JPH0158657B2 - - Google Patents
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- JPH0158657B2 JPH0158657B2 JP56121982A JP12198281A JPH0158657B2 JP H0158657 B2 JPH0158657 B2 JP H0158657B2 JP 56121982 A JP56121982 A JP 56121982A JP 12198281 A JP12198281 A JP 12198281A JP H0158657 B2 JPH0158657 B2 JP H0158657B2
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- G06K19/06—Record carriers for use with machines and with at least a part designed to carry digital markings characterised by the kind of the digital marking, e.g. shape, nature, code
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- G06K19/07—Record carriers with conductive marks, printed circuits or semiconductor circuit elements, e.g. credit or identity cards also with resonating or responding marks without active components with integrated circuit chips
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- H10W70/60—Insulating or insulated package substrates; Interposers; Redistribution layers
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- H10W74/111—Encapsulations, e.g. protective coatings characterised by their shape or disposition the semiconductor body being completely enclosed
- H10W74/114—Encapsulations, e.g. protective coatings characterised by their shape or disposition the semiconductor body being completely enclosed by a substrate and the encapsulations
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- H10W72/552—Materials of bond wires comprising metals or metalloids, e.g. silver
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- H10W90/701—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
- H10W90/751—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires
- H10W90/754—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires between a chip and a stacked insulating package substrate, interposer or RDL
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- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は識別カードまたは他のデータ搬送媒
