JPH0140949B2 - - Google Patents
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- JPH0140949B2 JPH0140949B2 JP56062723A JP6272381A JPH0140949B2 JP H0140949 B2 JPH0140949 B2 JP H0140949B2 JP 56062723 A JP56062723 A JP 56062723A JP 6272381 A JP6272381 A JP 6272381A JP H0140949 B2 JPH0140949 B2 JP H0140949B2
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- electrical signal
- light source
- photodetector
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
- G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
- G01N21/645—Specially adapted constructive features of fluorimeters
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
- G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/06—Illumination; Optics
- G01N2201/069—Supply of sources
- G01N2201/0696—Pulsed
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- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、けい光法によりSO2ガス等のガス分
析を行なうけい光ガス分析装置に関し、詳しくは
パルスモードで動作される前記分析装置に関す
る。
析を行なうけい光ガス分析装置に関し、詳しくは
パルスモードで動作される前記分析装置に関す
る。
この種けい光分析装置として従来は、特開昭50
−57297号公報に記載された装置が知られている。
この装置は、光源たるガス放電フラツシユ管をパ
ルスモードで動作させてサンプル室中のサンプル
に第１の波長領域の輻射エネルギを照射すると共
に、該照射によつてサンプルから放出される第２
の波長領域のけい光輻射エネルギを光検出器で検
出し、この検出された電気信号を前記フラツシユ
管が発光している時間（以下フラツシユ継続時間
という。）にわたりコンデンサに積分し、フラツ
シユ管が発光停止期間中（以下フラツシユ間とい
う。）にこの積分電圧を抵抗を通じて放電させ、
そして前記コンデンサに蓄積された積分電圧をフ
ラツシユ管の発光停止時（以下フラツシユ終了時
という。）にサンプル電圧としてサンプルホール
ド回路にホールドし、このサンプル電圧をローパ
スフイルタを通じてサンプル電圧に実質的に追従
する連続信号として出力するように構成されてい
る。従つて、この従来装置によれば、パルスモー
ドで動作されるにも拘らず、連続測定が可能であ
るし、またコンデンサに蓄積された積分電圧はサ
ンプルから発した第２の波長領域の輻射エネルギ
に応答する電圧値であるから、光源の変動、劣化
等による影響を除けば、正確で信頼度の高いガス
分析が可能である等の利点をもつている。
−57297号公報に記載された装置が知られている。
この装置は、光源たるガス放電フラツシユ管をパ
ルスモードで動作させてサンプル室中のサンプル
に第１の波長領域の輻射エネルギを照射すると共
に、該照射によつてサンプルから放出される第２
の波長領域のけい光輻射エネルギを光検出器で検
出し、この検出された電気信号を前記フラツシユ
管が発光している時間（以下フラツシユ継続時間
という。）にわたりコンデンサに積分し、フラツ
シユ管が発光停止期間中（以下フラツシユ間とい
う。）にこの積分電圧を抵抗を通じて放電させ、
そして前記コンデンサに蓄積された積分電圧をフ
ラツシユ管の発光停止時（以下フラツシユ終了時
という。）にサンプル電圧としてサンプルホール
ド回路にホールドし、このサンプル電圧をローパ
スフイルタを通じてサンプル電圧に実質的に追従
する連続信号として出力するように構成されてい
る。従つて、この従来装置によれば、パルスモー
ドで動作されるにも拘らず、連続測定が可能であ
るし、またコンデンサに蓄積された積分電圧はサ
ンプルから発した第２の波長領域の輻射エネルギ
