モータ２０と、こ
のモータ２０の出力軸２１と駆動輪軸２２とを連
動する伝動機構２３とからなる。前記箱形ダクト
１の他端側にはカバー枠２４によつて調整室２５
が形成され、この調整室２５内にはガイドロツド
２６に案内されて昇降自在なウエイト２７を設け
ると共に、このウエイト２７の上部に前記テンシ
ヨン輪１４を取付けている。したがつて駆動装置
１９を正逆駆動することによつて、箱形ダクト１
内で可動台７を往復移動し得る。前記可動台７の
他端側上部には、軸受装置２８を介して縦軸２９
が回転自在に設けてあり、この縦軸２９は前記ス
リツト３を通つて外方に突出する。前記縦軸２９
の突出部には、矩形板状の（長方形板状）の荷支
持部３０が長さ方向の一端をして取付けてあり、
さらに荷支持部３０の上面に位置規制板３１を取
付けて、該荷支持部３０の長さ方向における中間
部と他端とに夫々キヤリア（ウエハーを収納した
もので、荷の一例である）３２を載置自在として
いる。なおキヤリア３２は上端に側方に突出する
係止部３２Ａを有する前記可動台７上に左右一対
の支持ブラケツト３３が設けられ、これら支持ブ
ラケツト３３間に上下複数本のガイドロツド３４
が取付けてある。これらガイドロツド３４に案内
されて左右移動自在なブロツク３５が設けられ、
このブロツク３５は一側の支持ブラケツト３３と
の間に設けたばね３６によつて他側方向に移動付
勢されている。前記ブロツク３５にはガイドロツ
ド３４に沿つた押し引きロツド３７が挿通され、
この押し引きロツド３７の一側にストツパ板３８
を取付けると共に、他側に操作受け具３９を取付
けている。前記押し引きロツド３７は、操作受け
具３９とブロツク３５との間に設けた緩衝ばね４
０によつて他側方向に引き出し付勢され、また操
作受け具３９の他側面は平面視Ｖ状の位置出し面
３９ａに形成してある。なお緩衝ばね４０の弾性
力は前記ばね３６の弾性力よりも大に設定してあ
る。したがつて押し引きロツド３７を押し込み移
動させたとき、ばね３６に抗してブロツク３５が
一体的に移動することになる。前記ブロツク３５
にラツク部４０を設けると共に、このラツク部４
１に咬合するピニオン４２を前記縦軸２９に取付
けておき、これにより、押し引きロツド３７の押
し引き動により縦軸２９を正逆回転すべく両者３
７，２９は連動連結される。ここで、押し引きロ
ツド３７が他側に最も引き出されたとき、前記荷
支持部３１はその長さ方向が箱形ダクト１の長さ
方向に沿うように設定してある。前記箱形ダクト
１の適所外方で一側方向には荷受け渡し装置４３
が設けられ、また他側には前記押し引きロツド３
７に対向自在な操作装置４４を該箱形ダクト１に
設けている。前記操作装置４４は、駆動部４５
と、その駆動により操作受け具３９に対して接近
離間動を行なう操作杆４６と、この操作杆４６の
内端に取付けたローラ４７とからなり、前記操作
杆４６は側板１Ｂに形成した貫通孔４８を通つて
箱形ダクト１内に位置すると共に、箱形ダクト１
外の全体はカバー４９によつて覆つている。ここ
で操作杆４６のストロークは前記荷支持部３０を
〔90＋α〕度回転させるに必要な長さに設定して
あり、その際に荷支持部３０を90度回転に規制す
る当て止めブラケツト５０を設けて、α度分は緩
衝ばね４０で吸収するように構成してある。なお
当て止めブラケツト５０は縦軸２９に取付けら
れ、そして荷支持部３０を受け止めるものであ
る。前記箱形ダクト１における底板１Ａの外側
（下面側）には吸引ダクト５１が配設され、この
吸引ダクト５１には吸引管５２が連通している。

