JPH0141496B2 - - Google Patents
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- JPH0141496B2 JPH0141496B2 JP56006323A JP632381A JPH0141496B2 JP H0141496 B2 JPH0141496 B2 JP H0141496B2 JP 56006323 A JP56006323 A JP 56006323A JP 632381 A JP632381 A JP 632381A JP H0141496 B2 JPH0141496 B2 JP H0141496B2
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- Japan
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- film
- deposited
- metal
- vacuum
- vapor
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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Description
本発明は金属蒸着膜のキズ、ピンホール欠点の
少ないフイルムを製造するための真空蒸着装置に
関するものである。 従来の金属蒸着フイルムは、プラスチツクフイ
ルム等にアルミニウム、亜鉛、クロム、スズなど
の金属を蒸着し、そのまま巻取るものであつた。
そしてこれらの蒸着フイルムは、金銀糸、ラベル
などの装飾、雑貨用途に、乾燥食品、冷菓などの
包装用途に、断熱を目的とした建材用途に広く用
いられて来ている。しかしながら金属蒸着フイル
ムはそのすぐれた光線遮断性という特性をもちな
がら光学用途、たとえば製版、グラフイツクアー
ツの分野にはほとんど使用されていない。この原
因は、金属蒸着フイルムの金属膜厚が数10ｍμか
ら数100ｍμと非常に薄く、わずかの外力できず
がつくことや、蒸着時の金属の突沸によるピンホ
ールがあり、通常の用途ではこれらの数10ｍμ〜
数100ｍμの欠点では問題にされないのに対し、
光学的性質を利用する用途では、これらが致命欠
陥となるからである。かかる蒸着膜中の光学欠点
（以下ピンホールという）を分析した結果、蒸着
金属の突沸によるものと、付着ゴミがマスキング
の効果をして蒸着金属が付着しないものと、蒸着
後に何らかの事情でこすり取られたものがあるこ
とがわかつた。 前２者については発生の割合は比較的少なくし
かもそれぞれの対応策をとることによつて飛躍的
に減少させることができる。たとえば蒸着金属の
突沸対策としては蒸発すべき金属の純度を高め、
加熱すべきルツボの材質の選定、昇温速度、蒸着
加工時の温度、基材とルツボ間の距離などを選定
することにより減少させることができる。付着ゴ
ミによるピンホール防止は、被蒸着フイルムの洗
浄やふきとりによる除去、蒸着真空槽内の清掃な
どで大巾に減少させることができる。また後者に
おける蒸着後に何らかの事情でこすり取られたも
の、すなわち巻取りまでの搬送過程で接触するロ
ールや巻取時のごくわずかのスリツプによつてす
りきずが発生しピンホールになる場合について
は、従来あまり改良方法が示されていない。 また、蒸着面が蒸着後ロールに全く接触しない
ようにロール類を配置し巻取ることは理論上不可
能ではないが、実用上は真空槽内という制約や張
力、金属膜厚の検出などの目的のために従来の巻
取型の真空蒸着機では蒸着面とロール類が数本は
接触する構成になつている。 また仮に蒸着面が全く接触しないようにロール
類を配置した蒸着機であつても、蒸着フイルムを
巻取るときに蒸着面がその材料の背面と接触する
ことはさけられず、このときにわずかのテンシヨ
ン変動や巻取軸のわずかの偏心運動、蒸着フイル
ムの厚薄ムラによる接触圧の変化などからすりき
ず状または押圧によるピンホールが発生すること
がさけられない。（むろんこの時にフイルムの表
面にゴミなどの微小異物が付着していればさらに
この種の欠点は助長される。）そこで本発明者は
上記ピンホールの発生を防ぎ、光学用途に十分適
用できる金属蒸着フイルムを得るべく検討した結
