JPH0159617B2

JPH0159617B2 -

Info

Publication number: JPH0159617B2
Application number: JP60267998A
Authority: JP
Inventors: Naoki Sano
Original assignee: Yokogawa Electric Corp
Current assignee: Yokogawa Electric Corp
Priority date: 1985-11-28
Filing date: 1985-11-28
Publication date: 1989-12-19
Also published as: JPS62127987A

Description

【発明の詳細な説明】＜産業上の利用分野＞本発明は、デイジタル画像処理技術を用いてプ
リント板パターンを自動的に検査するプリント板
パターン検査方法に関するものである。

＜従来の技術＞従来、目視によつて行なわれていたプリント板
等の配線パターンの検査を、最近は、人手に頼ら
ないように機械化するような試みがなされてい
る。

特に、プリント板パターンの微細化傾向とプリ
ント板製品の信頼性、歩留りの向上の要求によ
り、プリント板パターンの検査品質の向上と検査
時間の短縮が望まれている。

従つて、このような要求に応えるために、プリ
ント板パターンを高速、高精度に検査することが
必要となつてくる。

従来のプリント板パターンの検査方法として
は、第１２図に示すように、(a)基準を用いて検査
する方法と(b)基準を用いないで検査する方法の２
つに分かれる。

(a)基準を用いて検査する方法は、正常パターン
を有するプリント板を絶対的な基準とし、正常プ
リント板パターンと被検査プリント板パターンを
入力して前処理を行なつて２値化画像信号に変換
し、位置合わせを行なつてそれぞれ対応する部分
の特徴抽出を行ない、これらを相互比較すること
によつてパターンの欠陥部分を検出するものであ
る。

一方、(b)基準を用いないでパターン検査を行な
う方法は、被検査パターンを入力して２値化処理
を行ない、この２値化画像信号と予め定義された
パターンの形状、寸法等に基づいた検査論理（測
長、特徴抽出等）と照合比較を行ない、合わない
部分をパターン欠陥部分として検出するものであ
る。

しかしながら、(a)基準を用いる方法は、正常プ
リント板パターンと被検査プリント板パターンの
正確な位置合わせが被検査プリント板毎に逐次必
要であるため、位置合わせ機構などの機械の高精
度が要求され高精度化に伴うコスト高を生じるこ
と、微小欠陥の検出が難しいこと、パターンのデ
ータ処理量が多く変換処理時間が大きいこと等の
問題を持つていた。

また、(b)基準を用いない方法は、例えば抜けパ
ターン等の正常パターンと類似する欠陥を検出す
ることができないこと、設計ルールの異なるプリ
ント板パターンを検査する場合にはその都度検査
論理を変更する必要があること等の問題を持つて
いた。

＜発明が解決しようとする問題点＞本発明が解決しようとする技術的な課題は、デ
イジタル画像処理技術を用いて正確にプリント板
パターンを検査する方法を実現することであり、
常に高速、高精度にプリント板パターンを検査す
ることができる方法を提供することを目的とす
る。

＜問題を解決するための手段＞以上の問題を解決した本発明のプリント板パタ
ーン検査方法は、プリント板のスルーホール領域
に付加されるランド領域を塗り潰して当該スルー
ホール領域に接続するスルーホール領域を全て検
出し、全スルーホール間ネツト・リスト情報を作
成し、同様の手順で予め作成した正常パターンの
ネツト・リスト情報と比較してプリント板パター
ンを検査するものであり、その方法は以下に述べ
る通りである。

