JPH0145724B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0145724B2 JPH0145724B2 JP14453681A JP14453681A JPH0145724B2 JP H0145724 B2 JPH0145724 B2 JP H0145724B2 JP 14453681 A JP14453681 A JP 14453681A JP 14453681 A JP14453681 A JP 14453681A JP H0145724 B2 JPH0145724 B2 JP H0145724B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ceramic
- wire
- resistance wire
- resistance
- fine particles
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 43
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 claims description 14
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 7
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 claims description 6
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 6
- 238000001962 electrophoresis Methods 0.000 claims description 5
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 5
- 239000002002 slurry Substances 0.000 claims description 4
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims description 2
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims 1
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 28
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 13
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 12
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 8
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 6
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N Magnesium oxide Chemical compound [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 3
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 3
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 2
- RMAQACBXLXPBSY-UHFFFAOYSA-N silicic acid Chemical compound O[Si](O)(O)O RMAQACBXLXPBSY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 229910000906 Bronze Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020068 MgAl Inorganic materials 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PQZSQOYXZGDGQW-UHFFFAOYSA-N [W].[Pb] Chemical compound [W].[Pb] PQZSQOYXZGDGQW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010974 bronze Substances 0.000 description 1
- KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N copper tin Chemical compound [Cu].[Sn] KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- -1 etc. Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052863 mullite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- MOFOBJHOKRNACT-UHFFFAOYSA-N nickel silver Chemical compound [Ni].[Ag] MOFOBJHOKRNACT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010956 nickel silver Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001376 precipitating effect Effects 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 239000011029 spinel Substances 0.000 description 1
- 229910052596 spinel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Details Of Resistors (AREA)
- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は温度変化による電気抵抗の変化を利用
して流体または固体の温度を測定する測温抵抗
体、流体の流れ中に置いた場合の温度変化による
電気抵抗の変化を検出しこれによつて流体の流速
を測定する流速計測用センサー、またはシーズヒ
ーターなどの抵抗線を細管内に固定し保護する方
法にかかるものである。
して流体または固体の温度を測定する測温抵抗
体、流体の流れ中に置いた場合の温度変化による
電気抵抗の変化を検出しこれによつて流体の流速
を測定する流速計測用センサー、またはシーズヒ
ーターなどの抵抗線を細管内に固定し保護する方
法にかかるものである。
従来この種の測温抵抗体、計測器用センサーな
どは抵抗の温度係数の大きな細線（５〜40ミクロ
ン）たとえばタングステン線、ニツケル線または
白金線等を低抗線として真直または螺旋状態の裸
線でそのままあるいは絶縁体の表面に巻きつけた
状態で使用しているが、裸線の状態で用いる場合
にはしばしば切断して使用不能となり、一方絶縁
体の表面に抵抗線を巻いて使用するものは形状不
安定でまた流体中の塵埃が付着した場合清掃が極
めて困難でありまた湿度の影響を受け易く測定精
度が大きく狂う欠陥があり、尚又このようなセン
サーでは液体の温度または流速の測定は不可能で
ある。
どは抵抗の温度係数の大きな細線（５〜40ミクロ
ン）たとえばタングステン線、ニツケル線または
白金線等を低抗線として真直または螺旋状態の裸
線でそのままあるいは絶縁体の表面に巻きつけた
状態で使用しているが、裸線の状態で用いる場合
にはしばしば切断して使用不能となり、一方絶縁
体の表面に抵抗線を巻いて使用するものは形状不
安定でまた流体中の塵埃が付着した場合清掃が極
めて困難でありまた湿度の影響を受け易く測定精
度が大きく狂う欠陥があり、尚又このようなセン
サーでは液体の温度または流速の測定は不可能で
ある。
かかる欠点を除去するためセンサーの熱敏感抵
抗体を硬質チユーブの中にマグネシア等の無機絶
縁体粉末または絶縁性の有機高分子接着剤ととも
に封入し固定する方法が実施されたが、かかる充
填方式では硬質チユーブの内径が微小なものは無
機絶縁体粉末等の填入が不可能であり、従つて微
小なセンサーは製作し得ずセンサー自体が大きく
なるため、測定すべき流体と抵抗体とが熱平衡に
達するのに時間を要し、流体の変動する温度また
は流速を測定するに適せず、また有機高分子接着
剤とともに封入する方法では一般に200℃程度以
上の高温に耐え得ない欠点があつた。
抗体を硬質チユーブの中にマグネシア等の無機絶
縁体粉末または絶縁性の有機高分子接着剤ととも
に封入し固定する方法が実施されたが、かかる充
填方式では硬質チユーブの内径が微小なものは無
機絶縁体粉末等の填入が不可能であり、従つて微
小なセンサーは製作し得ずセンサー自体が大きく
なるため、測定すべき流体と抵抗体とが熱平衡に
達するのに時間を要し、流体の変動する温度また
は流速を測定するに適せず、また有機高分子接着
剤とともに封入する方法では一般に200℃程度以
上の高温に耐え得ない欠点があつた。
本発明は以上の如き欠点を除去し、小型で応答
性が速く高温に耐え、正確に温度あるいは流体の
流速を測定し得る計測器用センサー（熱敏感抵抗
体）あるいは高温用のシーズヒーターを提供する
ことを目的とするもので、この目的は本発明によ
り抵抗線を挿入した細管をセラミツク微粒子の分
