JPH0151771B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0151771B2 JPH0151771B2 JP53147308A JP14730878A JPH0151771B2 JP H0151771 B2 JPH0151771 B2 JP H0151771B2 JP 53147308 A JP53147308 A JP 53147308A JP 14730878 A JP14730878 A JP 14730878A JP H0151771 B2 JPH0151771 B2 JP H0151771B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- humidity
- sensor
- sensitive material
- humidity sensor
- temperature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/22—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance
- G01N27/223—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance for determining moisture content, e.g. humidity
- G01N27/225—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance for determining moisture content, e.g. humidity by using hygroscopic materials
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、インピーダンスの変化に基いて作
動する電気的湿度センサ、特に感湿材料を有機重
合体で形成した容量型湿度センサの望ましくない
特性を最小限にする方法に関する。
動する電気的湿度センサ、特に感湿材料を有機重
合体で形成した容量型湿度センサの望ましくない
特性を最小限にする方法に関する。
インピーダンスの変化が、測定すべき湿度に比
例するようになつている電気検出系を備えた、い
くつかの湿度センサが知られている。この種の湿
度センサは、例えば米国特許第3168829号明細書、
米国特許第3350941号明細書およびフインランド
国特許第48229号明細書にそれぞれ記載されてい
る。
例するようになつている電気検出系を備えた、い
くつかの湿度センサが知られている。この種の湿
度センサは、例えば米国特許第3168829号明細書、
米国特許第3350941号明細書およびフインランド
国特許第48229号明細書にそれぞれ記載されてい
る。
フインランド国特許第48229号明細書に記載さ
れている容量型湿度センサでは、誘電体材料が重
合体膜からなり、その誘電係数が重合体膜に吸収
された水の量の関数である。これら湿度センサお
よびインピーダンスの変化に基く別の湿度センサ
では、特に高い湿度を測定するときには望ましく
ない現象が存在する。この現象は、例えば種々の
要因から生じるセンサの緩いクリープである。こ
の場合に問題となるのは、一般に可逆現象であ
る。
れている容量型湿度センサでは、誘電体材料が重
合体膜からなり、その誘電係数が重合体膜に吸収
された水の量の関数である。これら湿度センサお
よびインピーダンスの変化に基く別の湿度センサ
では、特に高い湿度を測定するときには望ましく
ない現象が存在する。この現象は、例えば種々の
要因から生じるセンサの緩いクリープである。こ
の場合に問題となるのは、一般に可逆現象であ
る。
そこで、本発明の目的は、センサの応答性を増
大させることによつて、前述した現象の抑制を改
善し、かつ特に例えば90％を越えるような高い相
対湿度を測定する際の測定精度を向上させること
にある。
大させることによつて、前述した現象の抑制を改
善し、かつ特に例えば90％を越えるような高い相
対湿度を測定する際の測定精度を向上させること
にある。
前記目的を達成するため、この発明は、湿度セ
ンサの感湿材料を少くとも高い相対湿度のときに
周囲温度をより高い温度に加熱することを主たる
特徴とする。
ンサの感湿材料を少くとも高い相対湿度のときに
周囲温度をより高い温度に加熱することを主たる
特徴とする。
以下、本発明の実施例として、有機重合体と感
湿材料とする容量型湿度センサを図示した添付図
面を参照しながら詳述する。
湿材料とする容量型湿度センサを図示した添付図
面を参照しながら詳述する。
第１図および第２図に示す湿度センサそれ自体
は、フインランド国特許出願第48229号明細書に
記載されたものである。湿度センサ１０はガラス
のような不活性材料で製作された基板１１上に支
持される。基板１１上には、薄膜技術で知られて
いる方法により作成された金属メツキ底部接触体
１２が存在し、この底部接触体１２上には接続導
線２１が参照符号１６で示す端子部においてろう
付けされる。そして、容量は、第１図にブロツク
２０，２２で示された装置によつて検出され、測
定されかつ表示される。
は、フインランド国特許出願第48229号明細書に
記載されたものである。湿度センサ１０はガラス
のような不活性材料で製作された基板１１上に支
持される。基板１１上には、薄膜技術で知られて
いる方法により作成された金属メツキ底部接触体
１２が存在し、この底部接触体１２上には接続導
線２１が参照符号１６で示す端子部においてろう
付けされる。そして、容量は、第１図にブロツク
２０，２２で示された装置によつて検出され、測
定されかつ表示される。
