JPH0151019B2 - - Google Patents
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- JPH0151019B2 JPH0151019B2 JP16503081A JP16503081A JPH0151019B2 JP H0151019 B2 JPH0151019 B2 JP H0151019B2 JP 16503081 A JP16503081 A JP 16503081A JP 16503081 A JP16503081 A JP 16503081A JP H0151019 B2 JPH0151019 B2 JP H0151019B2
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- JP
- Japan
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- tube
- exhaust
- exhaust pipe
- inert gas
- pipe
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- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 29
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 19
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 19
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 8
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/38—Exhausting, degassing, filling, or cleaning vessels
- H01J9/385—Exhausting vessels
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は管球に設けられた排気管を通して管
球内の排気を行う排気装置に関する。
球内の排気を行う排気装置に関する。
従来、この種の排気装置は、管球の排気管に接
続される排気系路を備えてなり、この装置は上記
排気系路に設けられた真空ポンプによつて真空引
きすることにより、管球内の不純ガスを上記排気
管を通じて排気するようになつている。このた
め、従来の排気装置においては管球の排気速度が
上記排気管のコンダクタンスに制限され、その排
気時間の短縮を図るのが困難であつた。
続される排気系路を備えてなり、この装置は上記
排気系路に設けられた真空ポンプによつて真空引
きすることにより、管球内の不純ガスを上記排気
管を通じて排気するようになつている。このた
め、従来の排気装置においては管球の排気速度が
上記排気管のコンダクタンスに制限され、その排
気時間の短縮を図るのが困難であつた。
この発明はこのような事情にもとづいてなされ
たもので、その目的とするところは、排気時間の
短縮を図ることのできる管球の排気装置を提供す
ることにある。
たもので、その目的とするところは、排気時間の
短縮を図ることのできる管球の排気装置を提供す
ることにある。
すなわち、この発明は排気管に接続されこの排
気管を通じて管球内を排気する排気系路と、上記
排気管内を通して先端部が管球内に挿入される挿
入管と、この挿入管に接続され挿入管の先端部か
ら管球内に不活性ガスを送入する不活性ガス供給
系路とを具備したことを特徴とするものである。
気管を通じて管球内を排気する排気系路と、上記
排気管内を通して先端部が管球内に挿入される挿
入管と、この挿入管に接続され挿入管の先端部か
ら管球内に不活性ガスを送入する不活性ガス供給
系路とを具備したことを特徴とするものである。
以下この発明の一実施例を図面にもとづき説明
する。
する。
図中Ａは管球、たとえば電灯の発光管であり、
この管球Ａには内径３mmの排気管ａが設けられて
いる。この排気管ａは管球Ａのバルブ軸と直交す
る方向に突出され、排気系路１と接続されるよう
になつている。すなわち、２は排気系路１の排気
ヘツドであつて、この排気ヘツド２には連通室３
が形成されている。この連通室３にはその最深端
面に圧力通路４を開口させてあり、この圧力通路
４を介してチヤツク機構５が連通されている。こ
のチヤツク機構５はチヤツク本体６を備えてな
り、このチヤツク本体６には上記圧力通路４に連
通するガイド孔７が形成されている。そして、こ
のガイド孔７の開口側端部には締付ゴム８が設け
られている。この締付ゴム８は中央部に挿通孔９
が形成された環状をなし、また、その上下面には
傾斜面１０，１０が形成されている。そして、チ
ヤツク本体６の外面にはキヤツプ１１が螺装され
ており、このキヤツプ１１には上記締付ゴム８の