体に組込まれるICモジユール用の支持体に関す
る。
体に組込まれるICモジユール用の支持体に関す
る。
一般に、ICモジユールが組込まれた識別カー
ドを形成する場合、ICモジユールおよびその配
線用コンタクトを塔載した支持体がカード本体と
は別個に形成される。この支持体は、低温積層工
程において、複数の層により、例えば円形の箱状
に形成される。
ドを形成する場合、ICモジユールおよびその配
線用コンタクトを塔載した支持体がカード本体と
は別個に形成される。この支持体は、低温積層工
程において、複数の層により、例えば円形の箱状
に形成される。
ICモジユール等の電子回路が組込まれた識別
カードまたは他のデータ搬送媒体は、通常の識別
カードと比較して、より大きな記憶容量をもち、
かつ種々の情報伝達にも使用できるという点で有
利である。広範囲の用途のために、多数のIC識
別カードを製造することが要求される。従つて、
このような多数のIC識別カードを製造する方法
に使用可能なICモジユール用支持体を製造する
ことも非常に重要なことである。ここで注意すべ
きことは、この支持体の半導体ウエーフアおよび
配線用リードが識別カードの製造中および使用時
に非常に大きなストレスを受けるということであ
る。更に、種々の用途に使用されるために、機械
的強度、耐久性、外部変化に対する適応性等の
種々の要求がこの種識別カードに対して課せられ
ることになる。またこれらの要求はカードの構造
自体のみでなく、ICのコンタクト領域に対して
もあてはまることである。
カードまたは他のデータ搬送媒体は、通常の識別
カードと比較して、より大きな記憶容量をもち、
かつ種々の情報伝達にも使用できるという点で有
利である。広範囲の用途のために、多数のIC識
別カードを製造することが要求される。従つて、
このような多数のIC識別カードを製造する方法
に使用可能なICモジユール用支持体を製造する
ことも非常に重要なことである。ここで注意すべ
きことは、この支持体の半導体ウエーフアおよび
配線用リードが識別カードの製造中および使用時
に非常に大きなストレスを受けるということであ
る。更に、種々の用途に使用されるために、機械
的強度、耐久性、外部変化に対する適応性等の
種々の要求がこの種識別カードに対して課せられ
ることになる。またこれらの要求はカードの構造
自体のみでなく、ICのコンタクト領域に対して
もあてはまることである。
この種IC識別カードの発展に伴ない、種々の
コンタクト方法、例えば電流的、容量的、光学的
コンタクト方法が知られるようになつた。このコ
ンタクト方法の選択は用途やカードの製造技術等
により決定される。従つて、ここで問題となるの
は、いかにして、多数のカードを経済的に製造
し、組込まれた半導体ウエーフアを良好に保護
し、かつ高度な技術を要することなく種々の要求
を満足するような調整を可能にするかということ
である。
コンタクト方法、例えば電流的、容量的、光学的
コンタクト方法が知られるようになつた。このコ
ンタクト方法の選択は用途やカードの製造技術等
により決定される。従つて、ここで問題となるの
は、いかにして、多数のカードを経済的に製造
し、組込まれた半導体ウエーフアを良好に保護
し、かつ高度な技術を要することなく種々の要求
を満足するような調整を可能にするかということ
である。
この発明において、この問題は半導体ウエーフ
アを箔に結合した状態で、所定の厚さに鋳型する
ことにより解決される。従来においては、例えば
シリコン結晶層上に小さなコンタクト領域を形成
することにより、半導体ウエーフアに対するコン
タクトを形成する方法が知られている。この場
合、シリコン結晶層のコンタクト領域は細い金線
によりコンタクト金属領域の結線用リードに結合
される。このコンタクト金属領域は半導体ウエー
フアの支持体としても使用されている。一列の方
法において、この半導体ウエーフアは可撓性材料
により支持される(例えば西独公告公報第
2414297号明細書に記載されている)。例えば8ミ
リフイルムのように、等間隔で窓をもつ非導電性
の材料を使用し、この窓を通してコンタクト金属
領域からの導電性端部を延出させる。ウエーフア
上のすべてのコンタクト領域はコンタクト金属領
域に同時に結合されるので、従来の方法と比較し
てこの方法は非常に効果的である。同様の方法
で、窓のないフイルム上に半導体ウエーフアを配
置することも可能である。
