JPH0142105Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案はガラス基板にクロム膜等の薄膜を被着
する装置に適用して好適な基板ホルダに関し、特
にガラス基板の保持が確実で、装着時、取外し時
等における基板の損傷を減少させ得るようにした
ものである。

〔従来の技術〕

従来、この種の基板ホルダとしては第４図に示
すものが知られている。すなわち、この基板ホル
ダ１は基板２が載置される方形のホルダ本体３
と、３つの側板４，５，６と、基板２を側板６の
内側面に押し付ける左右一対のばね７，８とを備
え、図示しない真空蒸着装置（例：アネルバ社製
自動蒸着装置）のプラネタリー（内部治具）にね
じ止め固定されるように構成されている。前記一
対のばね７，８はホルダ本体３の裏面に沿つてそ
れぞれ配設され、その一端が該本体３に設けられ
た長溝９，１０よりホルダ本体３の表面側に突出
して押圧部７ａ，８ａを構成している。基板２の
装着に際しては前記押圧部７ａ，８ａを矢印Ａ方
向にあらかじめ移動させておき、基板２をホルダ
３上に載せた後、前記押圧部７ａ，８ａを解放す
ると、ばね７，８の圧縮により前記押圧部７ａ，
８ａが基板２の一端面を押圧し、側板６に押付
け、もつて基板２が基板ホルダ１に装着される。

なお、１１，１２はプラネタリーに基板ホルダ
１をねじ止めするときのねじ取付用孔、１３，１
４は基板２の着脱操作を容易にするための指穴で
ある。

〔考案が解決しようとする問題点〕

しかるにこのような従来の基板ホルダにおいて
は基板２の裏面がホルダ本体３の表面に密接する
ので、基板２の取付け、取外し時に基板裏面に傷
がつき易いという不都合があつた。また、側板
４，５，６の高さをｈ、基板２の板厚をｔとした
とき、基板２の表面全体にCr等を均一に蒸着す
るためにはｈ≦ｔであることが望ましく、そのた
め板厚ｔにあわせて基板ホルダを交換しなければ
ならず、その作業が面倒であつた。

この場合、高さｈを最小板厚の基板にあわせて
設定すれば、板厚の大きい基板に対して共通使用
できるが、そうすると基板に対する引掛りが少な
くなるため、基板２が浮き上ると側板４，５，６
を乗り越えて脱落しやすくなる。

〔問題点を解決するための手段〕

本考案に係る基板ホルダは上述したような問題
を解決すべくなされたもので、固定支持部を有す
るホルダ本体と、可動支持部を有して前記ホルダ
本体の一方の面に、該可動支持部が前記固定支持
部に対して接近離間する方向に摺動自在に配設さ
れた可動板と、前記可動支持部が前記固定支持部
方向に移動する方向の復帰習性を前記可動板に付
与するばねとを備え、前記固定支持部および可動
支持部には基板の側縁部を保持する凹部がそれぞ
れ設けられ、各凹部は基板の両主表面周縁部を受
け止める互いに対向した一対の受け面と、基板の
側面が当接する当接面を有し、かつ前記基板の裏
面と対向する前記ホルダ本体もしくは可動板の表
面より高い位置に設けられているものである。

〔作用〕

本考案においては固定支持部と可動支持部の凹
部が基板をホルダ本体もしくは可動板の表面から
浮いた状態で保持するので、基板裏面に傷がつき
にくく、取扱いを容易にする。また凹部は基板の
両主表面周縁部を受け止める一対の受け面を有す
るので、基板の浮き上りによる脱落を防止し、し
かも受け面間の寸法を大きく設定し得るため板厚
の異なる基板に対して共通使用し得る。

〔実施例〕

以下、本考案を図面に示す実施例に基づいて詳
細に説明する。

第１図は本考案に係る基板ホルダの一実施例を
示す平面図、第２図および第３図はそれぞれ第１
図Ａ−Ｂ線、Ａ−Ｃ線拡大断面図である。これら
の図において、基板ホルダ２０はステンレス等の
金属板からなるホルダ本体２１と、このホルダ本
体２１の裏面に配設された摺動自在な可動板２２
と、この可動板２２を第１図矢印３０方向と反対
の方向に付勢するばね２３と、ホルダ本体２１の
表面一側縁寄りに突設された一対の固定支持部２
５，２６と、可動板２２の表面で前記ホルダ本体
２１の固定支持部２５，２６が設けられている一
側縁とは反対側の側縁寄りに突設された一対の可
動支持部２７，２８とを備え、これらの支持部２
５〜２８によつて基板２の互いに対向する２つの
側縁部を保持するように構成されている。

