JPH0144101B2 - - Google Patents
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- JPH0144101B2 JPH0144101B2 JP9097080A JP9097080A JPH0144101B2 JP H0144101 B2 JPH0144101 B2 JP H0144101B2 JP 9097080 A JP9097080 A JP 9097080A JP 9097080 A JP9097080 A JP 9097080A JP H0144101 B2 JPH0144101 B2 JP H0144101B2
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Landscapes
- Electrostatic Separation (AREA)
Description
［産業上の利用分野］
本発明は、空気中の塵埃粒子を吸着、捕集する
ためのエアフイルタ装置、殊にエレクトレツトフ
イルタ濾材を用いたエアフイルタ装置に関する。 ［従来の技術］ 空気清浄化用のフイルタには従来から種々の形
式のものがあり、その代表的なものとしてメカニ
カルフイルタ、電気集塵機及び誘電型フイルタが
知られている。 しかしこれらのフイルタには、一長一短があ
り、特に大規模集積回路（LSI）製造設備のよう
な、粒径0.3μｍ以下の微粒子をも問題とする程の
高度の清浄環境を必要とする分野では、上記従来
形式のフイルタは、圧力損失、設備及び運転コス
トなどの見地から実用に即しないことが多い。 ［発明が解決しようとする課題］ そこで本発明が解決しようとする課題は、本願
出願人が先に出願したエレクトレツト化フイルタ
に関する発明（特開昭56−24013号）を更に発展
させ、一層除塵効率の優れたフイルタ装置を提供
することである。
ためのエアフイルタ装置、殊にエレクトレツトフ
イルタ濾材を用いたエアフイルタ装置に関する。 ［従来の技術］ 空気清浄化用のフイルタには従来から種々の形
式のものがあり、その代表的なものとしてメカニ
カルフイルタ、電気集塵機及び誘電型フイルタが
知られている。 しかしこれらのフイルタには、一長一短があ
り、特に大規模集積回路（LSI）製造設備のよう
な、粒径0.3μｍ以下の微粒子をも問題とする程の
高度の清浄環境を必要とする分野では、上記従来
形式のフイルタは、圧力損失、設備及び運転コス
トなどの見地から実用に即しないことが多い。 ［発明が解決しようとする課題］ そこで本発明が解決しようとする課題は、本願
出願人が先に出願したエレクトレツト化フイルタ
に関する発明（特開昭56−24013号）を更に発展
させ、一層除塵効率の優れたフイルタ装置を提供
することである。
［課題を解決するための手段］
(1) 概念
本発明者は、上記課題を解決するための手段
に付き鋭意検討を加える過程で、除塵さるべき
空気中の塵埃粒子の一部が、正負いづれにも帯
電しない電気的中性の状態に在ることに着目し
た。このような非帯電粒子の一部は、濾材であ
るエレクトレツト繊維間を通過する際、該繊維
間の空間電界により分極し、正負いづれかに帯
電する筈であるが、エレクトレツト繊維自体に
は如何なるエネルギーも供給されていないか
ら、非帯電粒子に作用するクーロン力は、該繊
維間の狭い空間を考慮しても大であるとは言え
ない。 そこで発明者は、何らかの方法で被濾過空気
中の塵埃粒子を積極的に帯電させておくなら
ば、エレクトレツト繊維の性能をより高度に発
揮させうるであろうとの着想を得、実験の結
果、本着想の正確さを確認した。 (2) 概要 以上の知見に基づき、本発明は、エレクトレ
ツトフイルタ濾材と、その上流側に設けられた
塵埃粒子帯電装置とから成ることを特徴とする
エアフイルタ装置を要旨とする。 (3) エレクトレツトフイルタ 本発明にいうエレクトレツトフイルタは、自
体公知のものであるが、例えば、ポリエチレ
ン、ポリプロピレン又はポリスチレンのよう
な、自体体積抵抗率が大きく、しかも誘電損失
の小さい合成樹脂から作られた繊維を不織布状
に絡み合わせたものに適当な方法で帯電させた
ものである。帯電により、本繊維の表面は正負
に分極し、半永久的にその状態を維持する。 (4) 塵埃粒子帯電装置 塵埃粒子を帯電させるための装置としては、
上のエレクトレツトフイルタへ導入される空気
自体をイオン化させるための公知の手段、例え
ばコロナ放電電極と高圧電源との組み合わせが
利用されるが、この場合、電極としては網状電
極、ワイヤ状電極又は針状電極が好ましい。電