即ち、プリント板パターンを読み込み２値化信
号処理を施しパターン部分を黒画素とする画像デ
ータに変換する入力部と、少なくとも１枚以上の
画像メモリ・プレーンを有し前記画像データを格
納する画像メモリ部と、プリント板パターン検査
アルゴリズム及びその検査結果を格納する主メモ
リ部と、前記検査結果を外部へ出力する出力部
と、数値演算及び前記プリント板パターン検査ア
ルコリズムを実行するプロセツサ部とを具備し、 (a) プリント板検査情報を格納する２次元マトリ
ツクス形式のテーブルを前記主メモリ部に設定
する手順、 (b) 前記入力部より被検査パターンの２値化画像
データを前記画像メモリ部の第１の画像メモ
リ・プレーンに書き込む手順、 (c) この第１の画像メモリ・プレーン上の被検査
パターンの各スルーホール領域にラベル付け処
理を行なうとともにこのスルーホール領域の画
素数及び重心座標を算出する手順、 (d) このスルーホール領域（ラベル番号Ｉ）の前
記重心座標を中心として当該スルーホール領域
を囲むランド領域を検出し、当該ランド領域と
それに接続するパターンを白画素で塗り潰して
次のラベル番号（Ｉ＋１）からこのラベル番号
（Ｉ＋１）のスルーホール領域のランド領域が
塗り潰されているかどうかを検出する手順、 (e) ランド領域が塗り潰されているスルーホール
領域（ラベル番号Ｊ）が検出された時は前記主
メモリ部に設定したテーブルの該当座標値
（Ｊ、Ｉ）を“１”としてこれらの動作を繰り
返すことによつて前記テーブル上に被検査パタ
ーンの全スルーホール間の接続関係を２次元的
にビツト対応で表わすネツト・リスト情報を作
成する手順、 (f) この被検査パターンのスルーホール領域のネ
ツト・リスト情報と、前記主メモリ上に予め上
記と同様の手順(a)〜(e)に従つて作成した正常パ
ターンのスルーホール間ネツト・リスト情報と
を比較する手順、によりプリント板パターンの欠陥の有無を検出す
るプリント板パターン検査方法である。

また、前記画像メモリ部の第２の画像メモリ・
プレーンに前記正常パターンの２値化画像データ
を格納するとともに第３の画像メモリ・プレーン
に前記被検査パターンの２値化画像データを格納
し、 (a) 前記主メモリ部に設定されている前記被検査
パターンのネツト・リスト情報と前記正常パタ
ーンのネツト・リスト情報とを比較して不一致
の場合は、前記被検査パターン及び前記正常パ
ターンにおいて該当するスルーホール領域を囲
むランド領域とこのランド領域に接続される全
てのパターンを抽出すべく塗り潰す手順、 (b) 手順(a)により塗り潰し処理した前記被検査パ
ターンと、前記正常パターンとの双方を出力す
る手順、とによりパターン欠陥位置の検出を行なうように
する。

＜実施例＞本発明のプリント板パターン検査方法は、第３
図に示すように、基準を用いる方式に属するもの
であり、パターンを連結するスルーホールに着目
し、正常プリント板パターンのスルーホール間ネ
ツト・リスト情報を基準とし、被検査プリント板
パターンを入力し前処理を行なつて２値化画像情
報を得、スルーホール間ネツト・リスト情報を作
成し、これら２つのネツト・リスト情報を比較す
ることによつて、パターン欠陥を検出するもので
ある。

プリント板の代表的なパターン欠陥として第１
１図に示すような、ピンホールａ、ブラツク・ス
ポツトｂ、突起ｃ、欠けｄ、断線ｅ、短絡ｆ等が
あり、この他にパターンの１部が描画されていな
いパターン抜けがある。本発明は、これらの欠陥
の内、実用上特に問題となる断線、短絡、パター
ン抜けを検査欠陥対象とするものである。

次に、第２図に本発明のプリント板パターン検
査方法を実現するためのデイジタル画像処理装置
の１例を示す。

この図において、１はプリント板のパターンを
読み込み、光電気変換に伴うシエージング等の前
処理及び２値化処理を施し、プリント板パターン
部分を黒画素とする画像データに変換するITV
カメラ、半導体ライン・スキヤナ等の入力部、２
は複数の画像メモリ・プレーンよりなり２値化画
像データを格納する画像メモリ部、３はプリント
板パターン検査アルゴリズム及びその結果を格納
する主メモリ部、４はプロセツサ４１と複数のレ
ジスタ４２よりなり、数値演算及びパターン検査
アルゴリズムを実行するプロセツサ部、５はパタ
ーン検査結果を外部に出力するCRT、プリンタ
等の出力部であり、これらはシステム・バスＢに
接続され、データの授受を行なう。

本発明のプリント板パターン検査方法の工程は
大きく２つの工程、即ち(a)パターン欠陥の判別工
程(b)パターン欠陥位置の検出工程に分かれ、その
具体的な動作を第１図の(a)、(b)フローチヤートを
用いて詳しく説明する。