に応答する電圧値であるから、光源の変動、劣化
等による影響を除けば、正確で信頼度の高いガス
分析が可能である等の利点をもつている。
しかし乍ら、けい光ガス分析装置において、光
源が劣化したり変動したりすることがないという
保障はなく、むしろ光源の劣化、変動等について
は、他の分析装置における事情と何ら異なるとこ
ろがない。このため、前記従来装置においては、
光源が変動等を起すと、それによつてサンプルか
ら放出する第２の波長領域のけい光輻射エネルギ
の強さが変動してみかけのガス濃度が変化する如
くみえる結果、測定誤差を生じることとなるので
ある。そして、この測定誤差は長期運転により光
源劣化が進行してゆくとそれに比例して増大する
傾向にあるため、連続測定自体が無意味となるお
それがある。
源が劣化したり変動したりすることがないという
保障はなく、むしろ光源の劣化、変動等について
は、他の分析装置における事情と何ら異なるとこ
ろがない。このため、前記従来装置においては、
光源が変動等を起すと、それによつてサンプルか
ら放出する第２の波長領域のけい光輻射エネルギ
の強さが変動してみかけのガス濃度が変化する如
くみえる結果、測定誤差を生じることとなるので
ある。そして、この測定誤差は長期運転により光
源劣化が進行してゆくとそれに比例して増大する
傾向にあるため、連続測定自体が無意味となるお
それがある。
本発明はかかる点に鑑み、光源が変動等を起し
てもそれに伴なう測定誤差を確実に防ぎ、正確且
つ信頼度の高いガス分析を行なうことのできるけ
い光ガス分析装置を提供しようとするものであ
る。
てもそれに伴なう測定誤差を確実に防ぎ、正確且
つ信頼度の高いガス分析を行なうことのできるけ
い光ガス分析装置を提供しようとするものであ
る。
以下図面に基づき本発明の一実施例を説明す
る。第１図中、１はサンプルとして例えば悪硫酸
（SO2）ガスが導入されるサンプル室、２は例え
ばキセノンランプからなる光源で、レンズ３及び
フイルタ４を介して前記サンプル室１と光学的に
結合されている。フイルタ４としては約2200Åの
波長を中心として約200Åの帯域巾をもつ紫外バ
ンドパスフイルタが用いられている。従つて、サ
ンプル室１内のサンプルはこのフイルタ４によつ
て定まる第１の波長領域の輻射エネルギによつて
照射される。５は前記光源２を、繰返しフラツシ
ユを発生させるためにパルスモードで駆動するパ
ルスモード駆動回路で、電源６とブロツキング発
振器７とからなつている。このブロツキング発振
器７は例えば５ミリ秒（ms）の間隔で約100マイ
クロ秒（μs）の継続時間をもつた正の方形波パル
スを発生する（第２図ａ参照）。８は前記光源２
と同軸上に配され、サンプル室１を介して光源２
に光学的に結合された第１の光検出器である。こ
の検出器８には前記フイルタ４を通つた第１の波
長領域の輻射エネルギが入射される。このエネル
ギは比較的強く、そのため光検出器８としては光
電管が用いられている。９は、前記光源２と第２
の光検出器８とを結ぶ軸に対し直交する軸上に配
され、レンズ１０及びフイルタ１１を介してサン
プル室１と光学的に結合された第２の光検出器で
ある。前記フイルタ１１は測定されるサンプルの
けい光に特有の波長領域の輻射線を選択的に通す
もので、図示の場合サンプルとしてSO2ガスを適
用しているので、フイルタは約3600Åを中心とし
て約1000Åの帯域巾を有する特性のものを用いて
いる。第２の光検出器９にはこのフイルタ１１に
よつて定まるサンプルから放出される第２の波長
領域のけい光輻射エネルギが入射される。但し、
このエネルギは第１の波長領域におけるそれより
も弱いため、第２の光検出器９としては光電子増
倍管を用いている。
る。第１図中、１はサンプルとして例えば悪硫酸
（SO2）ガスが導入されるサンプル室、２は例え
ばキセノンランプからなる光源で、レンズ３及び
フイルタ４を介して前記サンプル室１と光学的に
結合されている。フイルタ４としては約2200Åの
波長を中心として約200Åの帯域巾をもつ紫外バ
ンドパスフイルタが用いられている。従つて、サ
ンプル室１内のサンプルはこのフイルタ４によつ
て定まる第１の波長領域の輻射エネルギによつて
照射される。５は前記光源２を、繰返しフラツシ
ユを発生させるためにパルスモードで駆動するパ
ルスモード駆動回路で、電源６とブロツキング発
振器７とからなつている。このブロツキング発振
器７は例えば５ミリ秒（ms）の間隔で約100マイ
クロ秒（μs）の継続時間をもつた正の方形波パル
スを発生する（第２図ａ参照）。８は前記光源２
と同軸上に配され、サンプル室１を介して光源２
に光学的に結合された第１の光検出器である。こ
の検出器８には前記フイルタ４を通つた第１の波
