JPH0141684Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0141684Y2 JPH0141684Y2 JP1984134775U JP13477584U JPH0141684Y2 JP H0141684 Y2 JPH0141684 Y2 JP H0141684Y2 JP 1984134775 U JP1984134775 U JP 1984134775U JP 13477584 U JP13477584 U JP 13477584U JP H0141684 Y2 JPH0141684 Y2 JP H0141684Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cover
- clean air
- shelf
- wide
- clean
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Ventilation (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
産業上の利用分野
本考案は、天井側からクリーンエアーを下吹き
し、下降するエアーを床下に吸引するクリーンル
ーム内に設置され、例えば半導体のような塵埃を
極端にきらう物品（荷）の保管に使用されるクリ
ーンルーム内の荷保管設備に関するものである。
し、下降するエアーを床下に吸引するクリーンル
ーム内に設置され、例えば半導体のような塵埃を
極端にきらう物品（荷）の保管に使用されるクリ
ーンルーム内の荷保管設備に関するものである。
従来の技術
一般的に荷保管設備は、上下方向に複数段の区
画収納空間を有する棚によつて構成され、各区画
収納空間の前面開放部を介して、作業者による入
手作業によつて、或いは搬入出装置による機械的
且つ自動的な作業によつて物品の搬入出が行なわ
れる。
画収納空間を有する棚によつて構成され、各区画
収納空間の前面開放部を介して、作業者による入
手作業によつて、或いは搬入出装置による機械的
且つ自動的な作業によつて物品の搬入出が行なわ
れる。
考案が解決しようとする問題点
上記のような従来の荷保管設備においては、棚
の前面開放部近くで作業者や搬入出装置から塵
埃、粉塵が発生し、この塵埃などの一部が区画収
納空間側に移行し且つ堆積して物品に悪影響を及
ぼすことになる。
の前面開放部近くで作業者や搬入出装置から塵
埃、粉塵が発生し、この塵埃などの一部が区画収
納空間側に移行し且つ堆積して物品に悪影響を及
ぼすことになる。
本考案の目的とするところは、各段の区画収納
空間に対して、その後面側から前面側へとクリー
ンエアを流して塵埃などの移行を防止し得、しか
もクリーンエアは各段の区画収納空間に対して、
充分な量、速度で且つ均一に供給し得るクリーン
ルーム内の荷保管設備を提供する点にある。
空間に対して、その後面側から前面側へとクリー
ンエアを流して塵埃などの移行を防止し得、しか
もクリーンエアは各段の区画収納空間に対して、
充分な量、速度で且つ均一に供給し得るクリーン
ルーム内の荷保管設備を提供する点にある。
問題を解決するための手段
上記問題点を解決するために本考案におけるク
リーンルーム内の荷保管設備は、天井側からクリ
ーンエアーを下吹きし、下降するエアーを床下に
吸引するクリーンルーム内に、上下方向に複数段
の区画収納空間を有する棚を設け、この棚は前面
を開放すると共に、後面側にカバーを配設し、該
カバー内に仕切板を設けて複数の流路を形成し、
これら流路と各区画収納空間とを各段ごとに連通
し、前記カバーの上端を広口集合部に形成して、
この広口集合部内に前記下吹きのクリーンエアー
を供給すべく構成している。
リーンルーム内の荷保管設備は、天井側からクリ
ーンエアーを下吹きし、下降するエアーを床下に
吸引するクリーンルーム内に、上下方向に複数段
の区画収納空間を有する棚を設け、この棚は前面
を開放すると共に、後面側にカバーを配設し、該
カバー内に仕切板を設けて複数の流路を形成し、
これら流路と各区画収納空間とを各段ごとに連通
し、前記カバーの上端を広口集合部に形成して、
この広口集合部内に前記下吹きのクリーンエアー
を供給すべく構成している。
かかる構成によると、天井側から下吹きされる
クリーンエアーをカバー内の各流路に均一に導
き、そして各流路内のクリーンエアーを棚の各段
の区画収納空間において、その後面側から前面側
に向けて流出させ得、その際に下吹きされるクリ
ーンエアーは広口集合部において集められたのち
各段に充分な量を且つ充分な速度で供給し得る。
