JPH0790882B2 - クリーンルーム内の荷保管装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、たとえば半導体のような塵埃を極端にきらう
製品の保管に採用されるクリーンルーム内の荷保管装置
に関するものである。

従来の技術 従来、この種の装置としては、たとえば実開昭63−6750
5号公報に見られる構造が提供されている。すなわち従
来構成は、箱状の本体内に、前面と後面とが開放しかつ
多数の収納空間を形成した棚を設け、この棚の後面側に
フィルタを配設するとともに、このフィルタの後方に流
路を形成し、そして棚の下方に設けた送風機の吐出部を
前記流路に連通している。

この従来形式によると、送風機は本体内の下部から吸引
したエアを流路内に供給し、そして供給されたエアはフ
ィルタを通ってクリーンエアとなり、このクリーンエア
が棚内を前面側に流れることで本体内のクリーン度を高
く保っている。また前面側に流出したクリーンエアは本
体内の下部へと流れ、前述したように送風機に吸引され
て循環使用される。

発明が解決しようとする課題 上記の従来形式によると、前記本体は、枠組体の外面に
複数枚の外装カバーを止めビスにより取付けて構成する
ものであり、この場合に送風機から流路内に圧入された
汚れたエアの一部が、この流路内が高圧化されているこ
とで外装カバーの接合部（継ぎ目）からクリーンルーム
内に漏れることになって、周囲環境を汚すことになる。
これを防止するために、止めビスを多くしたりコーキン
グしたりするが、その場合に外観が悪く、かつ、コーキ
ング作業に多大の時間を要する。

本発明の目的とするところは、汚れたエアの漏れがな
く、しかも外観を向上し得るクリーンルーム内の荷保管
装置を提供する点にある。

課題を解決するための手段 上記目的を達成するために本発明におけるクリーンルー
ム内の荷保管装置は、前面と後面とを開放した荷収納部
の後面側にフイルタを配設するとともに、このフイルタ
の後方に隔壁を介してエア供給路を形成し、このエア供
給路に吐出部が連通し、かつ荷収納部を通ったクリーン
エアを吸引部を介して吸引自在な送風機を設け、前記隔
壁の後方に本体外板を介してエア回収路を形成するとと
もに、このエア回収路を、前記送風機を配設した区画室
内に連通している。

作 用 かかる本発明の構成によると、送風機の吐出部からの送
気はエア供給路内を流れ、そしてフィルタを通ることで
クリーン度の高いクリーンエアとなって荷収納部に後面
側から供給される。したがって荷収納部内は、後面から
前面へと流れるクリーンエアによって高クリーン度を維
持し得る。荷収納部を通ったクリーンエアは再び送風機
に吸引されて循環使用される。そしてエア供給路を形成
する隔壁は本体外板によりカバーされていることから、
接合部から汚れたクリーンエアが漏れないように止めビ
スを多くしたりコーキングしたりするなど、充分な処置
を施こしたとしても外部からは見えない。さらに送風機
の吸引力はエア回収路にも作用し、このエア回収路を陰
圧化しており、したがってエア供給路に高圧状態で滞留
している汚れたクリーンエアの一部が、万一、隔壁の接
合部から漏れたとしても、このクリーンエアは本体外板
から漏れることなく、吸引力によって速やかに送風機に
吸引されて再びエア供給路に供給される。

実施例 以下に本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。

１はクリーンルームで、天井側からフィルタ２を通して
クリーンエア３を下吹きし、下降するクリーンエア３を
メッシュ形式の床４を通して床下に吸引するように構成
してある。５は密閉式の荷保管装置で、箱状の本体外板
６内には、上下方向に複数の収納空間７を区画形成した
荷収納部（棚）８が、前面を通路９に対向させて左右一
対に設けられる。これら荷収納部８は、通路９側に向い
た前面と反対側の後面とが開放され、そして後面を覆う
ようにしてフィルタ10を配設するとともに、このフィル
タ10の後方で隔壁18との間にエア供給路11を形成してい
る。前記本体外板６内の下部には前記通路９側に連通し
た区画室12が形成され、この区画室12内に、その吐出部
13が前記エア供給路11に連通した送風機14を設けてい
る。この送風機14の吸引部15は区画室12内に開放し、前
記荷収納部８を通って通路９に流出したクリーンエア16
を、区画室12を介して吸引すべく、この区画室12を形成
する前面壁を多孔板17で形成している。そして前記隔壁
18と本体外板６との間にエア回収路19を形成し、このエ
ア回収路19を、区画室12の構成部材の一部である天板部
材20に形成した貫通孔21を通して、この区画室12内に連
通している。前記通路９内には搬入出装置30が設けら
れ、この搬入出装置30は、床レール31と、この床レール
31に車輪32を介して支持案内され、かつ両荷収納部８の
前面に沿った一定経路上を走行自在な台車33と、この台
車33上から立設した支持枠34と、この支持枠34内に配設
したガイド体に案内される昇降台35と、この昇降台35上
に横方向移動自在に設けた受け渡し装置36とから構成さ
れる。片側の荷収納部８の下部には、本体外板６の一部
を切欠いて左右方向の貫通路25が形成され、この貫通路
25内には荷38の入庫や出庫を行う荷捌き装置26が設けら
れる。前記荷38は製品を収納自在なケース形状であっ
て、上部の両側面には、前記受け渡し装置36が下方から
係合自在な被係止突条などが設けられる。