次に前記荷受け渡し装置４３の詳細を説明す
る。荷受け渡し装置４３は、床下空間８５内に配
設した枠体５３と、この枠体５３の上面に取付け
た一対のガイドレール５４と、これらガイドレー
ル５４に摺動案内される被ガイド体５５を下面に
有する位置調整台車５６と、前記枠体５３の両端
に振分けて配設した駆動輪体５７ならびに従動輪
体５８と、両輪体５７，５８間に巻回され且つ一
箇所が前記位置調整台車５６に連結された索体５
９と、前記駆動輪体５７に連動するモータ６０
と、前記位置調整台車５６の上面中央から立設さ
れ且つ床８４に形成した貫通溝６１を通つてクリ
ーンルーム８０内に突出する四角筒状の角筒体６
２と、この角筒体６２の両側板夫々に形成した上
下方向のスリツト６３と、両スリツト６３を通つ
て角筒体６２の内外に亘つて位置する可動台６４
と、前記角筒体６２の後部内面に上下方向に取付
けたLMガイド形式のガイドレール６５と、この
ガイドレール６５に案内され且つ可動台６４の後
部に取付けた被ガイド体６６と、角筒体６２内の
上部に設けた上位輪体６７と、下部に設けた下位
輪体６８と、両輪体６７，６８間に巻回され且つ
一箇所が前記可動台６４に連結された索体６９
と、前記下位輪体６８に連動するモータ７０と、
前記可動体６４の両端間に亘つて取付けた荷保持
具７１とからなり、この荷保持具７１は前方に突
出する左右一対の保持腕７１ａ，７１ａを有す
る。両保持腕７１ａ，７１ａの内側面間距離は、
キヤリア３２の通過は許すけれども係止部３２Ａ
の通過は許さない寸法に設定してある。前記床下
空間８５内において、前記角筒体６２の下部に吸
引ダクト７２を連通している。前記床８４上に
は、機台７３を介して荷支持台７４を配設してい
る。

以下に上記実施例における作用について説明す
る。ここでは荷支持部３０上のキヤリア３２を荷
受け渡し装置４３によつて床側に移載する作用を
説明するが、これは逆操作を行なうことによつて
床側のキヤリア３２を荷支持部３０上に移載し得
るものである。荷支持部３０上にキヤリア３２を
載置している状態において該荷支持部３０は長さ
方向が箱形ダクト１の長さ方向に沿つており、箱
形ダクト１の巾内に納まつている。このとき、例
えば第５図実線に示すように両ばね３６，４０は
伸び切つており、ブロツク３５ならびに押し引き
ロツド３７ともに他側へと最も移動している。こ
の状態で駆動装置１９を作動させ索体８を移動さ
せる。すると、連結部材１６などを介して索体８
と一体の可動台７が、被ガイド体６を介してガイ
ド体５に案内されて移動し、そして適当な検出手
段による検出によつて荷受け渡し装置４３ならび
に操作装置４４の箇所で停止する。次いで操作装
置４４を作動させ、操作杆４６を介してローラ４
７を前進させる。すると、先ずローラ４７が位置
出し面３９ａに接当し、押し引きロツド３７を一
体的に押し込み移動させる。このとき緩衝ばね４
０の弾性力がばね３６の弾性力よりも大であるこ
とからばね３６に抗してブロツク３５が移動し、
ラツク部４１とピニオン４２を介して縦軸２９が
回転する。これにより縦軸２９と共に荷支持部３
０が揺動し、キヤリア３２を箱形ダクト１の一側
外方にはり出させる。荷支持部３０を直角に90度
揺動させたとき、荷支持部３０が当て止めブラケ
ツト５０に接当し、それ以上の揺動が阻止され
る。その後、少し（α分）だけ操作杆４６、すな
わち押し引きロツド３７が移動するが、その移動
量は緩衝ばね４０の弾性変形によつて吸収され、
以つて第５図仮想線の状態になる。キヤリア３２
をはり出したとき、第３図仮想線イに示すように
キヤリア３２の下方に保持腕７１ａが位置してお
り、この状態で昇降駆動装置を作動させて該保持
腕７１ａを上昇させる。両保持腕７１ａはキヤリ
ア３２の側方を上昇し、係止部３２Ａに係止して
第３図実線で示すようにキヤリア３２を荷支持部
３０から上方に持ち上げる。その後、操作装置４
４を逆作動させて操作杆４６を退入させせる。す
ると先ず緩衝ばね４０の弾性力により押し引きロ
ツド３７が押し出され、そしてばね３６の弾性力
によりブロツク３５を他側に向けて移動させる。
この移動により、ラツク部４１とピニオン４２と
を介して縦軸２９を前述とは逆回転させ、空の荷
支持部３０を第５図仮想線に示すように箱形ダク
ト１内に納まるべく揺動させる。そして可動台７
は復帰移動される。第３図実線で示すように保持
腕７１ａで受取られたキヤリア３２は、前述した
ように荷支持部３０が逃げたのち昇降駆動装置の
逆作動で該保持腕７１ａを下降させることによつ
て、第３図仮想線ロで示すように降ろされる。下
降中において、或いは下降限の少し上位で停止さ
せた状態において、台車５６が正または逆に走行
され、以つてキヤリア３２を左右に振分けた荷支
持台７４の一方に対向させ、以つて当該荷支持台
７４に降ろす。降ろされたキヤリア３２は機械的
あるいは人為的に除去される。