はじめに、(1)主メモリ部３内に２次元マトリツ
クス形式のテーブルＡを定義し、その内容をクリ
アする。(2)次に入力部１から被検査パターンの２
値化画像データを画像メモリ部２のメモリプレー
ンＡに取り込む。(3)メモリプレーンＡ上の画像デ
ータをラスタ・スキヤンし、被検査パターンの全
スルーホール領域に対して１からＮまでの番号を
付与し、ラベル付け処理を行なう。(4)そして、ラ
ベル付けした各スルーホール領域の黒画素数とそ
の重心座標を算出し、スルーホール番号Ｉ（Ｉ＝
１、２、…Ｎ）とそれに対応した画素数、重心座
標（X_I、Y_I）、ステイタス表示用フラグFLI“０”
をスルーホール領域Ｉ情報として主メモリ部３へ
格納する。

(5)次に、レジスタ４２内のレジスタＩに初期値
「１」を設定する。

(6)ラベル番号Ｉに対応するスルーホール領域Ｉ
のフラグFLIを主メモリ部３より読み出し、FLI
＝“０”かどうか判定する。(7)FLI＝“０”であれ
ば、(8)主メモリ部３内のスルーホール領域Ｉ情報
からスルーホール領域Ｉの白画素数及び重心座標
（X_I，Y_I）を読み出し、これらの情報をもとにス
ルーホール領域Ｉを囲むランド領域Ｉの有無を探
査する。この探査方法は、例えば、スルーホール
領域の重心座標を中心に水平あるいは垂直の４方
向の内いずれか１方向に、その画素数に応じて定
める一定距離ｌだけ離れた探査点の画素の白黒を
調べ、その画素が黒画素である場合にランド領域
Ｉが“有”とする。このとき、スルーホール領域
が大きい場合には探査距離ｌを長く、スルーホー
ル領域が小さい場合には探査距離ｌを短くする。

(9)ランド領域がある場合は、(10)そのランド領域
Ｉの任意の１点（例えばステツプ(8)における探査
点）を種点とし、ランド領域Ｉとこのランド領域
に接続するパターン及び他のランド領域を黒画素
から白画素へ塗り潰し処理を行なう。

(11)レジスタＩの内容を１だけインクリメント
し、結果をレジスタＪに格納し、番号Ｉの次のラ
ベル番号のスルーホール領域のランド領域の塗り
潰し状況を調べる。(12)番号Ｊに対応するスルーホ
ール領域のフラグFLJを主メモリ部３から読み出
し、（13）フラグFLJ＝“０”の場合は、（14）ス
テツプ(8)と同様にランド領域Ｊの有無を探査す
る。（15）ランド領域Ｊがない場合は、スルーホ
ールＩとスルーホールＪが接続されていると判断
し、スルーホール領域ＪのフラグFLJを“１”と
し、主メモリ部３に格納する。そして、（17）主
メモリ部３内に定義したテーブルＡのXY座標
（Ｊ、Ｉ）に対応するビツト位置TA（Ｊ、Ｉ）に
ビツト“１”を立てる。そして、（18）レジスタ
Ｊの値を１インクリメントし、（19）Ｊ＞Ｎでな
ければ、(12)のステツプから操作をスルーホール領
域（Ｊ＋１）のランド領域を調べる操作を繰り返
す。

ここで、ステツプ（13）においてスルーホール
領域ＪのフラグFLJが“１”の場合、またはステ
ツプ（15）においてスルーホール領域Ｊにランド
領域がある場合は、ステツプ（18）の操作を実行
する。

そして、（19）Ｊ＞Ｎの場合即ち、スルーホー
ル領域Ｉに接続するスルーホール領域及びパター
ンの検出動作が終了したら、レジスタＩの内容を
１インクリメントし、（21）Ｉ＞Ｎでない場合は、
ステツプ(6)からスルーホール領域（Ｉ＋１）につ
いて上述と同様の動作を行なう。

ここで、ステツプ(7)でスルーホール領域Ｉのフ
ラグが“０”でない場合、またはステツプ(9)でス
ルーホール領域Ｉのランド領域がない場合は、ス
テツプ（20）の操作を実行する。