果、本発明に到つたものである。 すなわち本発明は、真空中でフイルム状物を走
行させながら金属蒸着した後、その蒸着面を同じ
真空槽内に別に用意された保護シートと重ね合わ
せて巻取ることを特徴とする重ね合わせフイルム
の製造方法及びフイルムを真空中で金属蒸着する
装置において、同一真空槽内に被着層フイルムの
巻出、金属蒸着巻取とは別に保護シートを巻出す
装置を少なくとも１つ以上取りつけ、該保護シー
トと該被蒸着フイルムとを重ね合わせて巻取る装
置である。 以下、図面で詳述するが本発明はこれらに限定
されるものではない。第１図は、真空中でフイル
ム状物を走行させながら蒸着した後、その蒸着面
と同じ真空槽内に別に用意された保護シートで重
ね合わせて巻取る装置で、１は被蒸着フイルムの
巻取軸、２は搬送のためのガイドロール類、３は
冷却ロールである。金属はルツボ４から蒸し走行
中のフイルム５に付着する。蒸着されたフイルム
は６のような蒸着面に接触するロールや７のよう
に非蒸着面に接触するロールによつて搬送され８
の巻取軸に巻取られる。一般の蒸着機は上述のプ
ロセスで蒸着がされる。なお搬送過程では２′，
６′のようなニツプロールエキスパンダロール類
を設置することもできる。 本発明のこれらの搬送巻取系の他に別に設けら
れた巻取軸Ａに蒸着面を保護するシートＢを巻付
けたものをガイドロールＣを通して蒸着済である
フイルムの蒸着面が６のガイドロールに接触する
前に重ね合わせ搬送させながら巻取軸８へ巻取
る。 この保護シートＢと蒸着済フイルム６は必要に
応じてニツプロールＤを取付けてもよい。 第２図は蒸着後のフイルム６を直接巻取軸８に
巻取ると同時に別の巻出軸Ａと重ね合わせて巻取
る装置を示している。また第３図は本発明によつ
て得られた重ね合わせフイルムを示したものであ
る。 本発明に用いる被蒸着フイルムは蒸着可能なフ
イルムであればよく、特に限定されるものではな
い。すなわちセロフアン、トリアセテートフイル
ム、ポリエチレンテレフタレートフイルム、ポリ
エチレンフイルム、ポリプロピレンフイルム、ナ
イロンフイルム、塩化ビニルフイルム、ポリビニ
ルアルコールフイルム、ポリカーボネートフイル
ム、テフロンフイルム、ポリスチレンフイルムな
どのプラスチツクフイルムやこれらを基材とした
複合フイルム、コーテツドフイルム、表面加工
（たとえばエンボス）フイルムなどが使用される。 蒸着に使用される物質としてはアルミニウム、
亜鉛、錫、銅、鉛、セレン、ビスマス、アンチモ
ン、銀、金、クロム、ニツケル、鉄、コバルトに
例示される金属単体やニクロム、ステンレスなど
の合金類、CdS、M8F2などの化合物でもよい。
蒸発方法は誘導加熱ルツボ方式、抵抗加熱ボート
方式、電子ビーム加熱ルツボ方式などの真空蒸着
やスパツタ法などいずれの方式でも採用できる。 蒸着面に被覆する保護シートとしては、一般の
プラスチツクフイルムたとえばポリエチレンテレ
フタレート、ポリエチレン、ポリプロピレン、ナ
イロン、ポリビニルアルコール、塩化ビニル、ポ
リカーボネート、ポリスチレン、テフロンなどの
フイルムや、これらの基材に複合したフイルム
や、コーチツドフイルム、たとえば粘着加工フイ
ルムなどがある。該フイルムをそのまま用いても
よいし、あるいは帯電させて用いてもよい。具体
的にはポリエチレンテレフタレートフイルムの真
空蒸着には、同種のポリエチレンテレフタレート
フイルムで表面粗度の少ないものでもよいが、一
般はさらにやわらかいポリプレンフイルム、ポリ
エチレンフイルム、ポリビニルアルコールフイル
ムなどを該保護シートとして使用する。特に微細
な欠点までなくすには、ポリプロピレンやポリエ
ステルに粘着加工、微粘着加工したフイルムを重
ね合わせた物を用いるのがよい。金属の密着があ
まり強固でないポリプロピレンフイルムやポリエ
チレンフイルムの場合は、粘着性の低い加工をし
た保護フイルムを用いる。重ね合わせすることに
よつて保護シートの表面物質たとえば滑剤、粘着
剤が付着して、後加工に悪影響を及ぼすことが明
らかな場合はこれらのものの影響をうけない材質
の組合せを用いる。 本発明による方法によつて得られるフイルム
は、上述のように蒸着中に真空槽内で別の保護シ
ートと重ね合わせることを特徴としている。これ
によつて蒸着中で発生するピンホール欠点を防ぐ