圧としては、普通10KV以上の高圧が使用され
る。電極の極性は正負いづれでもよいが、負極
とするとオゾンの発生量が増加するため、脱オ
ゾン処理が必要となる。 ［作用］ 第１図を参照して、エレクトレツトフイルタ濾
材５を構成する繊維３，３は、自体正負に帯電し
ていて、各繊維間の空間に強い電界を形成してい
る。このため、気中の微小帯電粒子２，２は、該
繊維の点電荷間吸引力（クーロン力）により、
夫々該繊維の反対電荷側に吸引される（吸引力の
強さを、以下比喩的に矢線の長さで表す。）。一
方、非帯電粒子４，４も、繊維３，３間の電界に
より分極され、これまた繊維３に吸着されるが、
その被吸引力は一般に前者に比し弱い。従つて、
濾材５の上流側で塵埃粒子に帯電させておくこと
が捕集効率向上のため重要であり、これにより、
0.1μｍ程度の超微粒子も完全に捕収できるように
なる。 ［実施例］ 第２図は、本発明装置の概略側断面図である。 空気取り入れ管６の後方にエレクトレツト繊維
３からなるフイルタ濾材５が、また前方に高圧電
極７，７…が夫々配置されている。 以上の装置を用い、印加電圧12KVで取り入れ
空気８をイオン化しながら各種濾材を通過させた
ときの成績を以下第１表に示す。
に付き鋭意検討を加える過程で、除塵さるべき
空気中の塵埃粒子の一部が、正負いづれにも帯
電しない電気的中性の状態に在ることに着目し
た。このような非帯電粒子の一部は、濾材であ
るエレクトレツト繊維間を通過する際、該繊維
間の空間電界により分極し、正負いづれかに帯
電する筈であるが、エレクトレツト繊維自体に
は如何なるエネルギーも供給されていないか
ら、非帯電粒子に作用するクーロン力は、該繊
維間の狭い空間を考慮しても大であるとは言え
ない。 そこで発明者は、何らかの方法で被濾過空気
中の塵埃粒子を積極的に帯電させておくなら
ば、エレクトレツト繊維の性能をより高度に発
揮させうるであろうとの着想を得、実験の結
果、本着想の正確さを確認した。 (2) 概要 以上の知見に基づき、本発明は、エレクトレ
ツトフイルタ濾材と、その上流側に設けられた
塵埃粒子帯電装置とから成ることを特徴とする
エアフイルタ装置を要旨とする。 (3) エレクトレツトフイルタ 本発明にいうエレクトレツトフイルタは、自
体公知のものであるが、例えば、ポリエチレ
ン、ポリプロピレン又はポリスチレンのよう
な、自体体積抵抗率が大きく、しかも誘電損失
の小さい合成樹脂から作られた繊維を不織布状
に絡み合わせたものに適当な方法で帯電させた
ものである。帯電により、本繊維の表面は正負
に分極し、半永久的にその状態を維持する。 (4) 塵埃粒子帯電装置 塵埃粒子を帯電させるための装置としては、
上のエレクトレツトフイルタへ導入される空気
自体をイオン化させるための公知の手段、例え
ばコロナ放電電極と高圧電源との組み合わせが
利用されるが、この場合、電極としては網状電
極、ワイヤ状電極又は針状電極が好ましい。電
圧としては、普通10KV以上の高圧が使用され
る。電極の極性は正負いづれでもよいが、負極
とするとオゾンの発生量が増加するため、脱オ
ゾン処理が必要となる。 ［作用］ 第１図を参照して、エレクトレツトフイルタ濾
材５を構成する繊維３，３は、自体正負に帯電し
ていて、各繊維間の空間に強い電界を形成してい
る。このため、気中の微小帯電粒子２，２は、該
繊維の点電荷間吸引力（クーロン力）により、
夫々該繊維の反対電荷側に吸引される（吸引力の
強さを、以下比喩的に矢線の長さで表す。）。一
方、非帯電粒子４，４も、繊維３，３間の電界に
より分極され、これまた繊維３に吸着されるが、
その被吸引力は一般に前者に比し弱い。従つて、
濾材５の上流側で塵埃粒子に帯電させておくこと
が捕集効率向上のため重要であり、これにより、
0.1μｍ程度の超微粒子も完全に捕収できるように
なる。 ［実施例］ 第２図は、本発明装置の概略側断面図である。 空気取り入れ管６の後方にエレクトレツト繊維
３からなるフイルタ濾材５が、また前方に高圧電
極７，７…が夫々配置されている。 以上の装置を用い、印加電圧12KVで取り入れ
空気８をイオン化しながら各種濾材を通過させた
ときの成績を以下第１表に示す。
【表】
上表から明らかなように、エレクトレツト濾材
は、正コロナ放電又は負コロナ放電のいづれにお
いても、厚さ20mm以上では、僅かの圧力損失でも
つて、0.1μｍ以上の微粒子の透過を完全に阻止し
ていることが判る。これに反し、通常のポリプロ
ピレン不織布、ナイロン不織布又はガラス繊維不
織布を用いた濾材では、同様に濾材の上流側に塵
埃粒子帯電手段を付加しても、厚さ20mmの普通ポ