長領域の輻射エネルギが入射される。このエネル
ギは比較的強く、そのため光検出器８としては光
電管が用いられている。９は、前記光源２と第２
の光検出器８とを結ぶ軸に対し直交する軸上に配
され、レンズ１０及びフイルタ１１を介してサン
プル室１と光学的に結合された第２の光検出器で
ある。前記フイルタ１１は測定されるサンプルの
けい光に特有の波長領域の輻射線を選択的に通す
もので、図示の場合サンプルとしてSO2ガスを適
用しているので、フイルタは約3600Åを中心とし
て約1000Åの帯域巾を有する特性のものを用いて
いる。第２の光検出器９にはこのフイルタ１１に
よつて定まるサンプルから放出される第２の波長
領域のけい光輻射エネルギが入射される。但し、
このエネルギは第１の波長領域におけるそれより
も弱いため、第２の光検出器９としては光電子増
倍管を用いている。
１２は、前記第１の光検出器８より発する電気
信号を各フラツシユの継続時間にわたり積分する
と共に、フラツシユ間でこの電圧を放電する第１
の回路手段、また、１３は、前記第２の光検出器
９より発する電気信号を各フラツシユの継続時間
にわたり積分すると共に、フラツシユ間でこの電
圧を放電する第２の回路手段である。いずれの回
路手段１２，１３ともCR充放電回路C1，R1，
C2，R2とこの回路より発する電圧を増幅するオ
ペアンプOP1，OP2とから成つている。前記CR
充放電回路のコンデンサ抵抗はいずれの回路手段
１２，１３とも同じ規格のものを用いるのが望ま
しく、またその時定数は、フラツシユ間
（4.9ms）でコンデンサに蓄積された電荷が略々
放電し尽す程度の値に定めるのが望ましい。第２
図ｂに第１の回路手段１２を通じて得る電圧信号
を、同図ｃに第２の回路手段１３を通じて得る電
圧信号を例示する。
信号を各フラツシユの継続時間にわたり積分する
と共に、フラツシユ間でこの電圧を放電する第１
の回路手段、また、１３は、前記第２の光検出器
９より発する電気信号を各フラツシユの継続時間
にわたり積分すると共に、フラツシユ間でこの電
圧を放電する第２の回路手段である。いずれの回
路手段１２，１３ともCR充放電回路C1，R1，
C2，R2とこの回路より発する電圧を増幅するオ
ペアンプOP1，OP2とから成つている。前記CR
充放電回路のコンデンサ抵抗はいずれの回路手段
１２，１３とも同じ規格のものを用いるのが望ま
しく、またその時定数は、フラツシユ間
（4.9ms）でコンデンサに蓄積された電荷が略々
放電し尽す程度の値に定めるのが望ましい。第２
図ｂに第１の回路手段１２を通じて得る電圧信号
を、同図ｃに第２の回路手段１３を通じて得る電
圧信号を例示する。
１４は、第２の回路手段１３より得る電気信号
をそのまま出力する非反転増幅器１５と、前記電
気信号を反転して出力する反転増幅器１６と、非
反転増幅器１５と反転増幅器１６とを一定の周期
で交互に切換える同期スイツチSWとからなる同
期検波回路である。前記スイツチSWは図示例で
はブロツキング発振器７と同期され、その発振周
波数の1/2の周期で切換えられるよう構成されて
いる。従つて、このスイツチSWの切換動作によ
り第２図ｄに示すように、フラツシユの生じてい
る1/2周期は第２の回路手段１３より発する電気
信号がそのまま出力され、次の1/2周期には反転
して出力される。このように半周期ごとに電気信
号を正反転して出力するようにしたのは、次の理
由による。即ち、第２の光検出器９により検出さ
れるけい光エネルギは微弱な場合があり、そのた
め第２の光検出器９を含めた回路系が発する暗電
流（第２図ｃ中のId）が無視できなくなる。しか
しこの暗電流はフラツシユの継続時間であろうと
フラツシユ間であろうと常に一様に生じているの
で、フラツシユの生じている半周期と他の半周期
とにおいて位相を反転すれば、後段の積分回路で
積分する際、暗電流のみ相殺することができる。
尚、スイツチSWの切換えは1/2周期に限らず、
例えばフラツシユの生じている1/4周期は非反転
増幅器１５を通じて出力させ、次のフラツシユが
生じる直前の1/4周期は反転増幅器１６を通じて
出力させるように切換え動作を行なうこともでき
る。また、この同期検波回路１４は第１の回路手
段１２の後には設けられていないが、これは第１
の波長領域のエネルギが暗電流に比して十分に大
きいため、暗電流成分を無視できるからである。
但し、必要ならこの第１の回路手段１２の後にも
同様な検波回路を設けることもできる。
をそのまま出力する非反転増幅器１５と、前記電
気信号を反転して出力する反転増幅器１６と、非
反転増幅器１５と反転増幅器１６とを一定の周期
で交互に切換える同期スイツチSWとからなる同
期検波回路である。前記スイツチSWは図示例で