湿度センサ１０の活性材料すなわち感湿材料
は、10μｍ程度の厚さの重合体薄膜１３である。
この重合体薄膜１３上には、底部接触体１２にい
ずれにも電気的に接触しない水蒸気を透過する薄
い表面接触体１４が真空蒸着またはスパツタリン
グにより被着され、あるいは化学的に作成され
る。測定される容量CMは、ｄおよびｅ（第２図）
の区域における底部接触体１２と表面接触体１４
との間に形成される２つの容量を直列接続したも
のから形成される。
は、10μｍ程度の厚さの重合体薄膜１３である。
この重合体薄膜１３上には、底部接触体１２にい
ずれにも電気的に接触しない水蒸気を透過する薄
い表面接触体１４が真空蒸着またはスパツタリン
グにより被着され、あるいは化学的に作成され
る。測定される容量CMは、ｄおよびｅ（第２図）
の区域における底部接触体１２と表面接触体１４
との間に形成される２つの容量を直列接続したも
のから形成される。
水分子が重合体薄膜１３からなる感湿材料に吸
収されると、水の定着が２つの相異なる現象によ
つて起る。１つの定着は、分子レベルで起り、容
量CMの変化として迅速かつほぼ直線的な感応を
生じる。別の現象は、極めて湿度の高い状態（一
般に90％を越える相対湿度）で起るいわゆる膨潤
効果であつて、これにより水は重合体薄膜１３か
らなる感湿材料のポケツト状空洞の中に閉じ込め
られる。この現象は、前述の現象よりかなり遅
く、かつ高湿度測定時にセンサのクリープを生じ
させる。別の結果は、センサ容量のＱ値（力率）
の悪化であり、これは後述するように、前述の望
ましくない現象の影境を削減するために、この発
明の実施例において積極的に利用される。
収されると、水の定着が２つの相異なる現象によ
つて起る。１つの定着は、分子レベルで起り、容
量CMの変化として迅速かつほぼ直線的な感応を
生じる。別の現象は、極めて湿度の高い状態（一
般に90％を越える相対湿度）で起るいわゆる膨潤
効果であつて、これにより水は重合体薄膜１３か
らなる感湿材料のポケツト状空洞の中に閉じ込め
られる。この現象は、前述の現象よりかなり遅
く、かつ高湿度測定時にセンサのクリープを生じ
させる。別の結果は、センサ容量のＱ値（力率）
の悪化であり、これは後述するように、前述の望
ましくない現象の影境を削減するために、この発
明の実施例において積極的に利用される。
第１図に示すように、湿度センサ１０には適当
な周波数の測定電流ｅが供給され、この電流は湿
度センサ１０で測定される湿度の基礎をなす。前
述した理由により、特に高い湿度レベルにおい
て、端子部１６で測定されるインピーダンスZM
は純粋な容量ではなく、ある抵抗成分を有するの
で、測定すべき容量は M＝R0＋１／jωC （すなわち、直列に接続された抵抗と容量）で表
示される。ここで、R0は誘電体としての重合体
薄膜１３の損失抵抗成分であり、CMは測定され
たインピーダンスの容量成分である。高い湿度レ
ベルにおいて、前述した膨潤効果は損失抵抗成分
ROを増大させる。従つて、損失抵抗成分ROの中
に生じかつ湿度センサ１０を加熱する損失効果Ｗ
は、I2ROに等しい（Ｗ＝I2RO）。ここで、Ｉは定
格測定電流（自乗平均電流）である。
な周波数の測定電流ｅが供給され、この電流は湿
度センサ１０で測定される湿度の基礎をなす。前
述した理由により、特に高い湿度レベルにおい
て、端子部１６で測定されるインピーダンスZM
は純粋な容量ではなく、ある抵抗成分を有するの
で、測定すべき容量は M＝R0＋１／jωC （すなわち、直列に接続された抵抗と容量）で表
示される。ここで、R0は誘電体としての重合体
薄膜１３の損失抵抗成分であり、CMは測定され
たインピーダンスの容量成分である。高い湿度レ
ベルにおいて、前述した膨潤効果は損失抵抗成分
ROを増大させる。従つて、損失抵抗成分ROの中
に生じかつ湿度センサ１０を加熱する損失効果Ｗ
は、I2ROに等しい（Ｗ＝I2RO）。ここで、Ｉは定
格測定電流（自乗平均電流）である。
この発明によれば、湿度センサ１０の加熱は、
湿度センサ１０によつて吸収された有害な湿分を
温度上昇と共に感湿材料から迅速に離脱させる作
用と、周囲空気より若干温かい湿度センサ１０が
周囲空気を加温して境界表面の空気の相対湿度を
湿度センサ１０の動作点からみて有害な高さまで
上昇させないようにする作用とを有し、あるいは
これら両作用のいずれかを有すると考えられる。
湿度センサ１０によつて吸収された有害な湿分を
温度上昇と共に感湿材料から迅速に離脱させる作
用と、周囲空気より若干温かい湿度センサ１０が
周囲空気を加温して境界表面の空気の相対湿度を
湿度センサ１０の動作点からみて有害な高さまで
上昇させないようにする作用とを有し、あるいは
これら両作用のいずれかを有すると考えられる。
第１図に示されるように、湿度センサ１０の重
合体薄膜１３で形成された絶縁層（感湿材料）
は、湿度センサ１０自体に直接加えられる電流Ｉ
によつて加温される。この電流Ｉは、センサ自体
の測定電流と同じであり、測定される容量の誘電
体（感湿材料）に損失を生じさせる。第１図に示
すように、前述の感湿材料に対する加温は、実際
上湿度センサ１０の入力電圧Ｕを、適当なレベル
まで上昇させることによつて遂行される。本発明
のこの実施例の利点は、湿度センサ１０が自己制
御式であることである。すなわち、この自己制御
式とは、高湿度のときに大きく加温され（比較的
高い損失抵抗ROとなる）、加熱を要しない低い湿
度レベルのときに加温が低くなる（損失抵抗RO
も低くなる）ことである。従つて、この発明によ
る加温は、著しい誤差すなわち湿度測定における
補正の必要を生じない。
合体薄膜１３で形成された絶縁層（感湿材料）
は、湿度センサ１０自体に直接加えられる電流Ｉ
によつて加温される。この電流Ｉは、センサ自体