ことができる。さらに本フイルムはロール状で大
気中に取出した後の運搬、静置したときの面圧に
よるキズの発生に対し有利であるが、とりわけそ
の後工程の巻返し、コーチング、貼合せなどの加
工のためにロール搬送するときに、蒸着面が搬送
ロールに接触発生するキズが原因となるピンホー
ルに対しきわめて有効である。すなわちコーチン
グ、ラミネートなどのときは蒸着面に塗布、貼合
せをする寸前まで保護シートをつけておいた状態
で搬送し、その塗布、貼合せロールの直前で保護
シートをはがすことにより、これらの欠点は防ぐ
ことができるからである。本発明を以下の実施例
で説明する。 実施例 １ 厚さ50ミクロンのポリエチレンテレフタレート
フイルム（東レ(株)製“ルミラー”）を第１図に示
す装置を用いて、真空度１×10-4Torrの真空中
で厚さ100ｍμにアルミニウムを真空蒸着し、一
方同じ真空槽内に設置された被蒸着フイルムとは
別の巻出機に設置された厚さ20ミクロンのポリエ
チレンフイルムベースで粘着力20ｇ／cmの粘着加
工をしたフイルムの粘着面を、上記蒸着面に重ね
合わせて巻取を行なつた。 比較例１として、厚さ50ミクロンのポリエチレ
ンテレフタレートフイルムを上述の同一真空蒸着
機を用いて、真空度１×10-4Torrのもとに、厚
さ100ｍμにアルミニウムを真空蒸着しそのまま
巻取つた。 実施例１と比較例１のフイルムをそれぞれ20cm
×20cmの寸法に切り出し、ライトテーブル上にお
いてピンホール欠点数を調べた。結果を表１に示
す。
少ないフイルムを製造するための真空蒸着装置に
関するものである。 従来の金属蒸着フイルムは、プラスチツクフイ
ルム等にアルミニウム、亜鉛、クロム、スズなど
の金属を蒸着し、そのまま巻取るものであつた。
そしてこれらの蒸着フイルムは、金銀糸、ラベル
などの装飾、雑貨用途に、乾燥食品、冷菓などの
包装用途に、断熱を目的とした建材用途に広く用
いられて来ている。しかしながら金属蒸着フイル
ムはそのすぐれた光線遮断性という特性をもちな
がら光学用途、たとえば製版、グラフイツクアー
ツの分野にはほとんど使用されていない。この原
因は、金属蒸着フイルムの金属膜厚が数10ｍμか
ら数100ｍμと非常に薄く、わずかの外力できず
がつくことや、蒸着時の金属の突沸によるピンホ
ールがあり、通常の用途ではこれらの数10ｍμ〜
数100ｍμの欠点では問題にされないのに対し、
光学的性質を利用する用途では、これらが致命欠
陥となるからである。かかる蒸着膜中の光学欠点
（以下ピンホールという）を分析した結果、蒸着
金属の突沸によるものと、付着ゴミがマスキング
の効果をして蒸着金属が付着しないものと、蒸着
後に何らかの事情でこすり取られたものがあるこ
とがわかつた。 前２者については発生の割合は比較的少なくし
かもそれぞれの対応策をとることによつて飛躍的
に減少させることができる。たとえば蒸着金属の
突沸対策としては蒸発すべき金属の純度を高め、
加熱すべきルツボの材質の選定、昇温速度、蒸着
加工時の温度、基材とルツボ間の距離などを選定
することにより減少させることができる。付着ゴ
ミによるピンホール防止は、被蒸着フイルムの洗
浄やふきとりによる除去、蒸着真空槽内の清掃な
どで大巾に減少させることができる。また後者に
おける蒸着後に何らかの事情でこすり取られたも
の、すなわち巻取りまでの搬送過程で接触するロ
ールや巻取時のごくわずかのスリツプによつてす
りきずが発生しピンホールになる場合について
は、従来あまり改良方法が示されていない。 また、蒸着面が蒸着後ロールに全く接触しない
ようにロール類を配置し巻取ることは理論上不可
能ではないが、実用上は真空槽内という制約や張
力、金属膜厚の検出などの目的のために従来の巻
取型の真空蒸着機では蒸着面とロール類が数本は
接触する構成になつている。 また仮に蒸着面が全く接触しないようにロール
類を配置した蒸着機であつても、蒸着フイルムを
巻取るときに蒸着面がその材料の背面と接触する
ことはさけられず、このときにわずかのテンシヨ
ン変動や巻取軸のわずかの偏心運動、蒸着フイル
ムの厚薄ムラによる接触圧の変化などからすりき
ず状または押圧によるピンホールが発生すること
がさけられない。（むろんこの時にフイルムの表
面にゴミなどの微小異物が付着していればさらに
この種の欠点は助長される。）そこで本発明者は