クリーンエアーをカバー内の各流路に均一に導
き、そして各流路内のクリーンエアーを棚の各段
の区画収納空間において、その後面側から前面側
に向けて流出させ得、その際に下吹きされるクリ
ーンエアーは広口集合部において集められたのち
各段に充分な量を且つ充分な速度で供給し得る。
実施例
以下に本考案の一実施例を図面に基づいて説明
する。１はクリーンルームで、天井２側からフイ
ルター３を通してクリーンエアー４を下吹きし、
下降してきたクリーンエアー４をメツシユ形式の
床５を通して該床５下に吸引するように構成して
ある。６は棚で、前面ならびに後面が開放する箱
状の本体７と、該本体７内において上下方向に多
数並設された横仕切板８とからなり、横仕切板８
によつて上下方向に複数段の区画収納空間９を形
成する。前記棚６の後面側には、その全面に亘つ
てSUS製又は樹脂（請電防止）製からなるダク
ト状のカバー１０が配設され、このカバー１０内
に複数の仕切板１１を設けて複数の流路１２を形
成し、これら流路１２と各区画収納空間９の後面
開放部とを各段ごとに連通している。またカバー
１０の上端は開放すると共に前記フイルター３の
下面に接近（または接当）しており、以つて下吹
きのクリーンエアー５を該カバー１０内に供給す
べく構成してある。このカバー１０の上端は広口
集合部１０Ａに形成してあり、したがつて流路１
２の上端も広口流路１２Ａに形成される。１３は
物品（荷）を示す。
する。１はクリーンルームで、天井２側からフイ
ルター３を通してクリーンエアー４を下吹きし、
下降してきたクリーンエアー４をメツシユ形式の
床５を通して該床５下に吸引するように構成して
ある。６は棚で、前面ならびに後面が開放する箱
状の本体７と、該本体７内において上下方向に多
数並設された横仕切板８とからなり、横仕切板８
によつて上下方向に複数段の区画収納空間９を形
成する。前記棚６の後面側には、その全面に亘つ
てSUS製又は樹脂（請電防止）製からなるダク
ト状のカバー１０が配設され、このカバー１０内
に複数の仕切板１１を設けて複数の流路１２を形
成し、これら流路１２と各区画収納空間９の後面
開放部とを各段ごとに連通している。またカバー
１０の上端は開放すると共に前記フイルター３の
下面に接近（または接当）しており、以つて下吹
きのクリーンエアー５を該カバー１０内に供給す
べく構成してある。このカバー１０の上端は広口
集合部１０Ａに形成してあり、したがつて流路１
２の上端も広口流路１２Ａに形成される。１３は
物品（荷）を示す。
上記実施例においてクリーンルーム１内では、
フイルター３を通つて下吹きされるクリーンエア
ーが下降し、そして下降するクリーンエアー４を
床５下に吸引することから、そのクリーン度は確
保されている。前記棚６においては、フイルター
３を通して下吹きされるクリーンエアー４がカバ
ー１０の広口集合部１０Ａに多量に入り、そして
各広口流路１２Ａに圧縮されたのち各流路１２を
高速で流れ、その後に各段の区画収納空間９に対
して後面側から各段均一に供給され、そして各区
画収納空間９を流れたのち前面からクリーンルー
ム１内に流出される。
フイルター３を通つて下吹きされるクリーンエア
ーが下降し、そして下降するクリーンエアー４を
床５下に吸引することから、そのクリーン度は確
保されている。前記棚６においては、フイルター
３を通して下吹きされるクリーンエアー４がカバ
ー１０の広口集合部１０Ａに多量に入り、そして
各広口流路１２Ａに圧縮されたのち各流路１２を
高速で流れ、その後に各段の区画収納空間９に対
して後面側から各段均一に供給され、そして各区
画収納空間９を流れたのち前面からクリーンルー
ム１内に流出される。
考案の効果
上記構成の本考案におけるクリーンルーム内の
荷保管設備によると、天井側から下吹きされるク
リーンエアーをカバー内の各流路に均一に導び
き、そしてカバー内のクリーンエアーを棚の各段
の区画収納空間において、その後面側から前面側
に向けて流動させることができ、したがつて前面
側から区画収納空間に入ろうとする塵埃、粉塵の
移行を防止することができる。また下吹きされる
クリーンエアーは広口集合部において集められ、
仕切板により区画された各流路に均等に分配され
たのち各段に供給されることから、下吹き力をク
リーンルーム用に設定しながらも、各段に対して
は、充分な量、速度で且つ均一に供給することが
できる。さらにクリーンエアーは、クリーンルー
ム内に供給されるものの一部を使用することか
ら、例えば棚の後面全体にフイルターを設けると
共にフアンにより空気を供給する形式に比べて、
動力ならびにメンテナンスを不要にできると共に