アを箔に結合した状態で、所定の厚さに鋳型する
ことにより解決される。従来においては、例えば
シリコン結晶層上に小さなコンタクト領域を形成
することにより、半導体ウエーフアに対するコン
タクトを形成する方法が知られている。この場
合、シリコン結晶層のコンタクト領域は細い金線
によりコンタクト金属領域の結線用リードに結合
される。このコンタクト金属領域は半導体ウエー
フアの支持体としても使用されている。一列の方
法において、この半導体ウエーフアは可撓性材料
により支持される(例えば西独公告公報第
2414297号明細書に記載されている)。例えば8ミ
リフイルムのように、等間隔で窓をもつ非導電性
の材料を使用し、この窓を通してコンタクト金属
領域からの導電性端部を延出させる。ウエーフア
上のすべてのコンタクト領域はコンタクト金属領
域に同時に結合されるので、従来の方法と比較し
てこの方法は非常に効果的である。同様の方法
で、窓のないフイルム上に半導体ウエーフアを配
置することも可能である。
この発明においては、このような従来の技術を
効果的に利用することにより良好なICモジユー
ル用支持体を得ている。また本発明においては鋳
込技術を利用しているので、用途に応じて支持体
の特性を容易に変更し得る。
効果的に利用することにより良好なICモジユー
ル用支持体を得ている。また本発明においては鋳
込技術を利用しているので、用途に応じて支持体
の特性を容易に変更し得る。
以下、図面を参照してこの発明の実施例を説明
する。
する。
第1a図および1b図はそれぞれフイルムの窓
内に形成された半導体ウエーフアの上面図および
断面図を示す。図から明らかなように、フイルム
3の窓2内に配置された半導体ウエーフア1は、
前工程において形成されたコンタクトリード4の
端部に、適当なオートメーシヨン装置により結合
される。フイルム3の搬送はこのフイルム3に形
成された透孔により精度良く制御される。こうし
て得られた支持体を第2図に示す。半導体ウエー
フアが配置されたフイルム3が鋳込器6に向けて
搬送される。2つのモールド部6aおよび6bが
フイルム面に対して垂直方向に可動的に設けられ
ている。この鋳込器6内にはモールド材料が注入
路を介して注入される。通路8は鋳造工程におい
て空気がこの鋳込ユニツト内にはいりこむのを阻
止するために形成されている。この種、鋳込器は
通常良く知られているものである。このモールド
材料を適当に選択することにより、完成した支持
体の硬度を広範囲に変更することが可能である。
内に形成された半導体ウエーフアの上面図および
断面図を示す。図から明らかなように、フイルム
3の窓2内に配置された半導体ウエーフア1は、
前工程において形成されたコンタクトリード4の
端部に、適当なオートメーシヨン装置により結合
される。フイルム3の搬送はこのフイルム3に形
成された透孔により精度良く制御される。こうし
て得られた支持体を第2図に示す。半導体ウエー
フアが配置されたフイルム3が鋳込器6に向けて
搬送される。2つのモールド部6aおよび6bが
フイルム面に対して垂直方向に可動的に設けられ
ている。この鋳込器6内にはモールド材料が注入
路を介して注入される。通路8は鋳造工程におい
て空気がこの鋳込ユニツト内にはいりこむのを阻
止するために形成されている。この種、鋳込器は
通常良く知られているものである。このモールド
材料を適当に選択することにより、完成した支持
体の硬度を広範囲に変更することが可能である。
第2図に示すようにして得られた支持体は、こ
の鋳込工程後において、単体ユニツト10として
切出される。この支持体は間接的コンタクト方
法、例えば容量的および光学的コンタクト方式に
適している。
の鋳込工程後において、単体ユニツト10として
切出される。この支持体は間接的コンタクト方
法、例えば容量的および光学的コンタクト方式に
適している。
第3図は電流的コンタクト方式に適した支持体
を示す。この支持体を形成するために、コンタク
ト領域4a上には鋳込工程の前に例えば導電性の
層7が形成される。この層7をシリコンのような
非導電性で、弾性的な材料で形成してもよい。こ
うして形成された層7をもつ支持体は鋳込器に送
られて、前述したと同様にしてモールド成型され
た後に、導体ユニツトとして切出される。またこ
の層7はモールド11よりもわずかに高めに形成
される。この支持体が識別カード本体に組込まれ
た時に、この層7はカード本体の被膜と同一平面
上に位置することになる。層7が導電性材料によ