下側傾斜面１０に当接される締付リング１２が連
結されている。また、キヤツプ１１の側面には操
作レバー１３が突設されており、この操作レバー
１３を回動させてキヤツプ１１つまり締付リング
１２を上昇させて締付ゴム８を弾性変形させるこ
とにより、この締付ゴム８の挿通孔９を縮径でき
るようになつている。したがつて、上記挿通孔９
に上記排気管ａを挿通してこの挿通孔９を縮径さ
せ、かつ締付ゴム８をチヤツク本体６の内面に圧
接させることにより、上記排気管ａはチヤツク機
構５によつて気密に排気系路１と接続させるよう
になつている。そして、上記排気ヘツド２の連通
室３は真空用電磁弁１４を備えた排気分配管１５
を介して排気マニホールド１６に接続されるとと
もに、この排気マニホールド１６を介して真空ポ
ンプ（図示しない。）と接続されている。なお、
１７は上記チヤツク本体６と排気ヘツド２との間
の気密を保持するＯリングである。
この管球Ａには内径３mmの排気管ａが設けられて
いる。この排気管ａは管球Ａのバルブ軸と直交す
る方向に突出され、排気系路１と接続されるよう
になつている。すなわち、２は排気系路１の排気
ヘツドであつて、この排気ヘツド２には連通室３
が形成されている。この連通室３にはその最深端
面に圧力通路４を開口させてあり、この圧力通路
４を介してチヤツク機構５が連通されている。こ
のチヤツク機構５はチヤツク本体６を備えてな
り、このチヤツク本体６には上記圧力通路４に連
通するガイド孔７が形成されている。そして、こ
のガイド孔７の開口側端部には締付ゴム８が設け
られている。この締付ゴム８は中央部に挿通孔９
が形成された環状をなし、また、その上下面には
傾斜面１０，１０が形成されている。そして、チ
ヤツク本体６の外面にはキヤツプ１１が螺装され
ており、このキヤツプ１１には上記締付ゴム８の
下側傾斜面１０に当接される締付リング１２が連
結されている。また、キヤツプ１１の側面には操
作レバー１３が突設されており、この操作レバー
１３を回動させてキヤツプ１１つまり締付リング
１２を上昇させて締付ゴム８を弾性変形させるこ
とにより、この締付ゴム８の挿通孔９を縮径でき
るようになつている。したがつて、上記挿通孔９
に上記排気管ａを挿通してこの挿通孔９を縮径さ
せ、かつ締付ゴム８をチヤツク本体６の内面に圧
接させることにより、上記排気管ａはチヤツク機
構５によつて気密に排気系路１と接続させるよう
になつている。そして、上記排気ヘツド２の連通
室３は真空用電磁弁１４を備えた排気分配管１５
を介して排気マニホールド１６に接続されるとと
もに、この排気マニホールド１６を介して真空ポ
ンプ（図示しない。）と接続されている。なお、
１７は上記チヤツク本体６と排気ヘツド２との間
の気密を保持するＯリングである。
そして、上記排気管ａ内には外径1.6mmの挿入
管１８が挿通されるようになつている。この挿入
管１８は先端部が管球ａ内に挿入されるものであ
り、その基端側で不活性ガス供給系路１９と接続
されるようになつている。すなわち、この不活性
ガス供給系路１９は挿入管１８の基端と連通され
た導入管２０を備えている。この導入管２０は排
気ヘツド２の連通室３上部に設けられたガイド部
材２１に摺動自在に挿通され、その基端が連結プ
レート２２に連結されている。また、導入管２１
の基端は不活性ガスの供給通路を構成するベロー
継手２３を介して不活性ガスの供給分配管２４に
連通されている。この供給分配管２４には電磁弁
２５が備えられており、供給分配管２４はその上
流側で供給マニホールド２６を介して不活性ガス
たとえばアルゴンの供給ボンベ（図示しない。）
と接続されている。なお、２７…は不活性ガス供
給系路１９の気密を保持するＯリングであり、ま
た２８はガイド部材２１と連結プレート２２との
間の気密を保持するためのベロー継手である。ま
た、上記供給分配管２４は支持ベース２９を介し
て上記ベロー継手２３に連通されており、この支
持ベース２９にはエアシリンダ３０が配置されて
いる。このエアシリンダ３０はそのロツド３１先
端が上記連結プレート２２に連結されており、こ
のロツド３１の伸縮によつて連結プレート２２お
よび導入管２０を介して上記挿入管１８を排気管
ａ内で上下動可能となつている。なお、３２，３
２は排気管ａの封止切バーナである。
管１８が挿通されるようになつている。この挿入
管１８は先端部が管球ａ内に挿入されるものであ
り、その基端側で不活性ガス供給系路１９と接続
されるようになつている。すなわち、この不活性
ガス供給系路１９は挿入管１８の基端と連通され
た導入管２０を備えている。この導入管２０は排
気ヘツド２の連通室３上部に設けられたガイド部
材２１に摺動自在に挿通され、その基端が連結プ
レート２２に連結されている。また、導入管２１
の基端は不活性ガスの供給通路を構成するベロー
継手２３を介して不活性ガスの供給分配管２４に
連通されている。この供給分配管２４には電磁弁
２５が備えられており、供給分配管２４はその上