の測定電流と同じであり、測定される容量の誘電
体（感湿材料）に損失を生じさせる。第１図に示
すように、前述の感湿材料に対する加温は、実際
上湿度センサ１０の入力電圧Ｕを、適当なレベル
まで上昇させることによつて遂行される。本発明
のこの実施例の利点は、湿度センサ１０が自己制
御式であることである。すなわち、この自己制御
式とは、高湿度のときに大きく加温され（比較的
高い損失抵抗ROとなる）、加熱を要しない低い湿
度レベルのときに加温が低くなる（損失抵抗RO
も低くなる）ことである。従つて、この発明によ
る加温は、著しい誤差すなわち湿度測定における
補正の必要を生じない。
第１図に示した実施例において、誘電体（感湿
材料）の温度TSは、絶縁層（感湿材料）に連結
配置された温度センサ１５によつて測定され、こ
の測定結果は導線１８を介して取り出し、絶縁層
（感湿材料）の加温に対して適宜使用される。実
際上、前記温度センサ１５による測定結果は、温
度TSの関数（これは経験に従つて選択される）
として、入力電圧Ｕを調節することによつて温度
制御を行う。
材料）の温度TSは、絶縁層（感湿材料）に連結
配置された温度センサ１５によつて測定され、こ
の測定結果は導線１８を介して取り出し、絶縁層
（感湿材料）の加温に対して適宜使用される。実
際上、前記温度センサ１５による測定結果は、温
度TSの関数（これは経験に従つて選択される）
として、入力電圧Ｕを調節することによつて温度
制御を行う。
第１図に示したように、周囲温度TOも温度セ
ンサ１７で測定され、この測定結果は導線１９を
介して測定装置２０へ送られて湿度センサ１０の
加温の調節に対し、適当な方法で使用される。な
お、第１図において、ブロツク２２は相対湿度
（RH）指示器を示す。
ンサ１７で測定され、この測定結果は導線１９を
介して測定装置２０へ送られて湿度センサ１０の
加温の調節に対し、適当な方法で使用される。な
お、第１図において、ブロツク２２は相対湿度
（RH）指示器を示す。
前述したように、本発明方法によれば、湿度セ
ンサ１０自体によつて与えられる湿度情報を、加
熱エネルギの調節に使用できる。また、誘電体
（感湿材料）の温度TSおよび周囲温度TOとして得
られる情報も、例えば90％を越えるような高い相
対湿度のときに、測定結果を温度差△Ｔ＝TS−
TOに比例する信号で補正するよう温度を調節す
るために使用できる。
ンサ１０自体によつて与えられる湿度情報を、加
熱エネルギの調節に使用できる。また、誘電体
（感湿材料）の温度TSおよび周囲温度TOとして得
られる情報も、例えば90％を越えるような高い相
対湿度のときに、測定結果を温度差△Ｔ＝TS−
TOに比例する信号で補正するよう温度を調節す
るために使用できる。
第１図は本発明方法を実施する装置の一部をブ
ロツク線図で示した線図、第２図は第１図に示し
た実際の温度センサの−線断面図である。 １０……湿度センサ、１１……基板、１２……
底部接触体、１３……重合体薄膜、１４……表面
接触体、１５……温度センサ、１６……端子部、
１７……温度センサ、１８……導線、１９……導
線、２０……測定装置、２１……接続導線、２２
……相対湿度表示器。
ロツク線図で示した線図、第２図は第１図に示し
た実際の温度センサの−線断面図である。 １０……湿度センサ、１１……基板、１２……
底部接触体、１３……重合体薄膜、１４……表面
接触体、１５……温度センサ、１６……端子部、
１７……温度センサ、１８……導線、１９……導
線、２０……測定装置、２１……接続導線、２２
……相対湿度表示器。
１ 空燃比によつて抵抗変化を生ずる酸化物半導
体センサと、酸素イオン伝導体から成る板あるい
は円筒の一面に陰極層を、これと対向する他の面
に陽極層を設け、陰極層を多孔質層で又は有孔函
体で被覆し、陽極層に正、陰極層に負の電圧を印
加して流れる電流の大きさが酸素濃度によつて変
化することから空燃比を検出するセンサ（以下、
限界電流式酸素センサという）とから成るセンサ
部と、 前記酸化物半導体の広範囲の抵抗を測定する抵
抗測定部と、 前記酸化物半導体の抵抗から理論空燃比よりも
燃料過剰か又は燃料不足かを判定する部分と、 燃料不足の場合のみ前記限界電流式酸素センサ
に電圧を印加し、限界電流を検出する限界電流検
出部と、 燃料過剰であれば前記酸化物半導体センサから
求めた空燃比を選択し、燃料不足であれば限界電
流式酸素センサから求めた空燃比を選択する選択
部と、 を備えたことを特徴とする空燃比検出装置。 ２ 前記酸化物半導体センサに基いて求める空燃
比出力が、燃料過剰領域においては正規の値とな
体センサと、酸素イオン伝導体から成る板あるい
は円筒の一面に陰極層を、これと対向する他の面
に陽極層を設け、陰極層を多孔質層で又は有孔函
体で被覆し、陽極層に正、陰極層に負の電圧を印
加して流れる電流の大きさが酸素濃度によつて変
化することから空燃比を検出するセンサ（以下、
限界電流式酸素センサという）とから成るセンサ
部と、 前記酸化物半導体の広範囲の抵抗を測定する抵
抗測定部と、 前記酸化物半導体の抵抗から理論空燃比よりも
燃料過剰か又は燃料不足かを判定する部分と、 燃料不足の場合のみ前記限界電流式酸素センサ
に電圧を印加し、限界電流を検出する限界電流検
出部と、 燃料過剰であれば前記酸化物半導体センサから
求めた空燃比を選択し、燃料不足であれば限界電
流式酸素センサから求めた空燃比を選択する選択
部と、 を備えたことを特徴とする空燃比検出装置。 ２ 前記酸化物半導体センサに基いて求める空燃
比出力が、燃料過剰領域においては正規の値とな