り形成されている場合には直接的コンタクト方式
が使えるし、またこの層7がシリコン等の非導電
性材料により形成されている場合には、このシリ
コン層を介して針がコンタクト領域4aに突通さ
れる。この場合、コンタクト領域の外部環境から
保護され有利である。
を示す。この支持体を形成するために、コンタク
ト領域4a上には鋳込工程の前に例えば導電性の
層7が形成される。この層7をシリコンのような
非導電性で、弾性的な材料で形成してもよい。こ
うして形成された層7をもつ支持体は鋳込器に送
られて、前述したと同様にしてモールド成型され
た後に、導体ユニツトとして切出される。またこ
の層7はモールド11よりもわずかに高めに形成
される。この支持体が識別カード本体に組込まれ
た時に、この層7はカード本体の被膜と同一平面
上に位置することになる。層7が導電性材料によ
り形成されている場合には直接的コンタクト方式
が使えるし、またこの層7がシリコン等の非導電
性材料により形成されている場合には、このシリ
コン層を介して針がコンタクト領域4aに突通さ
れる。この場合、コンタクト領域の外部環境から
保護され有利である。
上述の実施例においては、半導体ウエーフアは
適当な結線リードによりフイルムの窓内に保持さ
れる。しかし、これではコンタクト領域間の間隔
を狭くできない。上述の実施例においては、コン
タクト領域間の最小間隔は窓および半導体ウエー
フアの寸法により決定される。このコンタクト領
域間の間隔を狭くするためには、第4図に示す実
施例が有利である。第4図において、フイルム1
2の両側に配置されたコンタクト領域16は貫通
導電方式により相互に結合されている。こうして
得られたフイルム上に半導体ウエーフア1が取付
けられる。
適当な結線リードによりフイルムの窓内に保持さ
れる。しかし、これではコンタクト領域間の間隔
を狭くできない。上述の実施例においては、コン
タクト領域間の最小間隔は窓および半導体ウエー
フアの寸法により決定される。このコンタクト領
域間の間隔を狭くするためには、第4図に示す実
施例が有利である。第4図において、フイルム1
2の両側に配置されたコンタクト領域16は貫通
導電方式により相互に結合されている。こうして
得られたフイルム上に半導体ウエーフア1が取付
けられる。
第5a図および第5b図は上述した方法により
形成した支持体15の断面図および上面図を示
す。鋳込工程は前述したと同様にして実施され
る。第5b図に示すように、隣接するコンタクト
領域間の間隔を狭くすることができる。
形成した支持体15の断面図および上面図を示
す。鋳込工程は前述したと同様にして実施され
る。第5b図に示すように、隣接するコンタクト
領域間の間隔を狭くすることができる。
第6図は貫通導通されたフイルムを利用した支
持体を示す。この支持体は非常に頑丈な構造をも
つ。この支持体は導通された透孔をもつフイルム
12と、スペーサ用フイルム17と、裏面被膜1
8とを備えている。この被膜18はモールド材料
を通過させるための開口部19を備えている。ま
たスペーサ用フイルム17は等間隔で半導体ウエ
ーフ31を受入するための空間20を限定してい
る。鋳込器内において、この空間20にモールド
材料が注入される。この鋳込工程において、種々
の膜間にもモールド材料が侵入する。隣接する半
導体ウエーフア6において、膜12,17および
18が適当な接着剤25により相互に結合されて
いる。このように、モールド材料の侵入は容易に
かつ限定された範囲で実行されることになる。勿
論、複合被膜を鋳込器の側壁に押付けることによ
り、モールド材料の侵入を制限することが可能で
ある。この支持体はグラスフアイバにより補強さ
れたエポキシ樹脂により形成された被膜を使用
し、このフイルム用樹脂と同じモールド材料を使
用することにより更に頑丈に構成される。この場
合も、モールド材料は被膜間に侵入し、支持体の
構造を堅固にし、かつコンパクトにする。
持体を示す。この支持体は非常に頑丈な構造をも
つ。この支持体は導通された透孔をもつフイルム
12と、スペーサ用フイルム17と、裏面被膜1
8とを備えている。この被膜18はモールド材料
を通過させるための開口部19を備えている。ま
たスペーサ用フイルム17は等間隔で半導体ウエ
ーフ31を受入するための空間20を限定してい
る。鋳込器内において、この空間20にモールド
材料が注入される。この鋳込工程において、種々
の膜間にもモールド材料が侵入する。隣接する半