上記ピンホールの発生を防ぎ、光学用途に十分適
用できる金属蒸着フイルムを得るべく検討した結
果、本発明に到つたものである。 すなわち本発明は、真空中でフイルム状物を走
行させながら金属蒸着した後、その蒸着面を同じ
真空槽内に別に用意された保護シートと重ね合わ
せて巻取ることを特徴とする重ね合わせフイルム
の製造方法及びフイルムを真空中で金属蒸着する
装置において、同一真空槽内に被着層フイルムの
巻出、金属蒸着巻取とは別に保護シートを巻出す
装置を少なくとも１つ以上取りつけ、該保護シー
トと該被蒸着フイルムとを重ね合わせて巻取る装
置である。 以下、図面で詳述するが本発明はこれらに限定
されるものではない。第１図は、真空中でフイル
ム状物を走行させながら蒸着した後、その蒸着面
と同じ真空槽内に別に用意された保護シートで重
ね合わせて巻取る装置で、１は被蒸着フイルムの
巻取軸、２は搬送のためのガイドロール類、３は
冷却ロールである。金属はルツボ４から蒸し走行
中のフイルム５に付着する。蒸着されたフイルム
は６のような蒸着面に接触するロールや７のよう
に非蒸着面に接触するロールによつて搬送され８
の巻取軸に巻取られる。一般の蒸着機は上述のプ
ロセスで蒸着がされる。なお搬送過程では２′，
６′のようなニツプロールエキスパンダロール類
を設置することもできる。 本発明のこれらの搬送巻取系の他に別に設けら
れた巻取軸Ａに蒸着面を保護するシートＢを巻付
けたものをガイドロールＣを通して蒸着済である
フイルムの蒸着面が６のガイドロールに接触する
前に重ね合わせ搬送させながら巻取軸８へ巻取
る。 この保護シートＢと蒸着済フイルム６は必要に
応じてニツプロールＤを取付けてもよい。 第２図は蒸着後のフイルム６を直接巻取軸８に
巻取ると同時に別の巻出軸Ａと重ね合わせて巻取
る装置を示している。また第３図は本発明によつ
て得られた重ね合わせフイルムを示したものであ
る。 本発明に用いる被蒸着フイルムは蒸着可能なフ
イルムであればよく、特に限定されるものではな
い。すなわちセロフアン、トリアセテートフイル
ム、ポリエチレンテレフタレートフイルム、ポリ
エチレンフイルム、ポリプロピレンフイルム、ナ
イロンフイルム、塩化ビニルフイルム、ポリビニ
ルアルコールフイルム、ポリカーボネートフイル
ム、テフロンフイルム、ポリスチレンフイルムな
どのプラスチツクフイルムやこれらを基材とした
複合フイルム、コーテツドフイルム、表面加工
（たとえばエンボス）フイルムなどが使用される。 蒸着に使用される物質としてはアルミニウム、
亜鉛、錫、銅、鉛、セレン、ビスマス、アンチモ
ン、銀、金、クロム、ニツケル、鉄、コバルトに
例示される金属単体やニクロム、ステンレスなど
の合金類、CdS、M8F2などの化合物でもよい。
蒸発方法は誘導加熱ルツボ方式、抵抗加熱ボート
方式、電子ビーム加熱ルツボ方式などの真空蒸着
やスパツタ法などいずれの方式でも採用できる。 蒸着面に被覆する保護シートとしては、一般の
プラスチツクフイルムたとえばポリエチレンテレ
フタレート、ポリエチレン、ポリプロピレン、ナ
イロン、ポリビニルアルコール、塩化ビニル、ポ
リカーボネート、ポリスチレン、テフロンなどの
フイルムや、これらの基材に複合したフイルム
や、コーチツドフイルム、たとえば粘着加工フイ
ルムなどがある。該フイルムをそのまま用いても
よいし、あるいは帯電させて用いてもよい。具体
的にはポリエチレンテレフタレートフイルムの真
空蒸着には、同種のポリエチレンテレフタレート
フイルムで表面粗度の少ないものでもよいが、一
般はさらにやわらかいポリプレンフイルム、ポリ
エチレンフイルム、ポリビニルアルコールフイル
ムなどを該保護シートとして使用する。特に微細
な欠点までなくすには、ポリプロピレンやポリエ
ステルに粘着加工、微粘着加工したフイルムを重
ね合わせた物を用いるのがよい。金属の密着があ
まり強固でないポリプロピレンフイルムやポリエ
チレンフイルムの場合は、粘着性の低い加工をし
た保護フイルムを用いる。重ね合わせすることに
よつて保護シートの表面物質たとえば滑剤、粘着
剤が付着して、後加工に悪影響を及ぼすことが明
らかな場合はこれらのものの影響をうけない材質
の組合せを用いる。 本発明による方法によつて得られるフイルム
は、上述のように蒸着中に真空槽内で別の保護シ