散体の中に浸漬し、抵抗線と他の電極板との間に
電圧を加えることにより電気泳動を利用して分散
体中のセラミツク粒子を抵抗線表面全長にわたり
析出固定して細管内に充填し乾燥することにより
達成される。
性が速く高温に耐え、正確に温度あるいは流体の
流速を測定し得る計測器用センサー（熱敏感抵抗
体）あるいは高温用のシーズヒーターを提供する
ことを目的とするもので、この目的は本発明によ
り抵抗線を挿入した細管をセラミツク微粒子の分
散体の中に浸漬し、抵抗線と他の電極板との間に
電圧を加えることにより電気泳動を利用して分散
体中のセラミツク粒子を抵抗線表面全長にわたり
析出固定して細管内に充填し乾燥することにより
達成される。
以下実施例を図面について説明すれば、第１図
に示す如く径20ミクロンの白金細線を径約0.35mm
の螺旋状に巻いた抵抗細線２の両端に経0.2mmの
白金リード線１，１を電気溶接等によつて接続
し、アルミナまたはシリカ或はその混合物よりな
る内径0.5mm、長さ約30mmのセラミツク細管３に
リード線１，１と抵抗細線２との溶着部が納まる
ように該白金抵抗細線２を挿通し、セラミツク細
管３を適宜の保持具６によつて容器７に満たした
シリカの20％水性ゾル中に吊下げ浸漬し、適宜の
直流電源８により白金リード線１に正電圧シリカ
ゾル４中に設けた電極９に負電圧を加えると、負
の電荷を帯びているシリカゾル４中のシリカ微粒
子は白金リード線１および白金抵抗細線２の表面
に析出固定する。10ボルトの電圧を約10分間加え
るとセラミツク細管３内はほぼシリカ粒子４ａで
充填されるので通電を止めセラミツク管３を引上
げ、第２図に示す如くセラミツク管３内に析出し
たシリカ４ａを乾燥し、白金リード線１に析出固
着したシリカ粒子層を除去した後、セラミツクの
泥漿たとえばアルミナ粒末30％と硬質ガラス粉末
70％との混合物を約２倍量の水、メチルアルコー
ル等適宜の揮発性液体に混和して得た泥漿状分散
体を細管両端に４ｂの如く追加充填して80〜100
℃で約１時間乾燥して上記分散体４ｂ内の水分を
蒸発し、６時間で約1200℃に昇温し約1200℃に30
分間維持して細管内のシリカを焼成し、セラミツ
ク管内の空気、吸着ガス、水蒸気等を完全に追出
しかつ細管両端のセラミツク４ｂを燒結する。そ
の後常温まで約10時間かけて徐冷すると、白金抵
抗細線２はセラミツク細管３内に焼成セラミツク
４ａ，４ｂによつて固定される。
に示す如く径20ミクロンの白金細線を径約0.35mm
の螺旋状に巻いた抵抗細線２の両端に経0.2mmの
白金リード線１，１を電気溶接等によつて接続
し、アルミナまたはシリカ或はその混合物よりな
る内径0.5mm、長さ約30mmのセラミツク細管３に
リード線１，１と抵抗細線２との溶着部が納まる
ように該白金抵抗細線２を挿通し、セラミツク細
管３を適宜の保持具６によつて容器７に満たした
シリカの20％水性ゾル中に吊下げ浸漬し、適宜の
直流電源８により白金リード線１に正電圧シリカ
ゾル４中に設けた電極９に負電圧を加えると、負
の電荷を帯びているシリカゾル４中のシリカ微粒
子は白金リード線１および白金抵抗細線２の表面
に析出固定する。10ボルトの電圧を約10分間加え
るとセラミツク細管３内はほぼシリカ粒子４ａで
充填されるので通電を止めセラミツク管３を引上
げ、第２図に示す如くセラミツク管３内に析出し
たシリカ４ａを乾燥し、白金リード線１に析出固
着したシリカ粒子層を除去した後、セラミツクの
泥漿たとえばアルミナ粒末30％と硬質ガラス粉末
70％との混合物を約２倍量の水、メチルアルコー
ル等適宜の揮発性液体に混和して得た泥漿状分散
体を細管両端に４ｂの如く追加充填して80〜100
℃で約１時間乾燥して上記分散体４ｂ内の水分を
蒸発し、６時間で約1200℃に昇温し約1200℃に30
分間維持して細管内のシリカを焼成し、セラミツ
ク管内の空気、吸着ガス、水蒸気等を完全に追出
しかつ細管両端のセラミツク４ｂを燒結する。そ
の後常温まで約10時間かけて徐冷すると、白金抵
抗細線２はセラミツク細管３内に焼成セラミツク
４ａ，４ｂによつて固定される。
第３図乃至第５図は本発明の他の実施例を示す
もので、第３図および第４図に示す如く２本の透
孔を穿つたセラミツク製円柱体３ａを用意し、タ
ングステンリード線１，１を両端に電気溶接した
タングステン抵謙細線２を前記２本の透孔に挿通
し、セラミツク製円柱体３ａを適宜の保持具６に
よつて容器７に満したアルミナの20％水性ゾル４
中に吊下げ浸漬し、適宜の直流電源８によりリー
ド線１に負電圧、アルミナゾル４中に設けた電極
９に正電圧を加えると、正の電荷を帯びているア
ルミナゾル４中のアルミナ微粒子はリード線１お
よび抵抗細線２の表面に析出固定する。10ボルト
の電圧を約10分間加えるセラミツク製円柱体３ａ
の透孔はほぼアルミナ微粒子で充填されるので通
電を止めセラミツク製円柱体３ａを引上げ、第５
図に示す如くセラミツク製円柱体３ａの透孔内に
