JPH04116193U - 基板収納ケース用載置台 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 基板１を基板収納ケース２へ収納したり、ケ
ースから取り出す際、基板１の一方の主表面側の側縁部
が収納ケース２の基板１を収納保持する収納溝１６に当
たらないようにすることを目的とする。 【構成】 基台２０上に上下動自在な一対の載置部材２
１、２２と基板受け止め部材２３を配置し、これらをば
ね２５、２６、２７によってそれぞれ上方に付勢する。
ばね２５のばね力をばね２６より大きく設定する。収納
ケース２の両側板１１、１２を載置部材２１、２２の上
に載せると、載置部材２１、２２の沈み込み量が異な
り、基板１および収納ケース２を傾ける。基板受け止め
部材２３は基板１を係止する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、ガラス、半導体素材等の基板、またはこれら基板に各種薄膜を被着 した膜付き基板（以下、これらを総称して「基板」という。）を収納する基板収 納ケースを載置する基板収納ケース用載置台に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

従来、上記した基板を大量に製作するとき、各工程間の運搬あるいは基板に施 す処理を効率的に行う為に、複数の基板を収納することができる基板収納ケース が一般に用いられている。この種の基板収納ケースの最も基本的な構成は、例え ば実公平１−１２２４６号、実公平２−７８２９号等に開示されているように平 行に対向する一対の側板と、これら側板間に横架され収納すべき基板の両側面お よび下面を支持する側面支持部材および下面支持部材を有して上下面が開放し、 側面支持部材に平面視台形状、Ｖ字状等の収納溝を長手方向に並設し、これらの 溝に基板の側端部を挿入することにより、基板を略垂直に起立した状態で板厚方 向に所定の間隔をおいて複数個収納する構成とされる。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

ところで、上記した基板の一種であるフォトマスクブランク（レジスト膜付き ）を製作する際、従来の基板収納ケースを使用すると、以下の問題があった。 一般に、前述したフォトマスクブランクは、ガラス基板の主表面を精密研磨した 後、前記主表面上にクロム等の遮光膜をスパッタリングで成膜し、しかる後、ス ピンコーターで遮光膜上にレジストを塗布するという、一連の基本工程を経て製 作される。この一連の工程の中でレジスト塗布工程に於いては、遮光膜付きガラ ス基板を作業者が手で把持して一枚ずつ基板収納ケースから抜き取り、スピンコ ーターの所定の位置に設置していた。このように、遮光膜付きガラス基板を手で 把持して収納したり抜き取るとき、遮光膜の側縁部が収納溝の溝壁に当たって擦 られるのを防止することが困難で、その結果、遮光膜の側縁部が剥離するという 問題があった。そして、この剥離した遮光膜の破片が遮光膜上に付着するなどし て、フォトマスクブランクの製作歩留りを低下させていた。また、遮光膜を成膜 する前のガラス基板であっても、同様の理由で遮光膜を成膜する主表面の周縁部 に微細な傷が入るという問題が生じる。

【０００４】 したがって、本考案は上記したような従来の問題点に鑑みてなされたもので、 その目的とするところは、基板を基板収納ケースへ収納したり、収納ケースから 抜き取る際、基板の一方の主表面側の側縁部が収納溝に当たらないようにするこ とができるようにした基板収納ケース用載置台を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

本考案は上記目的を達成するために、対向する一対の側板と、これら一対の側 板間に横架され収納すべき基板の両側面および下面を支持する側面支持部材およ び下面支持部材を有して上下面が開放し、前記基板を略垂直に起立した状態でか つ板厚方向に所定の間隔をおいて複数個収納する基板収納ケースが載置される載 置台であって、この載置台は、基台と、この基台上に上下動自在に配設され前記 各側板の下端が載置される一対の載置部材と、同じく基台上に上下動自在に配設 され、前記基板収納ケースの載置時に前記基板の下面を受け止める基板受け止め 部材と、前記一対の載置部材および基板受け止め部材をそれぞれ上方に付勢する 付勢手段とを備え、前記各載置部材を付勢する一対の付勢手段の付勢力を異なら せ、前記基板収納ケースの載置時に各載置部材の沈み込み量を変えることにより 、基板収納ケースを傾斜させるようにしたものである。