ートと重ね合わせることを特徴としている。これ
によつて蒸着中で発生するピンホール欠点を防ぐ
ことができる。さらに本フイルムはロール状で大
気中に取出した後の運搬、静置したときの面圧に
よるキズの発生に対し有利であるが、とりわけそ
の後工程の巻返し、コーチング、貼合せなどの加
工のためにロール搬送するときに、蒸着面が搬送
ロールに接触発生するキズが原因となるピンホー
ルに対しきわめて有効である。すなわちコーチン
グ、ラミネートなどのときは蒸着面に塗布、貼合
せをする寸前まで保護シートをつけておいた状態
で搬送し、その塗布、貼合せロールの直前で保護
シートをはがすことにより、これらの欠点は防ぐ
ことができるからである。本発明を以下の実施例
で説明する。 実施例 １ 厚さ50ミクロンのポリエチレンテレフタレート
フイルム（東レ(株)製“ルミラー”）を第１図に示
す装置を用いて、真空度１×10-4Torrの真空中
で厚さ100ｍμにアルミニウムを真空蒸着し、一
方同じ真空槽内に設置された被蒸着フイルムとは
別の巻出機に設置された厚さ20ミクロンのポリエ
チレンフイルムベースで粘着力20ｇ／cmの粘着加
工をしたフイルムの粘着面を、上記蒸着面に重ね
合わせて巻取を行なつた。 比較例１として、厚さ50ミクロンのポリエチレ
ンテレフタレートフイルムを上述の同一真空蒸着
機を用いて、真空度１×10-4Torrのもとに、厚
さ100ｍμにアルミニウムを真空蒸着しそのまま
巻取つた。 実施例１と比較例１のフイルムをそれぞれ20cm
×20cmの寸法に切り出し、ライトテーブル上にお
いてピンホール欠点数を調べた。結果を表１に示
す。
【表】
実施例 ２
厚さ100ミクロンのポリエチレンテレフタレー
トフイルム（東レ(株)製ルミラー）を実施例１と同
じ装置を用いて真空度２×10-4Torrで70ｍμの
厚さににアルミニウムを真空蒸着し、厚さ25ミク
ロンの未延伸プロピレンフイルムを重ね合わせ巻
取を行つた。 なお同様に重ね合わせをしない状態で巻取つた
フイルムを比較例２とし、実施例１と同様にライ
トテーブル下でピンホール欠点の検査をした結果
を表２に示す。
トフイルム（東レ(株)製ルミラー）を実施例１と同
じ装置を用いて真空度２×10-4Torrで70ｍμの
厚さににアルミニウムを真空蒸着し、厚さ25ミク
ロンの未延伸プロピレンフイルムを重ね合わせ巻
取を行つた。 なお同様に重ね合わせをしない状態で巻取つた
フイルムを比較例２とし、実施例１と同様にライ
トテーブル下でピンホール欠点の検査をした結果
を表２に示す。
【表】
実施例 ３
厚さ80ミクロンのトリアセテートフイルムに実
施例１と同様の装置を用いて真空度５×
10-4Torr下でアルミニウム50ｍμの厚さに蒸着
し、厚さ15ミクロンのポリビニルアルコールフイ
ルムを重ね合わせ巻取つた。同じフイルムを蒸着
してそのまま巻取つたものを比較例３とし、実施
例１の方法で評価した結果を表３に示す。
施例１と同様の装置を用いて真空度５×
10-4Torr下でアルミニウム50ｍμの厚さに蒸着
し、厚さ15ミクロンのポリビニルアルコールフイ
ルムを重ね合わせ巻取つた。同じフイルムを蒸着
してそのまま巻取つたものを比較例３とし、実施
例１の方法で評価した結果を表３に示す。
【表】
実施例 ４
実施例１で得られたフイルムと比較例１で得ら
れたフイルムをそれぞれグラビアロールコーター
を用いて金属蒸着面に保護層を設けた。 塗料は、 VAGH 20部(U.C.C.社製ビニル系樹脂) トルエン 40部 MEK 40部 としグラビアロールは180メツシユ深さ30ミクロ
ン、ピラミツド型のもので塗布厚は固形分で約１
ｇ／m2、乾燥温度80℃、巻取速度50ｍ／分であ
る。塗工までのガイドロールのうち蒸着膜と接触
するものは５本である。 実施例１のフイルムは巻出し後、重ね合わせた
状態のままで搬送し塗工する寸前でカバーフイル
ムをひきはがして巻取り除去した。 比較例１のフイルムはそのまま常法どおりフイ
ルムを搬送し塗工した。両者の塗工フイルムを実
施例１と同じ評価方法でピンホールを検査し結果
を表４にまとめた。
れたフイルムをそれぞれグラビアロールコーター
を用いて金属蒸着面に保護層を設けた。 塗料は、 VAGH 20部(U.C.C.社製ビニル系樹脂) トルエン 40部 MEK 40部 としグラビアロールは180メツシユ深さ30ミクロ