構造全体を安価に得ることができ、しかも省スペ
ース化をはかることができる。
荷保管設備によると、天井側から下吹きされるク
リーンエアーをカバー内の各流路に均一に導び
き、そしてカバー内のクリーンエアーを棚の各段
の区画収納空間において、その後面側から前面側
に向けて流動させることができ、したがつて前面
側から区画収納空間に入ろうとする塵埃、粉塵の
移行を防止することができる。また下吹きされる
クリーンエアーは広口集合部において集められ、
仕切板により区画された各流路に均等に分配され
たのち各段に供給されることから、下吹き力をク
リーンルーム用に設定しながらも、各段に対して
は、充分な量、速度で且つ均一に供給することが
できる。さらにクリーンエアーは、クリーンルー
ム内に供給されるものの一部を使用することか
ら、例えば棚の後面全体にフイルターを設けると
共にフアンにより空気を供給する形式に比べて、
動力ならびにメンテナンスを不要にできると共に
構造全体を安価に得ることができ、しかも省スペ
ース化をはかることができる。
図面は本考案の一実施例を示し、第１図は一部
切欠き側面図、第２図は正面図である。 １……クリーンルーム、２……天井、３……フ
イルター、４……流路、５……床、６……棚、７
……本体、８……横仕切板、９……区画収納空
間、１０……カバー、１０Ａ……広口集合部、１
１……仕切板、１２……流路、１２Ａ……広口流
路、１３……物品（荷）。
切欠き側面図、第２図は正面図である。 １……クリーンルーム、２……天井、３……フ
イルター、４……流路、５……床、６……棚、７
……本体、８……横仕切板、９……区画収納空
間、１０……カバー、１０Ａ……広口集合部、１
１……仕切板、１２……流路、１２Ａ……広口流
路、１３……物品（荷）。
Claims (1)
- 天井側からクリーンエアーを下吹きし、下降す
るエアーを床下に吸引するクリーンルーム内に、
上下方向に複数段の区画収納空間を有する棚を設
け、この棚は前面を開放すると共に、後面側にカ
バーを配設し、該カバー内に仕切板を設けて複数
の流路を形成し、これら流路と各区画収納空間と
を各段ごとに連通し、前記カバーの上端を広口集
合部に形成して、この広口集合部内に前記下吹き
のクリーンエアーを供給すべく構成したことを特
徴とするクリーンルーム内の荷保管設備。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984134775U JPH0141684Y2 (ja) | 1984-09-04 | 1984-09-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984134775U JPH0141684Y2 (ja) | 1984-09-04 | 1984-09-04 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6149717U JPS6149717U (ja) | 1986-04-03 |
| JPH0141684Y2 true JPH0141684Y2 (ja) | 1989-12-08 |
Family
ID=30693280
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1984134775U Expired JPH0141684Y2 (ja) | 1984-09-04 | 1984-09-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0141684Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2817605B2 (ja) * | 1993-12-22 | 1998-10-30 | 村田機械株式会社 | クリーンルーム用自動倉庫 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60107009U (ja) * | 1983-12-21 | 1985-07-20 | 株式会社ダイフク | クリ−ンル−ム内の荷保管設備 |
-
1984
- 1984-09-04 JP JP1984134775U patent/JPH0141684Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6149717U (ja) | 1986-04-03 |
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