析出固定したアルミナ粒子４ａを乾燥し、リード
線１に付着したアルミナ粒子析出層を除去した
後、楽焼またはスピネル（MgAl2O4）粉末等の
低融点セラミツクを約２倍量の水、メチルアルコ
ール等適宜の揮発性液体に混和して得た泥漿を細
管両端に４ｂの如く充填して80〜100℃で約１時
間乾燥し、６時間で約700℃に昇温し約700℃に10
分間維持してアルミナ粉末４ａを焼成し、セラミ
ツク管内の空気、吸着ガス、水蒸気等を完全に追
出し、かつ両端の低融点セラミツク４ｂを燒結す
る。その後常温まで約10時間かけて徐冷すると、
抵抗細線２はセラミツク管３ａ内に焼成セラミツ
ク４ａ、焼結セラミツク４ｂによつて固定され
る。
もので、第３図および第４図に示す如く２本の透
孔を穿つたセラミツク製円柱体３ａを用意し、タ
ングステンリード線１，１を両端に電気溶接した
タングステン抵謙細線２を前記２本の透孔に挿通
し、セラミツク製円柱体３ａを適宜の保持具６に
よつて容器７に満したアルミナの20％水性ゾル４
中に吊下げ浸漬し、適宜の直流電源８によりリー
ド線１に負電圧、アルミナゾル４中に設けた電極
９に正電圧を加えると、正の電荷を帯びているア
ルミナゾル４中のアルミナ微粒子はリード線１お
よび抵抗細線２の表面に析出固定する。10ボルト
の電圧を約10分間加えるセラミツク製円柱体３ａ
の透孔はほぼアルミナ微粒子で充填されるので通
電を止めセラミツク製円柱体３ａを引上げ、第５
図に示す如くセラミツク製円柱体３ａの透孔内に
析出固定したアルミナ粒子４ａを乾燥し、リード
線１に付着したアルミナ粒子析出層を除去した
後、楽焼またはスピネル（MgAl2O4）粉末等の
低融点セラミツクを約２倍量の水、メチルアルコ
ール等適宜の揮発性液体に混和して得た泥漿を細
管両端に４ｂの如く充填して80〜100℃で約１時
間乾燥し、６時間で約700℃に昇温し約700℃に10
分間維持してアルミナ粉末４ａを焼成し、セラミ
ツク管内の空気、吸着ガス、水蒸気等を完全に追
出し、かつ両端の低融点セラミツク４ｂを燒結す
る。その後常温まで約10時間かけて徐冷すると、
抵抗細線２はセラミツク管３ａ内に焼成セラミツ
ク４ａ、焼結セラミツク４ｂによつて固定され
る。
以上実施例ではリード線１および抵抗細線２と
して白金およびタングステンを、セラミツク管
３，３ａとしてアルミナ、シリカ等を使用した
が、リード線１、抵抗細線２には外気により表面
酸化を起こさない範囲で適宜導体を使用すること
ができ、またセラミツク細管３，３ａにはアルミ
ナ、ムライト、ジルコニア等を使用し、充填用セ
ラミツク微粒子４ａ，４ｂとしてはアルミナ、シ
リカ、マグネシア、石英ガラス等またはその混合
物を使用し得る。尚セラミツ細管３と充填用セラ
ミツク微粒子４ａおよび抵抗線２とは熱膨脹係数
が可及的等しくなるように夫々の材料を選定し組
合わせる必要があり、温度の変化による電気抵抗
の変化を利用する計測器用センサーとして使用す
る場合には抵抗細線２として抵抗の温度係数の大
きい白金、タングステン、ニツケル、ステンレス
鋼、洋銀、燐青銅等の導線を使用する。勿論抵抗
細線２は螺旋状のものに限られず真直のものを使
用することもある。また上記実施例ではすべての
細管３の端部にセラミツクの泥漿状分散体よりな
る絶縁物４ｂを塗着したが、セラミツク微粒子４
ａが細管３内に確実に固定している場合には絶縁
物４ｂは必ずしも必要ではない。
して白金およびタングステンを、セラミツク管
３，３ａとしてアルミナ、シリカ等を使用した
が、リード線１、抵抗細線２には外気により表面
酸化を起こさない範囲で適宜導体を使用すること
ができ、またセラミツク細管３，３ａにはアルミ
ナ、ムライト、ジルコニア等を使用し、充填用セ
ラミツク微粒子４ａ，４ｂとしてはアルミナ、シ
リカ、マグネシア、石英ガラス等またはその混合
物を使用し得る。尚セラミツ細管３と充填用セラ
ミツク微粒子４ａおよび抵抗線２とは熱膨脹係数
が可及的等しくなるように夫々の材料を選定し組
合わせる必要があり、温度の変化による電気抵抗
の変化を利用する計測器用センサーとして使用す
る場合には抵抗細線２として抵抗の温度係数の大
きい白金、タングステン、ニツケル、ステンレス
鋼、洋銀、燐青銅等の導線を使用する。勿論抵抗
細線２は螺旋状のものに限られず真直のものを使
用することもある。また上記実施例ではすべての
細管３の端部にセラミツクの泥漿状分散体よりな
る絶縁物４ｂを塗着したが、セラミツク微粒子４
ａが細管３内に確実に固定している場合には絶縁
物４ｂは必ずしも必要ではない。
本発明は上記の如く抵抗線２を細管３内に挿通
してセラミツク微粒子の懸濁液４中に保持し、電
気泳動により懸濁液中のセラミツク微粒子を抵抗
線２に析出固定するので、電気泳動によりセラミ
ツク微粒子の移動を促すとともに抵抗線２への通
電による発熱により懸濁液中のセラミツク微粒子
が抵抗線２の外面に緻密に析出固着するため、例
えば外形0.8mm、内径0.5mm、長さ４mmのセラミツ