流側で供給マニホールド２６を介して不活性ガス
たとえばアルゴンの供給ボンベ（図示しない。）
と接続されている。なお、２７…は不活性ガス供
給系路１９の気密を保持するＯリングであり、ま
た２８はガイド部材２１と連結プレート２２との
間の気密を保持するためのベロー継手である。ま
た、上記供給分配管２４は支持ベース２９を介し
て上記ベロー継手２３に連通されており、この支
持ベース２９にはエアシリンダ３０が配置されて
いる。このエアシリンダ３０はそのロツド３１先
端が上記連結プレート２２に連結されており、こ
のロツド３１の伸縮によつて連結プレート２２お
よび導入管２０を介して上記挿入管１８を排気管
ａ内で上下動可能となつている。なお、３２，３
２は排気管ａの封止切バーナである。
このように構成された一実施例の排気装置は、
管球Ａの排気管ａを上記チヤツク機構５で挾持し
てこの排気管ａを排気系路１と接続し、また上記
エアシリンダ３０を作動させることにより、排気
管ａ内を通じて管球Ａ内に挿入管１８の先端部の
挿入する。そして、上記不活性ガス供給系路１９
を介して供給されるアルゴンガスを上記挿入管１
８の先端部から噴出して管球Ａ内に送入するとと
もに排気系路１および排気管ａを通じて管球Ａ内
の排気を行うものである。これによつて、管球Ａ
内の不純ガスが速やかにアルゴンガスと置換さ
れ、この管球Ａ内の排気を短時間で行うことがで
きる。すなわち、この一実施例のものは排気管ａ
内に挿入管１８を挿通することから、排気管ａの
コンダクタンスのみでみればこのコンダクタンス
が従来に比べ減少してその排気速度が遅くなるも
のであるが、しかしこの一実施例では挿入管１８
によつてアルゴンガスを管球Ａ内に送入すること
から、排気管ａを通して排気される管球Ａ内の流
量は従来に比べ飛躍的に増加することになる。よ
つて、管球Ａ内の不純ガスがアルゴンガスによつ
て押出されることから、この不純ガスを速やかに
排気でき、排気に要する時間を従来に比べ大幅に
低減させることができる。
管球Ａの排気管ａを上記チヤツク機構５で挾持し
てこの排気管ａを排気系路１と接続し、また上記
エアシリンダ３０を作動させることにより、排気
管ａ内を通じて管球Ａ内に挿入管１８の先端部の
挿入する。そして、上記不活性ガス供給系路１９
を介して供給されるアルゴンガスを上記挿入管１
８の先端部から噴出して管球Ａ内に送入するとと
もに排気系路１および排気管ａを通じて管球Ａ内
の排気を行うものである。これによつて、管球Ａ
内の不純ガスが速やかにアルゴンガスと置換さ
れ、この管球Ａ内の排気を短時間で行うことがで
きる。すなわち、この一実施例のものは排気管ａ
内に挿入管１８を挿通することから、排気管ａの
コンダクタンスのみでみればこのコンダクタンス
が従来に比べ減少してその排気速度が遅くなるも
のであるが、しかしこの一実施例では挿入管１８
によつてアルゴンガスを管球Ａ内に送入すること
から、排気管ａを通して排気される管球Ａ内の流
量は従来に比べ飛躍的に増加することになる。よ
つて、管球Ａ内の不純ガスがアルゴンガスによつ
て押出されることから、この不純ガスを速やかに
排気でき、排気に要する時間を従来に比べ大幅に
低減させることができる。
また、第２図に示された排気完了後における管
球Ａ内の残留ガス分光分析図から明らかなよう
に、この一実施例においては特にOH-の残留ガ
スを減少させることができるので、管球Ａの寿命
を長くできる等の効果を有する。なお、第２図中
実線で示されるｘは従来の装置によつて排気した
後の分析結果を示し、破線で示されるｙはこの一
実施例の分析結果を示している。また、一点鎖線
で示されるｚは排気前の分析結果を示している。
球Ａ内の残留ガス分光分析図から明らかなよう
に、この一実施例においては特にOH-の残留ガ
スを減少させることができるので、管球Ａの寿命
を長くできる等の効果を有する。なお、第２図中
実線で示されるｘは従来の装置によつて排気した
後の分析結果を示し、破線で示されるｙはこの一
実施例の分析結果を示している。また、一点鎖線
で示されるｚは排気前の分析結果を示している。
そして、上記のようにして排気を行つた後、挿
入管１８を上昇させ、封止切バーナ３２，３２に
よる排気管ａの封止切を行う。これによつて、上
記挿入管１８を封止切ることなく、従来と同様に
して排気管ａの封止切りを行うことができるもの
である。
入管１８を上昇させ、封止切バーナ３２，３２に
よる排気管ａの封止切を行う。これによつて、上
記挿入管１８を封止切ることなく、従来と同様に
して排気管ａの封止切りを行うことができるもの
である。
なお、この発明は上記一実施例に制約されるも
のではない。たとえば、第３図に示されるように
上記挿入管１８の先端を閉塞してその先端部の両
側に２つの小孔４０，４０を形成することによ
り、アルゴンガスの噴出をこれら小孔４０，４０
から行えるようにすれば、アルゴンガスによる不
純ガスの押出し効果を一層高めることができる。