【０００６】

【作用】

本考案において、基板を収納した基板収納ケースを一対の載置部材上に載置す ると、これらの載置部材は収納ケースの重量により付勢手段に抗して下降する。 したがって、基板収納ケースも載置部材と共に下降する。この時、一対の載置部 材はこれらを上方に付勢する付勢手段の付勢力の差により、沈み込み量が異なり 、収納ケースを傾ける。このため、収納ケース内の基板も傾き、傾き側とは反対 側の主表面の側縁部が側面支持部材の収納溝から離間する。基板受け止め部材は 、基板収納ケースが載置台と共に下降することで、基板の下面を受け止め、その 位置に係止する。このため、基板の上端部は収納ケースの上方に突出する。

【０００７】

【実施例】

以下、本考案を図面に示す実施例に基づいて詳細に説明する。 図１は本考案に係る基板収納ケース用載置台の一実施例を示す斜視図、図２は 基板収納ケースを載置する直前の状態を示す正面図、図３は載置した状態を示す 正面図、図４は基板収納ケースの斜視図、図５は側面支持部材の要部拡大図であ る。

【０００８】 これらの図において、本実施例は基板としてフォトマスクブランク１を複数個 （例：１０個）収納する基板収納ケース２が載置される載置台３に適用した場合 を示す。フォトマスクブランク１は方形の石英ガラス板（１２７ｍｍ角、厚さ２ ．２９ｍｍ）の主表面（表裏面）を精密研磨し、その一方の主表面にＣｒ等の遮 光膜４を成膜して形成されるものであり、全ての稜線には０．６ｍｍ程度の面取 り面５ａ、５ｂ（図５参照）が主表面と４５°の傾斜角度をもって形成されてい る。

【０００９】 このようなフォトマスクブランク１を収納する基板収納ケース２は、図４に示 すように互いに平行に対向する左右一対の側板１１、１２と、これら両側板１１ 、１２間に横架されフォトマスクブランク１の両側面と、下面をそれぞれ支持す る側面支持部材１３および下面支持部材１４とで構成されている。側面支持部材 １３は、側板１１、１２の前後端側にそれぞれ上下一対ずつ、合計４つ設けられ ることにより、フォトマスクブランク１の側面を４点支持している。また、各側 面支持部材１３の外周にはフォトマスクブランク１の側端部を収納保持する台形 （又はＶ字状）の収納溝１６が長手方向に所定の間隔をおいて１０個並設されて いる。収納溝１６は周溝からなり、図５に示すように左右対称で、各溝壁面１７ ａ、１７ｂの傾斜角度αがフォトマスクブランク１の面取角度（４５°）以下（ 例えば４０°）とされ、溝底面の幅がフォトマスクブランク１の板厚より若干小 さく設定されている。フォトマスクブランク１を基板収納ケース２に収納する際 には、遮光膜４側とは反対側の主表面を溝壁面１７ｂ側に寄せて挿入する。収納 溝１６にフォトマスクブランク１の側端部を挿入したとき、フォトマスクブラン ク１が収納溝１６の中で板厚方向に多少動いたとしても、溝壁面１７ａの傾斜角 度αが面取角度より小さいため、遮光膜４の側端縁が溝壁面１７ａに当たって擦 られることはない。 フォトマスクブランク１の下面を支持する下面支持部材１４はストレートな棒 状体からなり、側板１１、１２の下部間に前後一対設けられ、各フォトマスクブ ランク１の下面を２点支持する。

【００１０】 さて、上記したような基板収納ケース２が載置される載置台３は、図１〜図３ に示すように、基台２０と、この基台２０上に上下動自在に配設され前記基板収 納ケース２の各側板１１、１２の下端が載置される一対の載置部材２１、２２と 、同じく基台２０上に上下動自在に配設され、前記基板収納ケース２の載置時に 各フォトマスクブランク１の下面を受け止める一対の基板受け止め部材２３、２ ４と、前記一対の載置部材２１、２２および基板受け止め部材２３、２４をそれ ぞれ上方に付勢する付勢手段としての圧縮コイルばね２５、２６、２７等で構成 されている。

【００１１】 前記基台２０は、ステンレス等の金属板の折り曲げ加工によって正面視コ字状 に形成されることにより、前記載置部材２１、２２および基板受け止め部材２３ 、２４が上面に配設される上面板２０ａと、この上面板２０ａの左右両端部を下 方に略直角に折り曲げることにより設けられた一対の脚部２０ｂ、２０ｃとで構 成されている。