前記ホルダ２１の４辺３１ａ〜３１ｄの中央に
は基板２の着脱操作時における把持を容易にする
ための切欠き３２〜３５がそれぞれ形成され、切
欠き３３，３５の両側でホルダ本体２１の表面側
にはピン３６〜３９がそれぞれ突設されており、
これらのピン３６〜３９により基板２が第１図に
おいて左右方向に移動するのを規制防止してい
る。なお、各ピン３６〜３９にはシリコンゴムか
らなるキヤツプ（図示せず）が被冠される。ホル
ダ本体２１の表面で一側縁、すなわち辺３１ａに
近接して切欠き３２の両側に突設されている前記
一対の固定支持部２５，２６は、略コ字状に形成
されることにより、辺３１ｃ方向に開放する凹部
４０，４１をそれぞれ有している。凹部４０は、
上下に対向し基板２の両主表面、すなわち板厚方
向に対向する面２Ａ，２Ｂの周縁部を受け止める
一対の受け面４２ａ，４２ｂと、基板２の側面が
当接する当接面４２ｃを有し、ホルダ本体２１の
表面より上方に設けられている。そして、凹部４
０の開口部は基板２の挿入を容易にするためハの
字状に開いている。凹部４１も凹部４０と全く同
様に構成されている。

ホルダ本体２１の辺３１ｃには左右一対の長溝
４５，４６が切欠き３４を挟んで形成されてお
り、これらの長溝４５，４６より前記可動板２２
に配設された一対の可動支持部２７，２８がホル
ダ本体２１の上面側に摺動自在に突出している。
各可動支持部２７，２８はその突出部の径が前記
長溝４５，４６の溝幅より大きく設定されること
により、下方への抜けを防止され、また側面視略
コ字状に形成されることにより前記固定支持部２
５，２６側に開放する凹部５０，５１をそれぞれ
有している。凹部５０は、前記凹部４０，４１と
同様、上下に対向し基板２の両主表面２Ａ，２Ｂ
の周縁部を受け止める一対の受け面５２ａ，５２
ｂと、基板２の側面が当接する当接面５２ｃを有
し、ホルダ本体２１の表面より上方に設けられて
いる。凹部５１も凹部５０と同様に構成されてい
る。なお、凹部４０，４１，５０，５１のホルダ
本体２１の表面からの高さは全て等しい。

ホルダ本体２１の中央には複数個、例えば４つ
の開口５６が形成されており、この開口５６と前
記切欠き３２〜３５とでホルダ本体２１の軽量化
を計つている。ホルダ本体２１の裏面で辺３１ａ
寄り中央部にはばね係止用ピン５７が突設されて
おり、このピン５７は前記可動板２２に形成され
た第３図左右方向に長い長孔５８を貫通し該可動
板２２の下方に突出している。ピン５７は、可動
板２２の下面側に位置し前記長孔５８の孔幅より
大きな径を有する鍔部５７ａを一体に有し、これ
によつて長孔５８からの抜けを防止されている。
そして、このピン５７には前記ばね２３の一端２
３ａが係止され、他端２３ｂは可動板２２に一体
に設けられたばね係止部５９に掛止めされてい
る。