はブロツキング発振器７と同期され、その発振周
波数の1/2の周期で切換えられるよう構成されて
いる。従つて、このスイツチSWの切換動作によ
り第２図ｄに示すように、フラツシユの生じてい
る1/2周期は第２の回路手段１３より発する電気
信号がそのまま出力され、次の1/2周期には反転
して出力される。このように半周期ごとに電気信
号を正反転して出力するようにしたのは、次の理
由による。即ち、第２の光検出器９により検出さ
れるけい光エネルギは微弱な場合があり、そのた
め第２の光検出器９を含めた回路系が発する暗電
流（第２図ｃ中のId）が無視できなくなる。しか
しこの暗電流はフラツシユの継続時間であろうと
フラツシユ間であろうと常に一様に生じているの
で、フラツシユの生じている半周期と他の半周期
とにおいて位相を反転すれば、後段の積分回路で
積分する際、暗電流のみ相殺することができる。
尚、スイツチSWの切換えは1/2周期に限らず、
例えばフラツシユの生じている1/4周期は非反転
増幅器１５を通じて出力させ、次のフラツシユが
生じる直前の1/4周期は反転増幅器１６を通じて
出力させるように切換え動作を行なうこともでき
る。また、この同期検波回路１４は第１の回路手
段１２の後には設けられていないが、これは第１
の波長領域のエネルギが暗電流に比して十分に大
きいため、暗電流成分を無視できるからである。
但し、必要ならこの第１の回路手段１２の後にも
同様な検波回路を設けることもできる。
１７は第１の回路手段１２を通じて得られる電
気信号を面積分する第１の積分器、１８は前記同
期検波回路１４を通じて得られる電気信号を面積
分する第２の積分器で、いずれもオペアンプ
OP3，OP4を主体としている。各積分器１７，１
８の面積分値を第２図ｅ，ｆに示す。同図からわ
かるように、いずれの積分器１７，１８とも実質
的に第１、第２の回路手段１２，１３より発せら
れる充放電波形の描く面積S1a，S1b…，S2a，S2b
…を再度積分するものである。このように面積
S1a…，S2a…を再度積分するという構成をとれ
ば、第１、第２の回路手段１２，１３中の浮遊容
量等における誤差を防止できるという利点をも
つ。即ち、たとえば前記面積に代えて第１、第２
の回路手段１２，１３が各フラツシユの終了時に
発するピーク値を積分（実質的には加算）するこ
とによつても、上記の如く面積を再度積分するこ
とによつて得た値と同じ物理的意味をもつ値を得
ることができるが、そうした場合、ピーク値がコ
ンデンサC1，C2の容量に依存することとなるた
め、このコンデンサにみかけ上並列的に接続され
る回路中の浮遊容量によつて前記ピーク値が影響
を受けるようになる。この影響は浮遊容量が温度
振動等によつて変動するので測定誤差となつてあ
らわれる。そのため、このピーク値を積算する方
式においては、浮遊容量による影響をできるだけ
少なくするためにコンデンサC1，C2の容量を大
きくする必要があるが、容量を増加すれば逆にピ
ーク値が減少するためＳ／Ｎ比が悪くなるという
不都合を生じるものである。これに対し、上述し
た面積S1，S2を積分する方式によれば、当該面積
は放電用の抵抗R1，R2の関数となるので、浮遊
容量の影響のない安定な信号量を得ることがで
き、その結果高精度な測定が可能となるのであ
る。１９は前記第１の積分器１７の面積分値を所
定の値Ｋと比較し、両者が一致したとき一致信号
を発する比較器、２０はこの一致信号が発せられ
たとき、その時点において第２の積分器１８に積
分されている第２の波長領域に対応する電圧信号
の面積分値をサンプルホールドするサンプルホー
ルド回路である。前記所定値Ｋの値は適宜に定め
ることができるが、その値は大きい程光源の２の
劣化や変動による測定誤差の補償精度が高くな
る。しかし、連続測定を可能とするためにはあま
り大きくない方が望ましい。通常は光源２が1000
回以上フラツシユした場合における第１の波長領
域の光エネルギを第１の回路手段１２、第１の積
分器１７を通じて得る値程度に選んでおくのがよ
い。
気信号を面積分する第１の積分器、１８は前記同
期検波回路１４を通じて得られる電気信号を面積
分する第２の積分器で、いずれもオペアンプ
OP3，OP4を主体としている。各積分器１７，１
８の面積分値を第２図ｅ，ｆに示す。同図からわ
かるように、いずれの積分器１７，１８とも実質
的に第１、第２の回路手段１２，１３より発せら
れる充放電波形の描く面積S1a，S1b…，S2a，S2b
…を再度積分するものである。このように面積
S1a…，S2a…を再度積分するという構成をとれ
ば、第１、第２の回路手段１２，１３中の浮遊容
量等における誤差を防止できるという利点をも
つ。即ち、たとえば前記面積に代えて第１、第２
