JPS5866237A - 管球の排気装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は管球に設けられた排気管を通して管球内の排
気を行う排気装置に関する。

従来、仁の種の排気装置鉱、管球の排気管に接続される
排気系路を備えてなシ、この装置は上記排気系路に設け
られた真空Ｉングによって真空引きすることによυ、管
球内の不純ガスを上記排気管を通じて排気するようにな
りている。

このため、従来の排気装置においては管球の排気速度が
上記排気管のコンダクタンスに制限され、その排気時間
の短縮を図るのが困難であった・ この発明はこのような事情にもとづいてなされたもので
、その目的とするところは、排気時間の短縮を図るヒと
のできる管球の排気装置を提供するととくある。

すなわち、この発明状排気管に接続されこの排気管を通
じて管球内を排気する排気系路と、上記排気管内を通し
て先端部が管球内に挿入される挿入管と、この挿入管に
接続され挿入管の先端部から管球内に不活性ガスを送入
する不活性ガス供給系路とを具備したことを特徴とする
ものである。

以下この発明の一実施例を図面にもとづき説明する。

図中ムは管球、たとえば放電灯の発光管であ〕、との管
球ムＫａ内径３■の排気管ａが設けられている。との排
気管−は管球ムのパルプ軸と直交する方向に突出され、
排気系路Ｊと接続されるようになっている、すなわち、
１は排気系路１の排気へ、ドであって、こＯ排気へ、ド
２には連通室３が形成されている争この連通室３にはそ
の最深端面に圧力通路４を開口させてあり、この圧力通
路４を介してチャ、り機構５が連通されている。このチ
ャ、り機構５はチャ、り本体６を備えてなり、このチャ
、り本体６には上記圧力通路４に連通するガイド孔１が
形成されている。そして、このガイド孔１の開口側端部
には締付ゴム８が設けられている。この締付ゴム８は中
央部に挿通孔９が形成された環状をなし、また、その上
下面には傾斜面ＪＯ。

１０が形成されている・そして、チャ、り本体６の外面
にはキヤ、グ１１が螺装されて訃り、この中ヤ、グＩＪ
には上記締−プム８の下慟傾斜面ＪＯに当接される締付
りングＪ２が連結されている。ｔた、Φヤ、デ１１の側
面には操作レ−４−ＩＪが突設されておシ、この操作レ
バー１３を回動させてキヤ、ｆｌ　Ｉ−’：）まシ締付
リング１２を上昇させて締付ゴム８を弾性変形させるこ
とによシ、この締付ゴム８の挿通孔９を縮径できるよう
になりでいる。したがうて、上記挿通孔９に上記排気管
１を挿通してこの挿通孔９を縮径させ、かり締付ゴム８
をチャック本体−〇内面に圧接させることによシ、上記
排気管１はチャ、り機構５によって気密に排気系路１と
接続されるようになっている。そして、上記排気へりド
２の連通室Ｓは真空用電磁弁１４を備えた排気分配管１
５を介して排気マニホールド１６に接続されるとともに
、この排気マニホールドＪ６を介して真空ポンプ（図示
しない。）と接続されている。なお、１１は上記チャ、
り本体６と排気へ、ド１との間の気密を保持する０リン
グである・ そして、上記排気管ａ内には外径１．６　ｔｍの挿入管
１８が挿通されるようになっている。この挿入管１８は
先端部が管球１内に挿入されるものであシ、その基端側
で不活性ガス供給系路１＃と接続されるようになりてい
る。すなわちこの不活性ガス供給系路Ｊ＃は挿入管１８
の基端と連通された導入管２０を備えている。この導入
管２０は排気へ、ド２の連通室３上部に設けられたガイ
ド部材２ノに摺動自在に挿通され、その基端が連結グレ
ートｚｘＰｃ連結されている。

また、導入管２ノの基端は不活性ガスの供給通路を構成
するベロー継手２３を介して不活性ガスの供給分配管２
４に連通されている。この供給分配管２４には電磁弁２
５が備えられており、供給分配管２′４はその上流側で
供給マニホールド２６を介して不活性ガスたとえばアル
ジンの供給デンペ（図示しない・）と接続されている。

なお、２１・・・は不活性ガス供給系路１ｇの気密を保
持する０リングであり、ま九１８はガイド部材２ノと連
結プレート２２との間の気密を保持するためのぺａ−継
手である。ｔた、上記供給分配管２４は支持ペース２９
を介して上記ペロー継手２Ｓに連通されており、との支
持ペース２９にはエアクリンダ３０が配置されている。

この二アンリン〆ＳＯはそのａブトＳ１先端が上記連結
グレート２２に連結されておシ、このロダド３１の伸縮
によって連結グレート２２および導入管２０を介して上
記挿入管１８を排気管１内で上下動可能となっている。