このようにしてステツプ（21）まで操作を行な
つてきたならば、主メモリ部３内におけるテーブ
ルＡの座標の数箇所に“１”が立ち、被検査パタ
ーンのスルーホール領域の接続関係を表わすネツ
ト・リスト・テーブル（情報）Ａが作成される。
そして、ステツプ（22）において、予め主メモリ
部３上に定めた正常パターンのネツト・リスト・
テーブルＢと作成されたネツト・リスト・テーブ
ルＡとを比較する。（23）比較結果が一致してい
れば、（24）“パターン欠陥無し”であり、（23）
比較結果が一致していなければ、（25）“パターン
欠陥有り”を、（26）検査結果として出力する。

ここまでの操作により、被検査パターンに欠陥
部分があるかどうかの判別処理が終了する。

次に、被検査パターンの欠陥部分の位置の検出
工程について説明を行なう。

（27）入力部１から、予め、画像メモリ部２の
メモリプレーンＢに正常パターンの２値化画像デ
ータを格納し、メモリプレーンＣに被検査パター
ンの２値化画像データを格納する。次に、（28）
上述のパターン欠陥の判別処理において求めた被
検査パターンのネツト・リスト・テーブルＡと予
め設定された正常パターンのネツト・リスト・テ
ーブルＢの内容のエクスクルーシブ・オア
（EOR）を演算（ネツト・リスト・テーブルＡ
ネツト・リスト・テーブルＢ）し、新たにネツ
ト・リスト・テーブルＣを主メモリ部３内に設定
する。

このとき、ネツト・リスト・テーブルＣの座標
値には正常パターン（ネツト・リスト・テーブル
Ｂ）と被検査パターン（ネツト・リスト・テーブ
ルＡ）との相違箇所にビツト“１”が立つてい
る。

（29）レジスタＩ，Ｊに初期値１を設定する。

（30）レジスタＩの内容を１インクリメント
し、レジスタＪに格納する。

そして、（31）ネツト・リスト・テーブルＣの
XY座標（Ｊ、Ｉ）に対応するビツトTC（Ｊ、
Ｉ）を順次読み出す。

（32）TC（Ｊ、Ｉ）＝１の場合は、（33）正常パ
ターンのスルーホール領域Ｉの画素数及び重心座
標を主メモリ部３から読み出し、画像メモリプレ
ーンＢにおいて、スルーホール領域Ｉのランド領
域と接続するパターン及び他のランド領域に対す
る塗り潰し処理を行ない、（34）塗り潰し処理に
よつて得られた、正常パターンにおけるスルーホ
ール領域Ｉに接続するスルーホールのラベル番号
等の抽出結果を出力Ｂとして出力部５に出力す
る。

次に、同様にして（35）被検査パターンのスル
ーホール領域Ｉの画素数及び重心座標を主メモリ
部３から読み出し、画像メモリプレーンＣにおい
て、スルーホール領域Ｉのランド領域と接続する
パターン及び他のランド領域に対する塗り潰し処
理を行ない、（36）塗り潰し処理によつて得られ
た、被検査パターンにおけるスルーホール領域Ｉ
に接続するスルーホールのラベル番号等の抽出結
果を出力Ｃとして出力部５に出力する。

（37）出力部５は、抽出結果Ｂ，ＣをCRTま
たはプリンタ等に出力を行ない、出力された正常
パターンと被検査パターンとの抽出結果を目視照
合を行なうことによりパターンの位置の確認を行
ない、最終的に実際の被検査パターンの該当部分
と正常パターンと比較でき、パターン欠陥位置の
検出を行なうことができる。

尚、（38）レジスタＩの内容を１インクリメン
トし、（39）Ｉ＞Ｎでなければステツプ（30）に
戻つて上述の手順を繰り返す。

また、ステツプ（32）において、ネツト・リス
ト・テーブルＣの座標TC（Ｊ，Ｉ）＝１でない場
合は、（40）レジスタＪの値を１インクリメント
し、（41）Ｊ＞Ｎでなければ、ステツプ（31）に
戻つてネツト・リスト・テーブルＣのXY座標
（Ｊ，Ｉ）のビツト読み出し操作を開始する。
（41）Ｊ＞Ｎであれば、ステツプ（38）レジスタ
Ｉの内容を１インクリメントする。