の回路手段１２，１３が各フラツシユの終了時に
発するピーク値を積分（実質的には加算）するこ
とによつても、上記の如く面積を再度積分するこ
とによつて得た値と同じ物理的意味をもつ値を得
ることができるが、そうした場合、ピーク値がコ
ンデンサC1，C2の容量に依存することとなるた
め、このコンデンサにみかけ上並列的に接続され
る回路中の浮遊容量によつて前記ピーク値が影響
を受けるようになる。この影響は浮遊容量が温度
振動等によつて変動するので測定誤差となつてあ
らわれる。そのため、このピーク値を積算する方
式においては、浮遊容量による影響をできるだけ
少なくするためにコンデンサC1，C2の容量を大
きくする必要があるが、容量を増加すれば逆にピ
ーク値が減少するためＳ／Ｎ比が悪くなるという
不都合を生じるものである。これに対し、上述し
た面積S1，S2を積分する方式によれば、当該面積
は放電用の抵抗R1，R2の関数となるので、浮遊
容量の影響のない安定な信号量を得ることがで
き、その結果高精度な測定が可能となるのであ
る。１９は前記第１の積分器１７の面積分値を所
定の値Ｋと比較し、両者が一致したとき一致信号
を発する比較器、２０はこの一致信号が発せられ
たとき、その時点において第２の積分器１８に積
分されている第２の波長領域に対応する電圧信号
の面積分値をサンプルホールドするサンプルホー
ルド回路である。前記所定値Ｋの値は適宜に定め
ることができるが、その値は大きい程光源の２の
劣化や変動による測定誤差の補償精度が高くな
る。しかし、連続測定を可能とするためにはあま
り大きくない方が望ましい。通常は光源２が1000
回以上フラツシユした場合における第１の波長領
域の光エネルギを第１の回路手段１２、第１の積
分器１７を通じて得る値程度に選んでおくのがよ
い。
上記構成によれば、光源２が劣化したり変動し
たりしても、第１の波長領域の光エネルギーに対
応する電圧信号の面積分値が所定値Ｋに達するま
では第２の波長領域のけい光エネルギに対応する
電圧信号の面積分も継続される。従つて、光源の
劣化、変動の影響は第１の波長領域の光エネルギ
と第２の波長領域のけい光エネルギとの双方に同
様にあらわれるものであるから、第１の波長領域
に対応した電圧信号の面積分値が所定値Ｋに達し
たときの第２の波長領域に対応する電圧信号の面
積分値は、光源２の劣化や変動の影響の補償され
た、サンプル中のSO2ガス濃度に関する情報だけ
に依存する値となる。
たりしても、第１の波長領域の光エネルギーに対
応する電圧信号の面積分値が所定値Ｋに達するま
では第２の波長領域のけい光エネルギに対応する
電圧信号の面積分も継続される。従つて、光源の
劣化、変動の影響は第１の波長領域の光エネルギ
と第２の波長領域のけい光エネルギとの双方に同
様にあらわれるものであるから、第１の波長領域
に対応した電圧信号の面積分値が所定値Ｋに達し
たときの第２の波長領域に対応する電圧信号の面
積分値は、光源２の劣化や変動の影響の補償され
た、サンプル中のSO2ガス濃度に関する情報だけ
に依存する値となる。
尚、比較器１９が一致信号を発し、そのとき第
２の積分器１８に積分されている面積分値がサン
プルホールド回路２０に送出された後は、次の面
積分値を得るために双方の積分器１７，１８内に
保たれている面積値をリセツトする必要がある。
このリセツトを行なうため図示例では各積分器１
７，１８にリセツトスイツチS1，S2を設けてい
る。このスイツチS1，S2は例えば、比較器１９が
一致信号を発した後、所定時間後にスイツチオン
するようにすることができる。
２の積分器１８に積分されている面積分値がサン
プルホールド回路２０に送出された後は、次の面
積分値を得るために双方の積分器１７，１８内に
保たれている面積値をリセツトする必要がある。
このリセツトを行なうため図示例では各積分器１
７，１８にリセツトスイツチS1，S2を設けてい
る。このスイツチS1，S2は例えば、比較器１９が
一致信号を発した後、所定時間後にスイツチオン
するようにすることができる。
以上説明したように、本発明に係るけい光ガス
分析装置においては、測定光側に設けられる第
２の検出器より生じる電気信号を積分しフラツシ
ユ間でこの積分電圧を放電する第２の回路手段の
後段に、この第２の回路手段からの電気信号をそ
のまま出力する非反転増幅器と前記電気信号を反
転して出力する反転増幅器と前記パルスモード駆
動回路の発振器によつて制御され前記両増幅器を
一定周期で交互に初換える同期スイツチとからな
る同期検波回路を設けているので、仮に、第２の
光検出器によつて検出されるけい光エネルギが微
弱で、そのため第２の光検出器を含めた回路系が
発する暗電流が無視できないような場合であつて