導体ウエーフア6において、膜12,17および
18が適当な接着剤25により相互に結合されて
いる。このように、モールド材料の侵入は容易に
かつ限定された範囲で実行されることになる。勿
論、複合被膜を鋳込器の側壁に押付けることによ
り、モールド材料の侵入を制限することが可能で
ある。この支持体はグラスフアイバにより補強さ
れたエポキシ樹脂により形成された被膜を使用
し、このフイルム用樹脂と同じモールド材料を使
用することにより更に頑丈に構成される。この場
合も、モールド材料は被膜間に侵入し、支持体の
構造を堅固にし、かつコンパクトにする。
第7a図および第7b図は更に別の実施例を示
す。この実施例において、半導体ウエーフア30
は通常のボンデイング法によりコンタクト領域と
結線される。このために、搬送フイルム31は一
定間隔でパンチングされ、フインガ部32aをも
つリセス32が形成される。この後、このフイル
ム31上に導電膜33が取付けられる。通常のエ
ツチング技術により、支持体が完成された時にコ
ンタクト領域として使用される領域34がこの導
電膜33から形成される。こうして得られたフイ
ルムに、自動式ボンデイングユニツトにより半導
体ウエーフアが結合される。各半導体ウエーフア
がリセス32内に収容され、適当な接着剤36に
より導電膜33上に取付けられる。この後、半導
体ウエーフア30の結線部が金線37によりコン
タクト領域34と結合される。
す。この実施例において、半導体ウエーフア30
は通常のボンデイング法によりコンタクト領域と
結線される。このために、搬送フイルム31は一
定間隔でパンチングされ、フインガ部32aをも
つリセス32が形成される。この後、このフイル
ム31上に導電膜33が取付けられる。通常のエ
ツチング技術により、支持体が完成された時にコ
ンタクト領域として使用される領域34がこの導
電膜33から形成される。こうして得られたフイ
ルムに、自動式ボンデイングユニツトにより半導
体ウエーフアが結合される。各半導体ウエーフア
がリセス32内に収容され、適当な接着剤36に
より導電膜33上に取付けられる。この後、半導
体ウエーフア30の結線部が金線37によりコン
タクト領域34と結合される。
第8図は第7a図および7b図に示す実施例に
基いて構成された支持体40を示す。ここではフ
インガ延長部32aをもつリセス32には鋳込器
においてモールド材料が詰込まれる。この工程に
おいて、モールド材はエツチング処理により生じ
たコンタクト領域34間の空間領域39内にも注
入される。空洞部には必らずしも樹脂を詰込む必
要はない。例えば、第8図に示すように支持体の
片側面を接着性フイルム38により密封された場
合、空洞部に樹脂を詰込むのは容易なことであ
る。この接着性フイルムは、この支持体を更に処
理する場合に、はがされるものではあるが、この
支持体を長期にわたつて保存する場合等にはコン
タクト領域を保護するためにも使用される。
基いて構成された支持体40を示す。ここではフ
インガ延長部32aをもつリセス32には鋳込器
においてモールド材料が詰込まれる。この工程に
おいて、モールド材はエツチング処理により生じ
たコンタクト領域34間の空間領域39内にも注
入される。空洞部には必らずしも樹脂を詰込む必
要はない。例えば、第8図に示すように支持体の
片側面を接着性フイルム38により密封された場
合、空洞部に樹脂を詰込むのは容易なことであ
る。この接着性フイルムは、この支持体を更に処
理する場合に、はがされるものではあるが、この
支持体を長期にわたつて保存する場合等にはコン
タクト領域を保護するためにも使用される。
第1a図および1b図は箔に結合された半導体
ウエーフアの上面図および平面図、第2図は関接
的コンタクト方式に適切な支持体の説明図、第3
図は直接的コンタクト方式に適切な支持体の説明
図、第4図は貫通導通されたフイルムに取付けら
れた半導体ウエーフアの取付説明図、第5a図お
よび5b図は貫通導通されたフイルムを使用した
支持体の断面図および上面図、第6図は貫通導通
されたフイルムおよび被膜を使用した支持体の断
面図、第7a図および7b図は導電箔にボンデイ
ングされた半導体ウエーフアを備えた支持体の上
面図および断面図、第8図は第7a図および第7
b図に示す支持体にモールド材料を注入して得ら
れた支持体の断面図を示す。 1…半導体ウエーフア、4…コンタクト領域、
10…モールド部。
ウエーフアの上面図および平面図、第2図は関接