このような作業中において、クリーンルーム８
０内では、フイルター８２を通つて下吹きされる
クリーンエアー８３が下降し、そして下降するエ
アーを、床８４を通つて床下空間８５に吸引する
ことから、そのクリーン度は確保されている。ま
た荷受け渡し装置４３においては、吸引ダクト７
２による負圧化作用によつてクリーンルーム８０
からスリツト６３を通つて角筒体６２内に流れ、
そして角筒体６２内を下降して吸引ダクト７２に
至る吸引気流が生じていることから、角筒体６２
内で発生したゴミなどはスリツト６３からクリー
ンルーム８０内に漏出することなく、この吸引気
流に乗つて吸引ダクト７２を介して除去される。
万一、スリツト６３を通してゴミなどが出たとし
ても、保持腕７１ａによる荷取扱い位置が前方で
あるのに対してスリツト６３の開放位置が側方で
あることから、このゴミなどがキヤリア３２側に
移行することは殆んどなく、クリーンルーム８０
内のエアー流に乗つて床８４側に吸引除去される
ことになる。さらに荷搬送装置８６側には、スリ
ツト３から箱形ダクト１内、吸引孔４、吸引ダク
ト５１内、吸引管５２へと流れる気流が発生して
おり、したがつて箱形ダクト１内で発生したゴミ
などはスリツト３からクリーンルーム８０内に漏
出することなく、吸引管５２を通して吸引除去さ
れる。

考案の効果 上記構成の本考案におけるクリーンルーム内の
荷受け渡し装置によると、次のような効果を期待
できる。すなわち、位置調整台車の駆動装置や荷
保持具昇降駆動装置の駆動部などを床下に配設で
き、さらに角筒体内に床下側への吸引気流が生じ
るように該角筒体内を負圧化できることから、発
生したゴミなどをスリツトからクリーンルーム内
に流出させることなく床下側に除去でき、以つて
クリーンルーム内のクリーン化を維持できる。ま
た保持腕による荷取扱い位置が前方であるのに対
してスリツトの開放位置が側方であることから、
万一、スリツトを通つてゴミなどが漏出したとし
ても、このゴミなどは荷側に移行することは殆ん
どなく、クリーンルーム内のエアー流に乗つて床
側に吸引除去できる。

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の一実施例を示し、第１図は縦断
側面図、第２図は一部切欠き平面図、第３図は正
面図、第４図は要部の一部切欠き斜視図、第５図
は要部の横断平面図、第６図は同縦断正面図であ
る。 １…箱形ダクト、７…可動台、２９…縦軸、３
０…荷支持部、３２…キヤリア（荷）、３２Ａ…
係止部、４３…荷受け渡し装置、４４…操作装
置、５４…ガイドレール、５５…被ガイド体、５
６…位置調整台車、５９…索体、６０…モータ、
６１…貫通溝、６２…角筒体、６３…スリツト、
６４…可動体、６５…ガイドレール、６６…被ガ
イド体、６９…索体、７０…モータ、７１…荷保
持具、７１ａ…保持腕、７２…吸引ダクト、７４
…荷支持台、８０…クリーンルーム、８１…天
井、８２…フイルター、８３…クリーンエアー、
８４…床、８５…床下空間、８６…荷搬送装置。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 天井側からクリーンエアーを下吹きし、下降す
   るエアーを床下に吸引するクリーンルームの天井
   側に荷搬送装置を配設し、この荷搬送装置と床側
   との間で荷の受け渡しを行なう荷受け渡し装置で
   あつて、床下に位置調整台車を配設し、この位置
   調整台車上から床を貫通して角筒体を立設し、こ
   の角筒体の両側板に上下方向のスリツトを形成
   し、これらスリツトに案内されて昇降自在で且つ
   保持腕が前方に突出する荷保持具を設け、この荷
   保持具の昇降駆動装置を前記角筒体内に配設し、
   さらに角筒体の下部に吸引ダクトを連通したこと
   を特徴とするクリーンルーム内の荷受け渡し装
   置。