も、この同期検波回路の後段における第２の積分
器における積分の際、この暗電流のみを巧みに相
殺することができるので、所定の信号のみを得る
ことができる。
分析装置においては、測定光側に設けられる第
２の検出器より生じる電気信号を積分しフラツシ
ユ間でこの積分電圧を放電する第２の回路手段の
後段に、この第２の回路手段からの電気信号をそ
のまま出力する非反転増幅器と前記電気信号を反
転して出力する反転増幅器と前記パルスモード駆
動回路の発振器によつて制御され前記両増幅器を
一定周期で交互に初換える同期スイツチとからな
る同期検波回路を設けているので、仮に、第２の
光検出器によつて検出されるけい光エネルギが微
弱で、そのため第２の光検出器を含めた回路系が
発する暗電流が無視できないような場合であつて
も、この同期検波回路の後段における第２の積分
器における積分の際、この暗電流のみを巧みに相
殺することができるので、所定の信号のみを得る
ことができる。
そして、第１、第２の回路手段においてフラ
ツシユの継続時間にわたり積分され、フラツシユ
間に放電された電気信号を、それぞれ再度積分す
るといつた実質上面積分を行うようにしているの
で、ピーク値をとる方式と異なり、回路中の浮遊
容量による影響を効果的に防止することができ
る。
ツシユの継続時間にわたり積分され、フラツシユ
間に放電された電気信号を、それぞれ再度積分す
るといつた実質上面積分を行うようにしているの
で、ピーク値をとる方式と異なり、回路中の浮遊
容量による影響を効果的に防止することができ
る。
従つて、本発明によれば、サンプル中のSO2な
ど所定の成分ガスのガス分析を、光源の劣化や変
動の影響を受けることなく正確にしかも信頼度高
く行うことができる。
ど所定の成分ガスのガス分析を、光源の劣化や変
動の影響を受けることなく正確にしかも信頼度高
く行うことができる。
第１図は本発明の一実施例を示す回路図、第２
図ａ〜ｆは夫々第１図の回路中の各部の波形を示
す図である。 １…サンプル室、２…光源、５…パルスモード
駆動回路、７…発振器、８…第１の光検出器、９
…第２の光検出器、１２…第１の回路手段、１３
…第２の回路手段、１４…同期検波回路、１５…
非反転増幅器、１６…反転増幅器、１７…第１の
積分器、１８…第２の積分器、２０…サンプルホ
ールド回路、SW…同期スイツチ、Ｋ…所定値。
図ａ〜ｆは夫々第１図の回路中の各部の波形を示
す図である。 １…サンプル室、２…光源、５…パルスモード
駆動回路、７…発振器、８…第１の光検出器、９
…第２の光検出器、１２…第１の回路手段、１３
…第２の回路手段、１４…同期検波回路、１５…
非反転増幅器、１６…反転増幅器、１７…第１の
積分器、１８…第２の積分器、２０…サンプルホ
ールド回路、SW…同期スイツチ、Ｋ…所定値。
Claims (1)
- １ ガスサンプル中のけい光成分の濃度を測定す
るための装置において、サンプル室と、このサン
プル室に光学的に結合されサンプル室内のサンプ
ルを第１の波長領域の輻射エネルギで照射するた
めの光源と、この光源に繰返しフラツシユを発出
させるためのパルスモード駆動回路と、前記光源
に光学的に結合されこの光源より放射される第１
の波長領域の輻射エネルギを検出してこの輻射エ
ネルギに応答する電気信号を発生するための第１
の光検出器と、前記サンプル室に光学的に結合さ
れこのサンプル室内のサンプルによつて放出され
る第２の波長領域にけい光輻射エネルギを検出し
このけい光輻射エネルギに応答する電気信号を発
生するための第２の光検出器と、各フラツシユの
継続時間にわたり前記第１の光検出器より生じる
電気信号を積分しフラツシユ間でこの積分電圧を
放電する第１の回路手段と、各フラツシユの継続
時間にわたり前記第２の光検出器より生じる電気
信号を積分しフラツシユ間でこの積分電圧を放電
する第２の回路手段と、この第２の回路手段によ
つて得られる電気信号をそのまま出力する非反転
増幅器と前記電気信号を反転して出力する反転増
幅器と前記パルスモード駆動回路の発振器によつ
て制御され前記両増幅器を一定周期で交互に切換
える同期スイツチとからなる同期検波回路と、前
記第１の回路手段からの電気信号を面積分する第
１の積分器と、前記同期検波回路からの電気信号
を面積分する第２の積分器と、前記第１の積分器
における面積分値が所定値に達したときその時点
における前記第２の積分器における面積分値をサ
ンプルホールドするサンプルホールド回路とから
なり、このサンプルホールド回路にホールドされ
た電圧信号を指示記録するように構成したことを