リプロピレン不織布を負コロナ放電状態で使用し
たときの透過率7.73％が最良の成績であつたか
ら、粒子帯電装置とエレクトレツト濾材との協力
効果は明白である。
は、正コロナ放電又は負コロナ放電のいづれにお
いても、厚さ20mm以上では、僅かの圧力損失でも
つて、0.1μｍ以上の微粒子の透過を完全に阻止し
ていることが判る。これに反し、通常のポリプロ
ピレン不織布、ナイロン不織布又はガラス繊維不
織布を用いた濾材では、同様に濾材の上流側に塵
埃粒子帯電手段を付加しても、厚さ20mmの普通ポ
リプロピレン不織布を負コロナ放電状態で使用し
たときの透過率7.73％が最良の成績であつたか
ら、粒子帯電装置とエレクトレツト濾材との協力
効果は明白である。
以上、説明した通り、本発明は、粒径0.1μｍと
いう超微粒子を100％捕収しうる確実な空気濾過
手段を開発し得たことにより、高密度集積回路の
生産その他の超清浄空気を必要とする施設に対し
多大の便益を与える。
いう超微粒子を100％捕収しうる確実な空気濾過
手段を開発し得たことにより、高密度集積回路の
生産その他の超清浄空気を必要とする施設に対し
多大の便益を与える。
第１図は、エレクトレツト濾材による塵埃粒子
の捕集作用を説明する図、第２図は、本発明のエ
アフイルタ装置の概略側断面図である。図中の符
号の意味は以下の通り― １：発明フイルタ装置の全体；…５：１のエレ
クトレツト濾材、…３：５の構成繊維…６：１の
空気取り入れ管、７：１の電極；２：帯電塵埃粒
子、４：非帯電塵埃粒子；８：取り入れ空気流。
の捕集作用を説明する図、第２図は、本発明のエ
アフイルタ装置の概略側断面図である。図中の符
号の意味は以下の通り― １：発明フイルタ装置の全体；…５：１のエレ
クトレツト濾材、…３：５の構成繊維…６：１の
空気取り入れ管、７：１の電極；２：帯電塵埃粒
子、４：非帯電塵埃粒子；８：取り入れ空気流。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ エレクトレツトフイルタ濾材と、その上流側
に設けられた塵埃粒子帯電装置とから成ることを
特徴とするエアフイルタ装置。 ２ 塵埃粒子帯電装置の電極が、網状電極、ワイ
ヤ状電極又は針状電極である請求項１記載のエア
フイルタ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9097080A JPS5715856A (en) | 1980-07-02 | 1980-07-02 | Air filter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9097080A JPS5715856A (en) | 1980-07-02 | 1980-07-02 | Air filter |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5715856A JPS5715856A (en) | 1982-01-27 |
| JPH0144101B2 true JPH0144101B2 (ja) | 1989-09-26 |
Family
ID=14013352
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9097080A Granted JPS5715856A (en) | 1980-07-02 | 1980-07-02 | Air filter |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5715856A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59127657A (ja) * | 1983-01-05 | 1984-07-23 | Japan Vilene Co Ltd | 流体の濾過方法及び濾過装置 |
| JPH0652347B2 (ja) * | 1983-10-24 | 1994-07-06 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 固体表示装置 |
-
1980
- 1980-07-02 JP JP9097080A patent/JPS5715856A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5715856A (en) | 1982-01-27 |
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