【００１２】 一対の載置部材２１、２２は、前後方向に長く延在し、前記基板収納ケース２ の側板１１、１２間の間隔と同一の間隔を保って互いに平行に対向するように上 面板２７ａ上に上下動自在に配設されるもので、その上面には側板１１、１２の 下端を支持するＶ字状の溝２９、３０が長手方向全長に亙って形成されている。 また、各載置部材２１、２２の下面両端部付近には一対の支柱３１ａ、３１ｂ（ ３１ｂは図示せず）、３２ａ、３２ｂがそれぞれ垂設されており、これらの支柱 ３１ａ、３１ｂ、３２ａ、３２ｂの下端部は上面板２０ａに形成された挿通孔３ ３より上面板２０ａの下面に設けられた軸受部３４にスライドベアリング（図示 せず）を介して摺動自在に貫通され、かつ支柱３１ａと３２ａ、３１ｂと３２ｂ の下端が連結板３６、３７にそれぞれ連結ピン（図示せず）を介して相対傾動自 在に連結されている。 なお、載置部材２１、２２はピーク材、支柱３１ａ、３１ｂ、３２ａ、３２ｂ はステンレスを素材としてそれぞれ形成されている。

【００１３】 前記各載置部材２１、２２を上方に付勢する圧縮コイルばね２５、２６は、一 端が前記上面板２０ａの下面に係止され、他端が前記各連結板３６、３７にそれ ぞれ係止されている。この場合、載置部材２１を付勢する圧縮コイルばね２５の ばね力は、例えば８、８ｇ／ｍｍで、載置部材２２を付勢する圧縮コイルばね２ ６のばね力（４、４ｇ／ｍｍ）より大きく設定されている。したがって、載置部 材２２の方が載置部材２２より大きな復帰力を付与されている。異なった復帰力 を付与する方法としては、ばね力の異なるばねを使用する代わりに同じばね力の ばねを用い、載置部材２１に使用するばねの数を載置部材２２側より多くしても よい。

【００１４】 前記一対の基板受け止め部材２３、２４は、前記一対の載置部材２１、２２間 にこれらと直交するように前後に平行に対向してかつ載置部材２１、２２より上 方に位置するように配設されており、下面両端部近傍にはそれぞれ一対の支柱４ ０ａ、４０ｂ、４１ａ、４１ｂが垂設されている。そして、各基板受け止め部材 ２３、２４の上面は凸曲面状に湾曲形成されている。前記各支柱４０ａ、４０ｂ 、４１ａ、４１ｂは、前記上面板２０ａ上に設けられた軸受部材４４にスライド ベアリング（図示せず）を介して摺動自在に貫通され、下端が上面板２０ａの下 方に上方への抜けを防止されて突出している。なお、基板受け止め部材２３、２ ４はピーク材、支柱４０ａ、４０ａ、４１ａ、４１ｂはステンレスを素材として それぞれ形成されている。

【００１５】 前記各基板受け止め部材２３、２４を上方に付勢する圧縮コイルばね２７は、 全てばね力が等しく（例：ばね定数５１ｇ／ｍｍ）、前記各支柱４０ａ、４０ａ 、４１ａ、４１ｂに装着され、上端が基板受け止め部材２３、２４の下面に圧接 され、下端が軸受部材４４の上面に圧接されている。

【００１６】 このような構成からなる基板収納ケース用載置台３において、基板収納ケース ２が載置されない通常時は、２つの載置部材２１、２２は圧縮コイルばね２５、 ２６のばね力により図２に示す上方位置に設定保持され、略同一高さを保ってい る。但し、圧縮コイルばね２６のばね力が弱いため、載置部材２１、２２の重量 によっては幾分載置部材２２の方が載置部材２１より低い位置とされる。 この状態において、基板収納ケース２を載置台３上に載置する。載置する際は 、フォトマスクブランク１の遮光膜４が形成されている主表面が載置部材２１側 になるように各側板１１、１２の下端を各載置部材２１、２２の溝２９、３０内 に載置する。すると、載置部材２１、２２はフォトマスクブランク１と基板収納 ケース２の重量によって圧縮コイルばね２５、２６に抗して下降する。この時、 載置部材２１、２２の下降量は、圧縮コイルばね２５、２６の付勢力が相違する ことから異なり、左側の載置部材２１の沈み込み量（約３０ｍｍ）よりも右側の 載置部材２２の沈み込み量（約４０ｍｍ）の方が大きく、したがって、載置され た基板収納ケース２を右側に所定角度（約１５°）傾斜させる。このため、フォ トマスクブランク１も傾斜し、傾斜側の面取り面５ｂが収納溝１６の溝壁面１７ ｂ（図５）に密接する。また、載置部材２１、２２の下降に伴い基板収納ケース ２が傾斜しながら下降すると、各フォトマスクブランク１の下面が基板受け止め 部材２３、２４の上面に当接する。しかし、基板収納ケース２はなおも下降する ため、各フォトマスクブランク１は基板受け止め部材２３、２４上に残り、上端 部が基板収納ケース２の上方へ突出される。この時、基板受け止め部材２３、２ ４もフォトマスクブランク１の総重量により、圧縮コイルばね２７に抗して若干 （約５ｍｍ）沈み込む。