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FI773680A FI58402C (fi) | 1977-12-02 | 1977-12-02 | Foerfarande foer nedsaettning av icke oenskvaerda egenskaper hos en elektrisk fuktighetsgivare |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5494090A JPS5494090A (en) | 1979-07-25 |
| JPH0151771B2 true JPH0151771B2 (ja) | 1989-11-06 |
Family
ID=8511289
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14730878A Granted JPS5494090A (en) | 1977-12-02 | 1978-11-30 | Method of minimizing undesirable characteristics of humidity sensor |
| JP61165684A Granted JPS6263852A (ja) | 1977-12-02 | 1986-07-16 | 温度補償の容量型湿度センサ |
Family Applications After (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61165684A Granted JPS6263852A (ja) | 1977-12-02 | 1986-07-16 | 温度補償の容量型湿度センサ |
Country Status (9)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (2) | JPS5494090A (ja) |
| AU (1) | AU4203378A (ja) |
| BR (1) | BR7807935A (ja) |
| DE (1) | DE2851686C2 (ja) |
| FI (1) | FI58402C (ja) |
| FR (1) | FR2410821A1 (ja) |
| GB (1) | GB2011093A (ja) |
| IT (1) | IT1100442B (ja) |
| ZA (1) | ZA786573B (ja) |
Families Citing this family (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FI58403C (fi) * | 1979-03-29 | 1981-01-12 | Vaisala Oy | Regleranordning i fuktighetsgivare |
| JPS5667742A (en) * | 1979-10-26 | 1981-06-08 | Kaelle Eur Control | Apparatus for and method of separately providing conductivity* dielectric coefficient and measured value of water content of granular material |
| US4352059A (en) * | 1980-06-13 | 1982-09-28 | Massachusetts Institute Of Technology | Determination of moisture level in materials |
| DE3513065C1 (de) * | 1985-04-12 | 1986-01-02 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 8000 München | Sonde zur hystereselosen Messung der relativen Feuchte der Luft |
| EP0317871A3 (de) * | 1987-11-24 | 1991-03-06 | Siemens Aktiengesellschaft | Sensor zum Nachweis gasförmiger Stoffe |
| FI82554C (fi) * | 1988-11-02 | 1991-03-11 | Vaisala Oy | Kalibreringsfoerfarande foer maetning av den relativa halten av gas eller aonga. |
| FI95626C (fi) * | 1993-09-29 | 1996-02-26 | Vaisala Oy | Menetelmä ja järjestely kosteuden mittauksessa, etenkin radiosondeissa |
| FI99164C (fi) * | 1994-04-15 | 1997-10-10 | Vaisala Oy | Menetelmä kastepisteen tai kaasupitoisuuden mittaamiseksi sekä laitteisto jäätymisen ennakoimista varten |
| DE4426736C2 (de) * | 1994-07-28 | 1999-12-23 | Mannesmann Vdo Ag | Feuchtesensor für eine Fensterscheibe eines Kraftfahrzeugs |
| AT1469U1 (de) * | 1996-04-10 | 1997-05-26 | E & E Elektronik Gmbh | Verfahren zum ermitteln der absoluten luftfeuchtigkeit |