なお、３２゜Ｊ２は排気管１の封止切バーナである。

このように構成された一実施例の排気装置は、管球ムの
排気管＄を上記チャ、り機構５で挾持してこの排気管ａ
を排気系路Ｊと接続し、また上記ニアシリン〆３０を作
動させることにより、排気管ａ内を通じて管球入内に挿
入管Ｊ８の先端部を挿入する。そして、上記不活性ガス
供給系路１＃を介して供給されるアルｆ／ガスを上記挿
入管１８の先端部から噴出して管球Ａ内に送−人すると
ともに排気系路１および排気管ａを通じて管球入内の排
気を行うものである。こり、によって、管球Ａ内の不純
ガスが速やかにアルプンガスと置換され、との管球Ａ内
の排気を短時間で行うととができる。すなわち、この一
実施例のものは排気管ａ内に挿入管Ｊ８を挿通すること
から、排気管１の：２７メクタンスのみでみればこのプ
ンＩクタンスが従来に比べ減少してその排気速度が遅く
なるものであるが、しかしこの一実施例では挿入管１８
によってアルゴンガスを管球Ａ内に送入することから、
排気管１を通して排気される管球Ａ内の流量は従来に比
べ飛−的に増加することになる。よって、管球Ａ内の不
純ガスがアルゴンガスによって押出されることから、こ
の不純ガスを速やかに排気でき、排気に要する時間を従
来に比べ大幅に低減させることができる。

また、第２図に示された排気完了後における管球Ａ内の
残留ガス分光分析図から明らかなように、この一実施例
においては特にＯＨ−の残留ガスを減少させることがで
きるので、管理人の寿命を長くできる等の効果を有する
。なお、第２図中実線で示されるＸは従来の装置によっ
て排気し九彼の分析結果を示し、破線で示されるｙはこ
の一実施例の分析結果を示している。また、一点鎖餘で
示される２は排気的の分析結果を示している。

そして、上記のようにして排気を行うた後゛、挿入管Ｊ
８を上昇させ、封止切バーナ３２゜３ｊによる排気管ａ
の封止切を行う、これにょうて、上記挿入管１８を封止
切るととなく、従来と同様にして排気管ａの封止切シを
行うことができる亀のである。

なお、この発明は上記一実施例に制約されるものではな
い、たとえば、第３図に示されるように上記挿入管Ｊ８
の先端を閉塞してその先端部の両１１に２つの小孔４０
ｓ４０を形成することによシ、アルゴンガスの噴出をこ
れら小孔４０＊４０から行えるようにすれば、アルゴン
ガスによる不純ガスの押出し効果を一層高めることがで
きる。また、第４図および第５図に示される如く管球ム
が電球等の形状である場合には挿入管１＃の先端部を彎
曲部５ｏに形成すればよい。

さらに、この一実施例では不活性ガスとしてアルゴンガ
スを用いたがｍ素環の不活性ガスでありてもよい。

以上説明したようにとの発明は、排気管に接続されこの
排気管を通じて管球内を排気する排気系路と、上記排気
管を通じて先端部が管球内に挿入される挿入管と、この
挿入管に接続され挿入管の先端部から管球内に不活性ガ
スを送入する不活性ガス供給系路とを具備したことを特
命とする。したがつて、上記不活性ガスを管球内に送入
しながら、この管球内の排気を行うことによシ、この管
球内の不純ガスが不活性ガスによって押出されて不活性
ガスと置換されるので、不純ガスの排気を短時間で行う
ことができる等、その効果は大である。

【図面の簡単な説明】

図面はこの発明の一実施例を示し、第１図は装置の断面
図、第２図は窒素ガス（波長７５０ｎｍ　）の出力′１
圧を比較基準とした残留ガスの分光分析図である。第３
図ないし第５図はこの発明の他の実施例を示し、第３図
紘挿入管における先端部の断面図、第４図は他の管球を
用いた場合の挿入管先端部を示す側面図、第５図は第４
図中ｖ部における拡大断面図である。 １・・・排気系路、１８・・・挿入管、Ｊ９・・・不活
性ガス供給系路、Ａ・・・管球、１・・・排気管。 出願人代理人　　弁理士　鈴　江＃、彦矛２図 濃　表（ｎｍ） 矛３図 ３′ｒ′４図　　　　矛５図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 管球に設けられた排気管に接続されとの排気管を通じて
   管球内を排気する排気系路と、上記排気管内を通して先
   端部が管球内に挿入される挿入管と、この挿入管に接続
   され挿入管の先端部から管球内に不活性ガスを送入する
   不活性ガス供給系路とを具備したことを特徴とする管球
   の排気装置。