的コンタクト方式に適切な支持体の説明図、第3
図は直接的コンタクト方式に適切な支持体の説明
図、第4図は貫通導通されたフイルムに取付けら
れた半導体ウエーフアの取付説明図、第5a図お
よび5b図は貫通導通されたフイルムを使用した
支持体の断面図および上面図、第6図は貫通導通
されたフイルムおよび被膜を使用した支持体の断
面図、第7a図および7b図は導電箔にボンデイ
ングされた半導体ウエーフアを備えた支持体の上
面図および断面図、第8図は第7a図および第7
b図に示す支持体にモールド材料を注入して得ら
れた支持体の断面図を示す。 1…半導体ウエーフア、4…コンタクト領域、
10…モールド部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 金融カードまたは識別カードに、単体で組込
まれるICモジユール用支持体において、前記支
持体は この支持体と外部との通信用の複数のコンタク
ト領域を有する支持体と、 前記支持層に配置され、前記支持層のコンタク
ト領域に導電体により電気的に接続されたICチ
ツプと、 前記ICチツプを囲み、前記支持層に平行な平
面と前記平面の直角方向に均一な厚さを有し、固
体構造としての支持体を形成又は定義する硬化樹
脂体からなるモールド部と、より構成され、 前記コンタクト領域は前記樹脂体の一部を構成
し、この支持体との通信を許容するように前記樹
脂体内に配置されている、ことを特徴とする支持
体。 2 前記コンタクト領域は前記樹脂体に埋め込ま
れており、非接触性通信に適するように構成され
ていることを特徴とする特許請求の範囲第1項記
載の支持体。 3 前記コンタクト領域は前記樹脂体に埋め込ま
れており、前記支持体の平面と実質的に同一面を
形成するように形成された導電性材料からなる突
起を備え、前記接触面に応用される電極との通信
を可能にすることを特徴とする特許請求の範囲第
1項記載の支持体。 4 前記コンタクト領域は前記樹脂体に埋め込ま
れており、弾性の非導電性材料からなる突起が設
けられており、前記突起を貫通する電極による通
信を可能とすることを特徴とする特許請求の範囲
第1項記載の支持体。 5 前記支持体層は前記支持体のほぼ中央に配置
されていることを特徴とする特許請求の範囲第2
項から第4項の何れか1つに記載の支持体。 6 金融カード或は識別カードに組込まれるIC
モジユール用支持体において、前記支持体は 非導電性の材料から構成され、第1の側面と第
2の側面を有し、前記支持体と外部の通信用の複
数のコンタクト領域を前記第1の側面に有する支
持層と、 導電性リードにより前記コンタクト領域に電気
的に接続され、前記第2の側面に配置されたIC
チツプと、 前記支持層の第2の側面上に配置され、前記
ICチツプが配置され、硬化樹脂が注入された開
口を有するスペーサ層と、 前記スペーサ層と前記開口上に配置されたカバ
ー層と、より構成されていることを特徴とする支
持体。 7 前記樹脂は前記支持層と、前記スペーサ層
と、前記カバー層の間にこれらの層を互いに結合
するために配置されていることを特徴とする特許
請求の範囲第6項記載の支持体。 8 金融カード或は識別カードに組込まれるIC
モジユール用支持体において、前記支持体は 非導電性材料から構成され、窪み部を備え、第
1と第2の側面を有し、非導電性材料から構成さ
れる支持層と、 前記支持層の第1の側面に積層され、前記窪み
部に延在するる導電性フイルムと、 前記窪み部に配置されたICチツプと、 前記導電性フイルムを外れて形成され、かつ、
前記導電性フイルムから絶縁されて形成され、前
記ICチツプと外部との通信のためのコンタクト
領域と、 前記窪み部を通つて前記ICチツプの接続点と
前記コンタクト領域を接続する接続手段と、 を具備することを特徴とする支持体。 9 前記ICチツプは前記支持層に設けられた開
口内で前記導電性フイルムに接続され、前記窪み
部は前記開口の外縁を外れて位置することを特徴
とする特許請求の範囲第8項記載の支持体。 10 前記開口と前記窪み部は、前記開口内で前
記ICチツプを取囲み、前記窪み部内で前記接続
手段を取囲む硬化樹脂により満たされることを特
徴とする特許請求の範囲第9項記載の支持体。 11 前記接続手段は細いワイヤであることを特
徴とする特許請求の範囲第8項記載の支持体。
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