以上のようにして、プリント板パターンの欠陥
の有無を判別し、その欠陥位置の検出を行なうこ
とができる。

次に、上述の手順に従つて具体的な動作の説明
を行なう。

はじめに、主メモリ部３内に第４図に示すよう
な、縦軸Ｙ（Ｙ＝１、２、…、Ｉ、…、Ｎ）、横軸
Ｘ（Ｘ＝１、２、…、Ｊ、…Ｎ）とし、座標値
TA（Ｊ、Ｉ）で表わす２次元マトリツクス形式
のテーブルＡを定義する。このテーブルＡには、
被検査プリント板のスルーホールの接続関係が入
力される。

そして、被検査プリント板パターンの２値化画
像データを第５図に示す画像メモリ部２のメモリ
プレーンＡに格納する。このとき、メモリプレー
ンＡに格納された被検査パターンにおけるＮ個の
スルーホール領域に（１、２、…、Ｉ、Ｉ＋１、
…、Ｎ）までのラベル付け処理を行なう。同時
に、各々のスルーホール領域の重心座標及び画素
数を算出し、更にステイタス表示用フラグFLを
“０”に設定し、これらの情報を主メモリ部３に
第６図のようなスルーホール領域情報として記憶
する。

次に、番号１のスルーホール領域からこのスル
ーホール領域に付加されるランド領域があるかど
うかを探査し、ランド領域がある場合は、そのラ
ンド領域とこのランド領域に接続されるパターン
及びスルーホール領域に対して塗り潰し処理を行
なう。ランド探査操作は第７図に示すように、例
えば、スルーホール領域Ｉに対して、既に算出さ
れた重心座標（X_I，Y_I）とスルーホール領域Ｉ
の画素数（白画素領域）により、重心から水平方
向あるいは垂直方向に一定距離ｌだけ離れた場所
の画素の白黒を判別する。そして、黒画素領域が
検出されればランド領域有りと判断して、黒画素
から白画素へ塗り潰し処理を行なう。一定距離ｌ
の値は、各種の大きさのスルーホール領域に対応
できるようにスルーホール領域Ｉの画素数に応じ
て予め設定されている。

塗り潰し処理が終了すると、Ｉ＋１番目のスル
ーホール領域から順次スルーホール領域Ｎまでを
対象として、フラグの値及びランド領域の有無を
探査し、Ｊ番目のスルーホール領域においてフラ
グが“０”でランド領域が“無”の場合は、この
スルーホール領域はスルーホール領域Ｉと接続し
ていると判断し、このスルーホール領域のラベル
Ｉとこれに接続するスルーホールＪを第４図に示
した主メモリ部３のテーブルＡ上の座標TA（Ｊ、
Ｉ）にビツト“１”を立てる。

このとき、Ｊ番目のスルーホール領域のフラグ
が“０”でランド領域が“有”の場合は、このス
ルーホール領域Ｊはスルーホール領域Ｉとは接続
されていないとみなし、フラグが“１”の場合
は、このスルーホール領域Ｊは既に他のスルーホ
ール領域と接続されているとみなし、テーブルＡ
の該当箇所のビツトは“０”のままとする。

このようにして作成したネツト・リスト・テー
ブルを第８図ａ，ｂに示す。

第８図ａは被検査パターンとそのネツト・リス
ト・テーブルを表わしたものであり、ｂは正常パ
ターンとそのネツト・リスト・テーブルを表わし
たものである。この被検査パターンは、正常パタ
ーンｂと比較して、スルーホール２と３とが断線
し、スルーホール４，５およびスルーホール６，
７とが短絡している。

(b)正常パターンのネツト・リスト・テーブルＢ
は、予め主メモリ部３に設定しておき（このネツ
ト・リスト・テーブルＢを作成する工程は上述の
ネツト・リスト・テーブルＡを作成する操作と同
一で良い）、その内容に注目すると、座標（２、
１）、（３、１）、（５、４）、（７、６）にビツト
“１”が立つており、スルーホール１とスルーホ
ール２及びスルーホール３、スルーホール４とス
ルーホール５、スルーホール６とスルーホール７
が接続されていることが分かる。