また、第４図および第５図に示される如く管球Ａ
が電球等の形状である場合には挿入管１８の先端
部を彎曲部５０に形成すればよい。
のではない。たとえば、第３図に示されるように
上記挿入管１８の先端を閉塞してその先端部の両
側に２つの小孔４０，４０を形成することによ
り、アルゴンガスの噴出をこれら小孔４０，４０
から行えるようにすれば、アルゴンガスによる不
純ガスの押出し効果を一層高めることができる。
また、第４図および第５図に示される如く管球Ａ
が電球等の形状である場合には挿入管１８の先端
部を彎曲部５０に形成すればよい。
さらに、この一実施例では不活性ガスとしてア
ルゴンガスを用いたが窒素等の不活性ガスであつ
てもよい。
ルゴンガスを用いたが窒素等の不活性ガスであつ
てもよい。
以上説明したようにこの発明は、排気管に接続
されこの排気管を通じて管球内を排気する排気系
路と、上記排気管を通じて先端部が管球内に挿入
される挿入管と、この挿入管に接続され挿入管の
先端部から管球内に不活性ガスを送入する不活性
ガス供給系路とを具備したことを特徴とする。し
たがつて、上記不活性ガスを管球内に送入しなが
ら、この管球内の排気を行うことにより、この管
球内の不純ガスが不活性ガスによつて押出されて
不活性ガスと置換されるので、不純ガスの排気を
短時間で行うことができる等、その効果は大であ
る。
されこの排気管を通じて管球内を排気する排気系
路と、上記排気管を通じて先端部が管球内に挿入
される挿入管と、この挿入管に接続され挿入管の
先端部から管球内に不活性ガスを送入する不活性
ガス供給系路とを具備したことを特徴とする。し
たがつて、上記不活性ガスを管球内に送入しなが
ら、この管球内の排気を行うことにより、この管
球内の不純ガスが不活性ガスによつて押出されて
不活性ガスと置換されるので、不純ガスの排気を
短時間で行うことができる等、その効果は大であ
る。
図面はこの発明の一実施例を示し、第１図は装
置の断面図、第２図は窒素ガス（波長750nｍ）
の出力電圧を比較基準とした残留ガスの分光分析
図である。第３図ないし第５図はこの発明の他の
実施例を示し、第３図は挿入管における先端部の
断面図、第４図は他の管球を用いた場合の挿入管
先端部を示す側面図、第５図は第４図中部にお
ける拡大断面図である。 １……排気系路、１８……挿入管、１９……不
活性ガス供給系路、Ａ……管球、ａ……排気管。
置の断面図、第２図は窒素ガス（波長750nｍ）
の出力電圧を比較基準とした残留ガスの分光分析
図である。第３図ないし第５図はこの発明の他の
実施例を示し、第３図は挿入管における先端部の
断面図、第４図は他の管球を用いた場合の挿入管
先端部を示す側面図、第５図は第４図中部にお
ける拡大断面図である。 １……排気系路、１８……挿入管、１９……不
活性ガス供給系路、Ａ……管球、ａ……排気管。
Claims (1)
- １ 管球に設けられた排気管に接続されこの排気
管を通じて管球内を排気する排気系路と、上記排
気管内を通して先端部が管球内に挿入される挿入
管と、この挿入管に接続され挿入管の先端部から
管球内に不活性ガスを送入する不活性ガス供給系
路とを具備したことを特徴とする管球の排気装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16503081A JPS5866237A (ja) | 1981-10-16 | 1981-10-16 | 管球の排気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16503081A JPS5866237A (ja) | 1981-10-16 | 1981-10-16 | 管球の排気装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5866237A JPS5866237A (ja) | 1983-04-20 |
| JPH0151019B2 true JPH0151019B2 (ja) | 1989-11-01 |
Family
ID=15804504
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16503081A Granted JPS5866237A (ja) | 1981-10-16 | 1981-10-16 | 管球の排気装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5866237A (ja) |
-
1981
- 1981-10-16 JP JP16503081A patent/JPS5866237A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5866237A (ja) | 1983-04-20 |
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