ン、ピラミツド型のもので塗布厚は固形分で約１
ｇ／m2、乾燥温度80℃、巻取速度50ｍ／分であ
る。塗工までのガイドロールのうち蒸着膜と接触
するものは５本である。 実施例１のフイルムは巻出し後、重ね合わせた
状態のままで搬送し塗工する寸前でカバーフイル
ムをひきはがして巻取り除去した。 比較例１のフイルムはそのまま常法どおりフイ
ルムを搬送し塗工した。両者の塗工フイルムを実
施例１と同じ評価方法でピンホールを検査し結果
を表４にまとめた。
第１図、第２図は本発明による真空蒸着装置で
ある。また第３図は本発明によつて得られた重ね
合わせフイルムである。 １：被蒸着フイルムの巻出軸、２：ガイドロー
ル、３：水冷ロール、４：蒸発ルツボ、５：被蒸
着フイルム、６：金属面接触ガイドロール、７：
非金属面接触ガイドロール、８：巻取軸、Ａ：保
護シートの巻出軸、Ｂ：保護シート、Ｃ：ガイド
ロール、Ｄ：ニツプロール、９：ニツプロール、
１０：エキスパンダロール、１１：真空槽、１
２：被蒸着フイルム、１３：金属蒸着層、１４：
保護シート。
ある。また第３図は本発明によつて得られた重ね
合わせフイルムである。 １：被蒸着フイルムの巻出軸、２：ガイドロー
ル、３：水冷ロール、４：蒸発ルツボ、５：被蒸
着フイルム、６：金属面接触ガイドロール、７：
非金属面接触ガイドロール、８：巻取軸、Ａ：保
護シートの巻出軸、Ｂ：保護シート、Ｃ：ガイド
ロール、Ｄ：ニツプロール、９：ニツプロール、
１０：エキスパンダロール、１１：真空槽、１
２：被蒸着フイルム、１３：金属蒸着層、１４：
保護シート。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 真空中でフイルム状物を走行させながら金属
蒸着した後、その蒸着面を同じ真空槽内に別に用
意された保護シートと重ね合わせて巻取ることを
特徴とする重ね合わせフイルムの製造法。 ２ フイルムを真空中で金属蒸着する装置におい
て、同一真空槽内に被蒸着フイルムの巻出、金属
蒸着、巻取とは別に保護シートを巻出す装置を少
なくとも１つ以上取りつけ、該保護シートと該被
蒸着フイルムとを重ね合わせて巻取る装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56006323A JPS57120434A (en) | 1981-01-21 | 1981-01-21 | Method and apparatus for manufacturing stacked film |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56006323A JPS57120434A (en) | 1981-01-21 | 1981-01-21 | Method and apparatus for manufacturing stacked film |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57120434A JPS57120434A (en) | 1982-07-27 |
| JPH0141496B2 true JPH0141496B2 (ja) | 1989-09-06 |
Family
ID=11635152
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56006323A Granted JPS57120434A (en) | 1981-01-21 | 1981-01-21 | Method and apparatus for manufacturing stacked film |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS57120434A (ja) |
-
1981
- 1981-01-21 JP JP56006323A patent/JPS57120434A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57120434A (en) | 1982-07-27 |
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