前記隔壁18は本体外板６によりカバーされていることか
ら、接合部から汚れたクリーンエア16が漏れないよう
に、止めビスを多くしたりコーキングしたりするなど、
充分な処置が施こされている。

次に上記実施例の作用を説明する。

荷保管装置５においては常に高いクリーン度が保たれて
いる。すなわち送風機14の稼動によって吐出部13から吐
出される送気はエア供給路11内を上昇し、そしてフィル
タ10を通ってクリーン度の高いクリーンエア16となり、
荷収納部８に対して後面側から供給される。したがって
荷収納部８内は、後面から前面へと流れるクリーンエア
16によって高クリーン度が維持されている。荷収納部８
を通ったクリーンエア16は通路９内に流入し、その一部
は開口部49を通ってクリーンルーム１内に流出するが、
ほとんどは多孔板17を通って区画室12に流入して送風機
14に吸引され、循環使用される。さらに送風機14の吸引
力は区画室12や貫通孔21を通してエア回収路19に作用
し、このエア回収路19を陰圧（負圧）化している。した
がってエア供給路11に高圧状態で滞留している汚れたク
リーンエア16の一部が、万一、隔壁18の接合部から漏れ
たとしても、このクリーンエア16は本体外板６から漏れ
ることなく、前述した吸引力によって貫通孔21から区画
室12へと速やかに流れ込み、送風機14に吸引されたのち
再びエア供給路11に供給される。

たとえば自走車により搬送されてきた入庫しようとする
荷38は、貫通路25を通して荷捌き装置26に受け取られ、
そして搬入出装置30における台車33の走行動と、昇降台
35の昇降動と、受け渡し装置36の受け渡し動との組合せ
動作によって、荷捌き装置26から目的とする収納空間７
に収められる。また逆作動によって、目的とする収納空
間７の荷38を出庫し得る。

発明の効果 上記構成の本発明によると、送風機の吐出部からの送気
はエア供給路内を流れ、そしてフィルタを通ることでク
リーン度の高いクリーンエアとなって荷収納部に後面側
から供給でき、したがって荷収納部内は、後面から前面
へと流れるクリーンエアによって高クリーン度を維持す
ることができる。そして荷収納部を通ったクリーンエア
は再び送風機で吸引して循環使用することができる。ま
たエア供給路を形成する隔壁は本体外板によりカバーし
ていることから、接合部から汚れたクリーンエアが漏れ
ないように止めビスを多くしたりコーキングしたりする
など充分な処置を施こすことができ、そして処置部は外
から見えないことから外観を向上できる。さらに送風機
の吸引力でエア回収路を陰圧化でき、したがって万一、
隔壁の接合部からクリーンエアが漏れたとしても速やか
に送風機で吸引して再びエア供給路に供給でき、本体外
板から漏れることはない。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例を示す縦断正面図である。 １……クリーンルーム、５……荷保管装置、６……本体
外板、８……荷収納部、10……フィルタ、11……エア供
給路、12……区画室、13……吐出部、14……送風機、15
……吸引部、16……クリーンエア、17……多孔板、18…
…隔壁、19……エア回収路、21……貫通孔、26……荷捌
き装置、30……搬入出装置、36……受け渡し装置、38…
…荷。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】前面と後面とを開放した荷収納部の後面側
   にフイルタを配設するとともに、このフイルタの後方に
   隔壁を介してエア供給路を形成し、このエア供給路に吐
   出部が連通し、かつ荷収納部を通ったクリーンエアを吸
   引部を介して吸引自在な送風機を設け、前記隔壁の後方
   に本体外板を介してエア回収路を形成するとともに、こ
   のエア回収路を、前記送風機を配設した区画室内に連通
   したことを特徴とするクリーンルーム内の荷保管装置。