一方、被検査パターンのネツト・リスト・テー
ブルＡは座標値（３、１）、（５、４）、（６、４）、
（７、４）にビツト“１”が立つており、スルー
ホール１と３とが接続、スルーホール４と５，
６，７とが接続されていることが表わされる。そ
して、プロセツサ部４はネツト・リスト・テーブ
ルＡとネツト・リスト・テーブルＢとを比較し、
プロセツサ部４は両者を異なつていると判断し、
被検査パターンに欠陥部分があることを判別する
ことができる。

次に、パターン欠陥位置の検出工程を説明す
る。

はじめに、メモリプレーンＢに正常パターンの
２値化画像データを格納し、メモリプレーンＣに
被検査パターンの２値化画像データを格納する。

プロセツサ部４の演算により、以上の工程で作
成した被検査パターンのネツト・リスト・テーブ
ルＡと予め設定したネツト・リスト・テーブルＢ
のエクスクルーシブ・オアを演算し、ネツト・リ
スト・テーブルＣを作成する。このネツト・リス
ト・テーブルＣを第９図に示す。このネツト・リ
スト・テーブルＣの座標値において、ビツト
“１”が立つている箇所は、ネツト・リスト・テ
ーブルＡとネツト・リスト・テーブルＢのビツト
値が異なつている部分である。

そして、更に、はじめに設定したメモリプレー
ンＢ上の正常パターン及びメモリプレーンＣ上の
被検査パターンにおいて、ネツト・リスト・テー
ブルＣ上のビツト“１”の座標（Ｊ、Ｉ）におけ
るＪ番目のスルーホール領域のランド領域につい
て塗り潰し処理を行なう。

そして、この塗り潰し結果を出力部５によつて
CRTまたはプリンタ等によつて外部へ出力する。

この出力状態を第１０図に表わす。

第１０図は被検査パターンと正常パターンとの
接続状態をCRT等に表示したものであり、ａは
スルーホール２とスルーホール３との断線状態を
表わし、ｂ，ｃはスルーホール４，５、スルーホ
ール６，７の短絡状態を表わしている。

これらの出力状態によりプリント板パターンを
目視照合することにより、欠陥部分の位置を検出
することができる。

以上のようにして、プリント板パターンの欠陥
部分の有無とその欠陥部分の位置を検出すること
ができる。

本発明によるプリント板パターン検査方法は、
基準を用いる方法であるが、従来の基準を用いる
方法と異なる部分は、本発明の方法では正常パタ
ーンと被検査パターンの正確な位置合わせが不必
要である点と、正常パターンのスルーホール間ネ
ツト・リスト・テーブルを被検査パターンの検査
毎に毎回作成することなく、最初に１回作成して
おけば良い点である。

＜発明の効果＞以上述べたように、本発明のプリント板検査方
法によれば次の効果が得られる。

正常パターンと被検査パターンのスルーホール
間ネツト・リスト・テーブルが正しく作成できる
程度の位置合わせ精度があれば良いので、正常パ
ターンと被検査パターンの正確な位置合わせは不
要となり、前後左右の相対的な位置ずれは問題に
ならず、ある程度の回転ずれも許容でき、位置合
わせ時間の短縮と機構系の低コスト化を図ること
ができる。

ラベル付け処理及び塗り潰し処理を行なうこと
によつて得られる正常パターンのスルーホール間
ネツト情報を基準とし、被検査パターンのスルー
ホール間ネツト・リスト情報とを相互比較するの
で、プリント板パターンの断線、短絡、抜けパタ
ーンと類似の欠陥の有無を高速、高精度に検出す
ることができる。

正常パターンのスルーホール間ネツト・リスト
情報は、最初に１回作成するだけで良く、被検査
パターンの検査毎に作成する必要はなく、検査時
間の短縮が可能である。

スルーホール間ネツト情報は、ビツト対応の２
次元マトリツクス形式によるテーブルで作成する
ので、コード情報形式によるものと比べてメモリ
の容量を削減することができる。

