JPH0161471U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0161471U JPH0161471U JP15608987U JP15608987U JPH0161471U JP H0161471 U JPH0161471 U JP H0161471U JP 15608987 U JP15608987 U JP 15608987U JP 15608987 U JP15608987 U JP 15608987U JP H0161471 U JPH0161471 U JP H0161471U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cycle
- refrigerator
- cryopump
- pump case
- stage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の断面図、第２図は
従来技術の断面図である。 １……往復動式冷凍機、２……ガス圧縮機、３
……高圧ガス配管、４……低圧ガス配管、５……
第一段シリンダ、６……第２段シリンダ、７……
第一段ヒートステーシヨン、８……第二段ヒート
ステーシヨン、９……シールド、１０……クライ
オパネル、１１……バツフル、１２……ポンプケ
ース、１３……真空容器、１４……フランジ、１
５……シール、１６……冷凍機とポンプケースの
結合部、１７……真空空間部、１８……真空空間
部、２０……シールド、２１……真空空間部、ｄ
……隙間。
従来技術の断面図である。 １……往復動式冷凍機、２……ガス圧縮機、３
……高圧ガス配管、４……低圧ガス配管、５……
第一段シリンダ、６……第２段シリンダ、７……
第一段ヒートステーシヨン、８……第二段ヒート
ステーシヨン、９……シールド、１０……クライ
オパネル、１１……バツフル、１２……ポンプケ
ース、１３……真空容器、１４……フランジ、１
５……シール、１６……冷凍機とポンプケースの
結合部、１７……真空空間部、１８……真空空間
部、２０……シールド、２１……真空空間部、ｄ
……隙間。
Claims (1)
- スターリングサイクル、ギフオード・マクマホ
ンサイクル、ソルベイサイクル等の冷凍サイクル
を使用した冷凍機を寒冷発生源とするクライオポ
ンプにおいて、前記冷凍機の第一段ヒートステー
シヨンに取付けられたシールドを、第一段シリン
ダの外側とポンプケースの内側に、それぞれとの
間に狭幅の隙間を有するようにして、形成したこ
とを特徴とするクライオポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15608987U JPH0161471U (ja) | 1987-10-14 | 1987-10-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15608987U JPH0161471U (ja) | 1987-10-14 | 1987-10-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0161471U true JPH0161471U (ja) | 1989-04-19 |
Family
ID=31434304
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15608987U Pending JPH0161471U (ja) | 1987-10-14 | 1987-10-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0161471U (ja) |
-
1987
- 1987-10-14 JP JP15608987U patent/JPH0161471U/ja active Pending
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