【００１７】 かくしてこのような構成からなる基板収納ケース用載置台３にあっては、基板 収納ケース２の載置によってフォトマスクブランク１の上端部を基板収納ケース ２の上方へ突出させるため、フォトマスクブランク１の基板収納ケース２からの 抜き取りが容易であるばかりか、基板収納ケース２をフォトマスクブランク１の 遮光膜４側とは反対側に傾斜させると、フォトマスクブランク１も同方向に傾斜 するため、遮光膜４が収納溝１６の溝壁面１７ａから離れて当たることがなく、 したがって、抜き取り時の遮光膜４の収納溝１６による剥離を確実に防止するこ とができる。また、フォトマスクブランク１を収納ケース２に収納する際には、 遮光膜４が上になるようにフォトマスクブランク１を傾斜させて遮光膜４側とは 反対側の主表面の側端部を収納溝１６の溝壁面１７ｂに沿って収納すると、遮光 膜４が溝壁面１７ａに当たって擦られることがなく、収納操作も容易である。

【００１８】 なお、上記実施例は２つの基板受け止め部材２３、２４を設けた場合について 説明したが、これに特定されるものではなく、基板サイズによっては１つであっ てもよいことは勿論である。

【００１９】

【考案の効果】

以上説明したように本考案に係る基板収納ケース用載置台は、基板を収納する 基板収納ケースが載置されると、これを下降傾斜させ、基板をケース上方に突出 させるように構成したものであるため、基板の収納、抜取り作業を容易にし、ま た基板の傾斜側とは反対側の主表面の側縁部が基板収納ケースの保持溝に当たる のを防止する。したがって、この主表面の側縁部が保持溝によって損傷したりす ることがなく、安心して基板の収納、抜取作業を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係る基板収納ケース用載置台の一実施
例を示す斜視図である。

【図２】基板収納ケースを載置する直前の状態を示す正
面図である。

【図３】基板収納ケースを載置台に載置した状態を示す
正面図である。

【図４】基板収納ケースの概略斜視図である。

【図５】側面支持部材の要部拡大図である。

【符号の説明】

１ フォトマスクブランク ２ 基板収納ケース ３ 基板収納ケース用載置台 ４ 遮光膜 １１、１２ 側板 １３ 側面支持部材 １４ 下面支持部材 １６ 収納溝 ２０ 基台 ２１、２２ 載置部材 ２３、２４ 基板受け止め部材 ２５ 、２６、２７ 圧縮コイルばね

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 対向する一対の側板と、これら一対の側
   板間に横架され収納すべき基板の両側面および下面を支
   持する側面支持部材および下面支持部材を有して上下面
   が開放し、前記基板を略垂直に起立した状態でかつ板厚
   方向に所定の間隔をおいて複数個収納する基板収納ケー
   スが載置される載置台であって、この載置台は、基台
   と、この基台上に上下動自在に配設され前記各側板の下
   端が載置される一対の載置部材と、同じく基台上に上下
   動自在に配設され、前記基板収納ケースの載置時に前記
   基板の下面を受け止める基板受け止め部材と、前記一対
   の載置部材および基板受け止め部材をそれぞれ上方に付
   勢する付勢手段とを備え、前記各載置部材を付勢する一
   対の付勢手段の付勢力を異ならせ、前記基板収納ケース
   の載置時に各載置部材の沈み込み量を変えることによ
   り、基板収納ケースを傾斜させるようにしたことを特徴
   とする基板収納ケース用載置台。