ク細管３を用い白金抵抗細線２の径を20〜50ミク
ロン、その螺旋状部の長さを３mm（抵抗1.0〜３
オーム）、白金リード線１の径0.2〜0.4mm程度に
構成することにより測温抵抗体としては−200〜
＋200℃の範囲で正確に且つ応答速度0.1〜２秒以
内に迅速に測定することができ、また該センサー
温度変化により周囲の流体の流速を測定する場合
には上記同様−200〜＋200℃の範囲で0.1〜50
ｍ／sec.程度の流速を±２％以内の誤差で正確に
且つ応答時間0.5秒程度で迅速に測定することが
でき、また耐衝撃性、耐熱性にすぐれ流体中の活
性ガス、化学薬品等に対する抵抗も極めて大き
い、抵抗線２あるいはリード線１として白金以外
の導体を使用する場合はその耐熱性、耐酸化性、
耐薬品性によつて測定する流体またはその温度に
制限を受ける。
してセラミツク微粒子の懸濁液４中に保持し、電
気泳動により懸濁液中のセラミツク微粒子を抵抗
線２に析出固定するので、電気泳動によりセラミ
ツク微粒子の移動を促すとともに抵抗線２への通
電による発熱により懸濁液中のセラミツク微粒子
が抵抗線２の外面に緻密に析出固着するため、例
えば外形0.8mm、内径0.5mm、長さ４mmのセラミツ
ク細管３を用い白金抵抗細線２の径を20〜50ミク
ロン、その螺旋状部の長さを３mm（抵抗1.0〜３
オーム）、白金リード線１の径0.2〜0.4mm程度に
構成することにより測温抵抗体としては−200〜
＋200℃の範囲で正確に且つ応答速度0.1〜２秒以
内に迅速に測定することができ、また該センサー
温度変化により周囲の流体の流速を測定する場合
には上記同様−200〜＋200℃の範囲で0.1〜50
ｍ／sec.程度の流速を±２％以内の誤差で正確に
且つ応答時間0.5秒程度で迅速に測定することが
でき、また耐衝撃性、耐熱性にすぐれ流体中の活
性ガス、化学薬品等に対する抵抗も極めて大き
い、抵抗線２あるいはリード線１として白金以外
の導体を使用する場合はその耐熱性、耐酸化性、
耐薬品性によつて測定する流体またはその温度に
制限を受ける。
本発明は上記の如く極めて小さな管内に抵抗線
とともに無機質絶縁物を高密度（95％以上）で充
填することができ、従つてこの方法で製作した計
測器用センサーは従来の計測器用センサーに比し
熱容量が極めて小さく従つて熱応答が極めて速く
且つ正確に測定することができしかも物理的強度
が強く、測温抵抗体、流速測定用センサー、温度
補償用抵抗体等として使用し得るとともに、本発
明の方法により高温用シーズヒーターも同様に管
３として金属、セラミツクまたはその組合せ等を
使用して製造することができ、何れの場合にも何
等特殊な設備、技術を要せず簡易確実に製造し、
廉価に供給し得る効果を有するものである。
とともに無機質絶縁物を高密度（95％以上）で充
填することができ、従つてこの方法で製作した計
測器用センサーは従来の計測器用センサーに比し
熱容量が極めて小さく従つて熱応答が極めて速く
且つ正確に測定することができしかも物理的強度
が強く、測温抵抗体、流速測定用センサー、温度
補償用抵抗体等として使用し得るとともに、本発
明の方法により高温用シーズヒーターも同様に管
３として金属、セラミツクまたはその組合せ等を
使用して製造することができ、何れの場合にも何
等特殊な設備、技術を要せず簡易確実に製造し、
廉価に供給し得る効果を有するものである。
第１図は本発明の一実施例を示す一部断面説明
図、第２図はその製品の中央断面説明図、第３図
は本発明の他の実施例を示す一部断面説明図、第
４図は第３図のＡ−Ａ線断面図、第５図はその製
品の中央断面説明図である。 尚図中６は保持具、９は電極を示す。
図、第２図はその製品の中央断面説明図、第３図
は本発明の他の実施例を示す一部断面説明図、第
４図は第３図のＡ−Ａ線断面図、第５図はその製
品の中央断面説明図である。 尚図中６は保持具、９は電極を示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ リード線１，１を両端に溶接した抵抗線２を
細管３内に挿通してセラミツク微粒子の水性ゾル
４中に保持し、水性ゾル４中に設けた電極９とリ
ード線１との間に電圧を加えて電気泳動により水
性ゾル４中のセラミツク微粒子を抵抗線２の表面
に析出固定し、乾燥してセラミツクを抵抗線２と
一体的に構成することを特徴とする抵抗線を細管
内に固定する方法。 ２ リード線１，１を両端に溶接した抵抗線２を
細管３内に挿通してセラミツク微粒子の水性ゾル
４中に保持し、水性ゾル４中に設けた電極９とリ
ード線１との間に電圧を加えて電気泳動により水
性ゾル４中のセラミツク微粒子を抵抗線２の表面
に析出固定し、細管３の端部にセラミツクの泥漿
状分散体よりなる絶縁物４ｂを塗着した後、焼成
してセラミツクを抵抗線２と一体的に構成すると
ともに絶縁物４ｂをリード線１と一体的に固化す