| DE19729697C1 (de) | 1997-07-11 | 1999-02-11 | Mannesmann Vdo Ag | Anordnung zum Bestimmen der relativen Luftfeuchte |
| DE19953195A1 (de) * | 1999-11-05 | 2001-05-23 | Preh Elektro Feinmechanik | Sensor zur Ermittlung von Feuchtigkeit und/oder Nässe, insbesondere in Bremssystemen von Nutzfahrzeugen |
| DE10019551A1 (de) * | 2000-04-20 | 2001-10-25 | Elk Ges Fuer Erstellung Layout | Verfahren und Vorrichtung zur Ermittlung der relativen Feuchte in Luft-/Gasgemischen |
| DE10051558C2 (de) * | 2000-10-18 | 2003-04-17 | Sitronic Elektrotech Ausruest | Sensoreinheit mit einem Luftfeuchte-Sensor und mit einem Lufttemperatur-Sensor |
| DE10141408B4 (de) * | 2001-08-23 | 2005-03-24 | Knick Elektronische Meßgeräte GmbH & Co. | Verfahren zur Bestimmung der Kalibrier-Intervallzeit von elektrochemischen Messsensoren |
| DE10335553A1 (de) | 2003-08-02 | 2005-02-17 | E + E Elektronik Ges.M.B.H. | Verfahren und Anordnung zur Feuchtemessung |
| US20160003975A1 (en) * | 2013-02-22 | 2016-01-07 | Vaisala Oyj | A radiosonde and a method for atmospheric measurements performed at an elevated temperature |
| WO2014191619A1 (en) | 2013-05-30 | 2014-12-04 | Vaisala Oyj | A dual gas sensor structure and measurement method |
| DE102017210064A1 (de) | 2017-06-14 | 2018-12-20 | E + E Elektronik Ges.M.B.H. | Verfahren zum Betrieb einer Sensoranordnung und hierzu geeignete Sensoranordnung |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB557613A (en) * | 1940-05-03 | 1943-11-29 | British Thomson Houston Co Ltd | Improved arrangement for the indication of atmospheric moisture |
| US3350941A (en) * | 1965-05-20 | 1967-11-07 | Johnson Service Co | Humidity sensing element |
| FI48229C (fi) * | 1972-10-12 | 1974-07-10 | Vaisala Oy | Kapasitiivinen kosteusanturi ja sen valmistumenetelmä. |
| JPS5434628Y2 (ja) * | 1973-06-06 | 1979-10-23 | ||
| GB1464605A (en) * | 1973-08-14 | 1977-02-16 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | Humidity-sensitive sensor |
| US3859502A (en) * | 1974-02-11 | 1975-01-07 | Anthony S Mfg Co | Defrosting system for refrigerator doors |
-
1977
- 1977-12-02 FI FI773680A patent/FI58402C/fi not_active IP Right Cessation
-
1978
- 1978-11-22 ZA ZA786573A patent/ZA786573B/xx unknown
- 1978-11-29 DE DE2851686A patent/DE2851686C2/de not_active Expired
- 1978-11-29 GB GB7846486A patent/GB2011093A/en not_active Withdrawn
- 1978-11-29 AU AU42033/78A patent/AU4203378A/en active Pending
- 1978-11-29 FR FR7833753A patent/FR2410821A1/fr active Granted