特徴とするけい光ガス分析装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56062723A JPS57175940A (en) | 1981-04-24 | 1981-04-24 | Analysis device for fluorescence gas |
| US06/366,417 US4469946A (en) | 1981-04-24 | 1982-04-07 | Fluorescent gas analyzer |
| DE3214299A DE3214299C2 (de) | 1981-04-24 | 1982-04-19 | Gerät zur Bestimmung der Konzentration eines fluoreszierenden Gases, das als Komponente in einer Gasprobe enthalten ist |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56062723A JPS57175940A (en) | 1981-04-24 | 1981-04-24 | Analysis device for fluorescence gas |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57175940A JPS57175940A (en) | 1982-10-29 |
| JPH0140949B2 true JPH0140949B2 (ja) | 1989-09-01 |
Family
ID=13208556
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56062723A Granted JPS57175940A (en) | 1981-04-24 | 1981-04-24 | Analysis device for fluorescence gas |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4469946A (ja) |
| JP (1) | JPS57175940A (ja) |
| DE (1) | DE3214299C2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09238182A (ja) * | 1996-02-20 | 1997-09-09 | Kosho Yugenkoshi | ハンドフリー式電話変換装置 |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US4541269A (en) * | 1983-07-27 | 1985-09-17 | The State Of Oregon Acting By And Through State Board Of Higher Education For And On Behalf Of Oregon State University | Gas chromatograph detector |
| JPS6052746A (ja) * | 1983-08-31 | 1985-03-26 | Shimadzu Corp | 火花放電発光分析装置 |
| JPH0663973B2 (ja) * | 1985-08-07 | 1994-08-22 | 東ソー株式会社 | 免疫反応測定に用いる蛍光検出装置 |
| EP0281963B1 (en) * | 1987-03-11 | 1993-06-16 | Horiba, Ltd. | Ultraviolet fluorescent analyzer |
| JPS63246641A (ja) * | 1987-04-01 | 1988-10-13 | Ajinomoto Co Inc | 蛍光分析計 |
| DE4140414A1 (de) * | 1991-12-07 | 1993-06-09 | Christian 2300 Kiel De Moldaenke | Verfahren zur messung der fluoreszenzrueckmeldung von algen |
| US6013228A (en) * | 1992-06-01 | 2000-01-11 | The Coca-Cola Company | Method and system for sampling and determining the presence of compounds in containers using a pulsed fluorescence detector |