ることを特徴とする抵抗線を細管内に固定する方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14453681A JPS5846601A (ja) | 1981-09-11 | 1981-09-11 | 抵抗線を細管内に固定する方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14453681A JPS5846601A (ja) | 1981-09-11 | 1981-09-11 | 抵抗線を細管内に固定する方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5846601A JPS5846601A (ja) | 1983-03-18 |
| JPH0145724B2 true JPH0145724B2 (ja) | 1989-10-04 |
Family
ID=15364587
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14453681A Granted JPS5846601A (ja) | 1981-09-11 | 1981-09-11 | 抵抗線を細管内に固定する方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5846601A (ja) |
-
1981
- 1981-09-11 JP JP14453681A patent/JPS5846601A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5846601A (ja) | 1983-03-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4457633A (en) | Temperature probe cover | |
| RU2284595C2 (ru) | СИСТЕМА СТАБИЛЬНОГО ДАТЧИКА ВЫСОКОЙ ТЕМПЕРАТУРЫ/НАГРЕВАТЕЛЯ С ВОЛЬФРАМОМ НА AlN И СПОСОБ | |
| US3893058A (en) | Electronic thermometer probe | |
| JP2620804B2 (ja) | 定温作動式吸着湿度計 | |
| US4396899A (en) | Platinum thin film resistance element and production method therefor | |
| CN106465481A (zh) | 具有ptc电阻结构的平面加热元件 | |
| US4512871A (en) | Oxygen sensor with heater | |
| JPH0215017B2 (ja) | ||
| CN101433125A (zh) | 陶瓷加热器和在陶瓷加热器上固定热电偶的方法 | |
| US4398169A (en) | Resistance thermometer element | |
| CN113455715A (zh) | 气溶胶产生装置及其加热组件 | |
| JP2001510562A (ja) | セラミックサブストレート上に少なくとも二つの接続接触フィールドを有する電気抵抗体およびその製造方法 | |
| US4841273A (en) | High temperature sensing apparatus | |
| JPH0145724B2 (ja) | ||
| JPH0119241B2 (ja) | ||
| GB1562623A (en) | Device for monitoring the composition of the gaseous emission of a combustion process | |
| JP5292201B2 (ja) | 測温抵抗体 | |
| KR20030018345A (ko) | 질량 유체 유량센서 및 질량 유체 흐름 검출장치 | |
| GB1421742A (en) | Apparatus for controlling the flow of gas | |
| RU2105372C1 (ru) | Резисторный элемент | |
| JP3112769B2 (ja) | 抵抗体素子及び熱式流量計 | |
| JPH0211850B2 (ja) | ||
| JP2003121225A (ja) | 質量流体流量センサー及び流体流れ検出装置 | |
| JPS6222821Y2 (ja) | ||
| GB2352816A (en) | A thermistor probe or catheter comprising a temperature dependent material placed between concentric conductors |