- 1978-11-30 JP JP14730878A patent/JPS5494090A/ja active Granted
- 1978-12-01 BR BR7807935A patent/BR7807935A/pt unknown
- 1978-12-01 IT IT30461/78A patent/IT1100442B/it active
-
1986
- 1986-07-16 JP JP61165684A patent/JPS6263852A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| FI58402C (fi) | 1981-01-12 |
| FI58402B (fi) | 1980-09-30 |
| FR2410821B1 (ja) | 1984-04-20 |
| JPS5494090A (en) | 1979-07-25 |
| JPS6263852A (ja) | 1987-03-20 |
| FI773680A7 (fi) | 1979-06-03 |
| JPH0340334B2 (ja) | 1991-06-18 |
| IT7830461A0 (it) | 1978-12-01 |
| DE2851686C2 (de) | 1981-10-01 |
| IT1100442B (it) | 1985-09-28 |
| AU4203378A (en) | 1979-06-07 |
| GB2011093A (en) | 1979-07-04 |
| BR7807935A (pt) | 1979-07-31 |
| ZA786573B (en) | 1980-03-26 |
| FR2410821A1 (fr) | 1979-06-29 |
| DE2851686A1 (de) | 1979-06-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0151771B2 (ja) | ||
| US5050434A (en) | Capacitive humidity sensor | |
| JP3704685B2 (ja) | 静電容量センサ | |
| US5533393A (en) | Determination of dew point or absolute humidity | |
| JP3783114B2 (ja) | 特にラジオゾンデ中の相対湿度の測定方法およびその方法を利用する湿度検出器 | |
| US4603372A (en) | Method of fabricating a temperature or humidity sensor of the thin film type, and sensors obtained thereby | |
| US5814726A (en) | Method for determining the absolute humidity of air | |
| GB2288465A (en) | Method of measuring dewpoint or gas concentration and apparatus for prediction of icing | |
| AU2007292328A1 (en) | Method and apparatus for controlling the sensitivity and value of a capacitive humidity sensor | |
| US5069069A (en) | Moisture-sensitive element for moisture sensors | |
| US6806722B2 (en) | Polymer-type humidity sensor | |
| US4635027A (en) | Resistance-variation type moisture sensor | |
| CN114858874A (zh) | 湿度感测结构、湿度传感器及湿度感测结构的制作方法 | |
| US20060237551A1 (en) | Humidity sensor formed on a ceramic substrate in association with heating components | |
| Lee et al. | Resistive humidity sensor using phosphonium salt-containing polyelectrolytes based on the mutually cross-linkable copolymers | |
| JPH0781974B2 (ja) | セラミックス湿度センサ | |
| CN218212746U (zh) | 双向立体加热型湿度传感器和具有湿度采集功能的设备 | |
| Enfield et al. | Conductivity instrumentation for in situ measurement of soil salinity | |
| KR102499009B1 (ko) | 센서 어셈블리 작동 방법 및 이에 적합한 센서 어셈블리 | |
| JPH02179459A (ja) | 湿度センサ | |
| JP2002328110A (ja) | 静電容量センサ | |
| JP2813423B2 (ja) | 電気化学式ガスセンサ | |
| SU1651180A1 (ru) | Способ изготовлени подогревного электролитического датчика влажности | |
| JP2813424B2 (ja) | 電気化学式ガスセンサ装置 | |
| JP3047138B2 (ja) | 湿度センサの製造方法 |