前記可動板２２の一端は下方に折曲されること
により押圧部６０を構成している。

なお、６１はホルダ本体２１の裏面中央に固定
されたブロツク、６２，６３は基板ホルダ２０を
真空蒸着装置のプラネタリーに固定するためのビ
ス穴である。

このような構成からなる基板ホルダ２０におい
て、基板２を装着する際には、先ず可動板２２の
押圧部６０をばね２３に抗して第１図矢印３０方
向に押圧する。すると、可動板２２はホルダ本体
２１の裏面に沿つて前記矢印３０方向に移動する
ため、可動支持部２７，２８も長溝４５，４６に
沿つて可動板２２と一体に移動し、固定支持部２
５，２６との間隔を大きくする。次に、この状態
において基板２の相対向する両側縁部を各固定支
持部２５，２６の凹部４０，４１と各可動支持部
２７，２８の凹部５０，５１に順次挿入し、しか
る後押圧部６０に対する押圧状態を徐々に解除
し、ばね２３の力により可動板２２を復帰させる
と、前記凹部５０，５１の当接面５２ｃが基板２
の側面に当接して凹部４０，４１の当接面４２ｃ
に押付ける。この結果、基板２は前記凹部４０，
４１，５０，５１によつて挟持される。第２図は
この状態を示す。この時、基板２はホルダ本体２
１の表面から浮いた状態で保持されるため、基板
２の装着、取外し時において裏面がホルダ本体２
１の表面と接触することがなく、したがつて、基
板２に傷が生じるのを防止し得る。また、各凹部
４０，４１，５０，５１は基板２の両主表面周縁
部を受け止める一対の受け面４２ａと４２ｂ，５
２ａと５２ｂをそれぞれ有しているので基板２の
上方への移動を規制防止し、基板ホルダ２０から
の脱落を防止する。さらに、前記一対の受け面４
２ａと４２ｂおよび５２ａと５２ｂの間隔、換言
すれば当接面４２ｃ，５２ｃの高さを基板２の最
大板厚より若干大きくしておいても、基板自体の
浮き上りは上方の受け面４２ａ，５２ａによつて
制限されているので、最小板厚の基板に対しても
何らの支障もなく使用できる。したがつて、従来
とは異なり板厚が大きく変るたびに基板ホルダを
交換する必要がない。

なお、上記実施例はホルダ本体２１の裏面側に
可動板２２を配設したが、この逆であつてもよい
ことは勿論である。

また、上記実施例はそれぞれ一対ずつ合計４個
の支持部４０，４１，５０，５１によつて基板２
を保持する場合の例を説明したが、これに何ら特
定されるものではなく基板２の寸法サイズに応じ
て支持部の数を増減し得るものである。

さらに、上記実施例は方形の基板２に適用した
が、円形の基板であつてもよい。

また、ばね２３の力が大で、基板２の第１図左
右方向のガタ付きを十分防止し得る場合はピン３
６〜３９を省略してもよい。

〔考案の効果〕

以上説明したように本考案に係る基板ホルダに
よれば、基板の一方の主表面が基板ホルダの表面
に密着しない状態で該基板を保持するように構成
したので、基板に傷が生じにくく、基板の取扱い
を容易にする。また、固定支持部および可動支持
部の凹部は基板の上方への移動を受け面にて制限
しているので、基板の保持が確実で脱落を防止
し、また受け面間の寸法を基板の最大板厚に対応
して形成しても最小板厚の基板保持に何ら支障が
なく、板厚の異なつた基板に対して共通使用する
ことができる。したがつて、基板ホルダの面倒な
交換作業が不要であるなど、その実用的効果は非
常に大である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る基板ホルダの一実施例を
示す平面図、第２図は第１図Ａ−Ｂ線拡大断面
図、第３図は第１図Ａ−Ｃ線拡大断面図、第４図
は基板ホルダの従来例を示す斜視図である。 ２……基板、２０……基板ホルダ、２１……ホ
ルダ本体、２２……可動板、２３……ばね、２
５，２６……固定支持部、２７，２８……可動支
持部、４０，４１，５０，５１……凹部、４２
ａ，４２ｂ，５２ａ，５２ｂ……受け面、４２
ｃ，５２ｃ……当接面。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 固定支持部を有するホルダ本体と、可動支持部
   を有して前記ホルダ本体の一方の面に、該可動支
   持部が前記固定支持部に対して接近離間する方向
   に摺動自在に配設された可動板と、前記可動支持
   部が前記固定支持部方向に移動する方向の復帰習
   性を前記可動板に付与するばねとを備え、前記固
   定支持部および可動支持部には基板の側縁部を保
   持する凹部がそれぞれ設けられ、各凹部は基板の
   両主表面周縁部を受け止める互いに対向した一対
   の受け面と、基板の側面が当接する当接面を有
   し、前記基板の裏面と対向する前記ホルダ本体も
   しくは可動板の表面より高い位置に設けられてい
   ることを特徴とする基板ホルダ。