| FR2713768B1 (fr) * | 1993-12-10 | 1996-02-09 | Sextant Avionique | Procédé et appareil de mesure optique de la température d'un mélange gazeux. |
| ES2151857B1 (es) * | 1999-03-23 | 2001-07-16 | Univ Madrid Autonoma | Equipo para la deteccion de alimentos que han sido expuestos a radiacion ionizante para su esterilizacion. |
| US7268355B2 (en) * | 2002-12-27 | 2007-09-11 | Franek Olstowski | Excimer UV fluorescence detection |
| US8368034B2 (en) | 2006-06-29 | 2013-02-05 | Cdex, Inc. | Substance detection, inspection and classification system using enhanced photoemission spectroscopy |
| EP2041535A4 (en) * | 2006-06-29 | 2010-08-04 | Cdex Inc | METHOD AND APPARATUS FOR MOLECULAR SPECTRUM RECOGNITION, TESTING AND CLASSIFICATION USING ULTRAVIOLETT TO FAST INFRARED AMPLIFIED LIGHT EMISSION SPECTROSCOPY |
| DE602008000515D1 (de) * | 2007-02-05 | 2010-03-04 | Olympus Corp | Laser-Scanning-Mikroskop |
| JP6320748B2 (ja) * | 2013-12-27 | 2018-05-09 | 株式会社堀場製作所 | ガス分析装置 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3795812A (en) * | 1972-11-27 | 1974-03-05 | Us Commerce | Sulfur dioxide pollution monitor |
| JPS5433187B2 (ja) * | 1973-07-04 | 1979-10-18 | ||
| US3845309A (en) * | 1973-09-10 | 1974-10-29 | Thermo Electron Corp | Fluorescent gas analyzer |
| GB1533242A (en) * | 1975-01-21 | 1978-11-22 | Perkin Elmer Ltd | Utilizing radiation-derived electrical signals |
| JPS5194886A (ja) * | 1975-02-19 | 1976-08-19 | ||
| US4260890A (en) * | 1979-06-25 | 1981-04-07 | Monitor Labs, Incorporated | Fluorescent gas analyzer |
-
1981
- 1981-04-24 JP JP56062723A patent/JPS57175940A/ja active Granted
-
1982
- 1982-04-07 US US06/366,417 patent/US4469946A/en not_active Expired - Fee Related
- 1982-04-19 DE DE3214299A patent/DE3214299C2/de not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09238182A (ja) * | 1996-02-20 | 1997-09-09 | Kosho Yugenkoshi | ハンドフリー式電話変換装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4469946A (en) | 1984-09-04 |
| DE3214299A1 (de) | 1982-12-09 |
| DE3214299C2 (de) | 1985-10-24 |
| JPS57175940A (en) | 1982-10-29 |
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