正常パターンと被検査パターンのスルーホール
間ネツト・リスト情報が不一致の場合に正常パタ
ーンと被検査パターンの不一致部分を含む画像デ
ータを抽出することができるので、これらの情報
と該当部分を目視照合することによつて欠陥位置
の検出を容易に行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図ａ，ｂは本発明によるプリント板パター
ン検査方法を説明するためのフローチヤート、第
２図は本発明のプリント板検査方法を実現するた
めの回路構成ブロツク図、第３図は本発明のプリ
ント板パターン検査方法の概要を表わす図、第４
図は主メモリ部３に設定するテーブルＡを表わす
図、第５図は画像メモリ部２の画像メモリプレー
ン上の被検査パターンの状態を表わす図、第６図
は主メモリ部３内のスルーホール領域情報を表わ
す図、第７図はスルーホール領域Ｉの重心座標
（X_I，Y_I）からこのスルーホール領域Ｉに付加す
るランド領域を探査する様子を表わす図、第８図
ａ，ｂは被検査パターンと正常パターン及びその
ネツト・リスト・テーブルＡ，Ｂを表わす図、第
９図はネツト・リスト・テーブルＡ，Ｂより作成
したネツト・リスト・テーブルＣを表わす図、第
１０図ａ，ｂ，ｃは出力部５から出力された正常
パターンと被検査パターンの例を表わす図、第１
１図は本発明が対象とするパターン欠陥の種類を
表わす図、第１２図は従来のプリント板検査方法
を概要を表わす図である。１……入力部、２……画像メモリプレーン、３
……主メモリ部、４……プロセツサ部、４１……
プロセツサ、４２……レジスタ、５……出力部。

Claims

【特許請求の範囲】１プリント板パターンを読み込み２値化信号処
理を施しパターン部分を黒画素とする画像データ
に変換する入力部と、少なくとも１枚以上の画像
メモリ・プレーンを有し前記画像データを格納す
る画像メモリ部と、プリント板パターン検査アル
ゴリズム及びその検査結果を格納する主メモリ部
と、前記検査結果を外部へ出力する出力部と、数
値演算及び前記プリント板パターン検査アルコリ
ズムを実行するプロセツサ部とを具備し、 (a) プリント板検査情報を格納する２次元マトリ
ツクス形式のテーブルを前記主メモリ部に設定
する手順、 (b) 前記入力部より被検査パターンの２値化画像
データを前記画像メモリ部の第１の画像メモ
リ・プレーンに書き込む手順、 (c) この第１の画像メモリ・プレーン上の被検査
パターンの各スルーホール領域にラベル付け処
理を行なうとともにこのスルーホール領域の画
素数及び重心座標を算出する手順、 (d) このスルーホール領域（ラベル番号Ｉ）の前
記重心座標を中心として当該スルーホール領域
を囲むランド領域を検出し、当該ランド領域と
それに接続するパターンを白画素で塗り潰して
次のラベル番号（Ｉ＋１）からこのラベル番号
（Ｉ＋１）のスルーホール領域のランド領域が
塗り潰されているかどうかを検出する手順、 (e) ランド領域が塗り潰されているスルーホール
領域（ラベル番号Ｊ）が検出された時は前記主
メモリ部に設定したテーブルの該当座標値
（Ｊ、Ｉ）を“１”としてこれらの動作を繰り
返すことによつて前記テーブル上に被検査パタ
ーンの全スルーホール間の接続関係を２次元的
にビツト対応で表わすネツト・リスト情報を作
成する手順、 (f) この被検査パターンのスルーホール領域のネ
ツト・リスト情報と、前記主メモリ上に予め上
記と同様の手順(a)〜(e)に従つて作成した正常パ
ターンのスルーホール間ネツト・リスト情報と
を比較する手順、によりプリント板パターンの欠陥の有無を検出す
るプリント板パターン検査方法。２前記画像メモリ部の第２の画像メモリ・プレ
ーンに前記正常パターンの２値化画像データを格
納するとともに第３の画像メモリ・プレーンに前
記被検査パターンの２値化画像データを格納し、 (a) 前記主メモリ部に設定されている前記被検査
パターンのネツト・リスト情報と前記正常パタ
ーンのネツト・リスト情報とを比較して不一致
の場合は、前記被検査パターン及び前記正常パ
ターンにおいて該当するスルーホール領域を囲
むランド領域とこのランド領域に接続される全
てのパターンを抽出すべく塗り潰す手順、 (b) 手順(a)により塗り潰し処理した前記被検査パ
ターンと、前記正常パターンとの双方を出力す
る手順、とによりパターン欠陥位置の検出を行なう特許請
求の範囲第１項記載のプリント板パターン検査方
法。