JPH0163134U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0163134U JPH0163134U JP1987158290U JP15829087U JPH0163134U JP H0163134 U JPH0163134 U JP H0163134U JP 1987158290 U JP1987158290 U JP 1987158290U JP 15829087 U JP15829087 U JP 15829087U JP H0163134 U JPH0163134 U JP H0163134U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- rotating body
- water droplet
- transmitting member
- substrates
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
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- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Drying Of Solid Materials (AREA)
- Centrifugal Separators (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す回転乾燥装置
の縦断面図、第２図はその回転体の斜視図、第３
図は回転体の別実施例を示す斜視図、第４図は本
考案の別実施例を示す第１１図相当図、第５図は
従来例による水滴吸収透過部材の斜視図である。 １…チヤンバケーシング、１ａ…チヤンバ側壁
、２…脱水乾燥用チヤンバ、３…チヤンバケーシ
ングの上部開口、４…回転体、８…カセツトホル
ダ、８ｂ…カセツトホルダの脱水口、９…基板収
容カセツト、１０…基板、１６，１６Ａ…障壁部
材、２０…回転体の排気口、２２…水滴吸収透過
部材、２５…上蓋、２５ａ…外気取入口、２８…
強制排気ダクト。
の縦断面図、第２図はその回転体の斜視図、第３
図は回転体の別実施例を示す斜視図、第４図は本
考案の別実施例を示す第１１図相当図、第５図は
従来例による水滴吸収透過部材の斜視図である。 １…チヤンバケーシング、１ａ…チヤンバ側壁
、２…脱水乾燥用チヤンバ、３…チヤンバケーシ
ングの上部開口、４…回転体、８…カセツトホル
ダ、８ｂ…カセツトホルダの脱水口、９…基板収
容カセツト、１０…基板、１６，１６Ａ…障壁部
材、２０…回転体の排気口、２２…水滴吸収透過
部材、２５…上蓋、２５ａ…外気取入口、２８…
強制排気ダクト。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 脱水乾燥用チヤンバを形成するチヤンバケーシ
ングと、チヤンバ内にあつて水平回転可能に設け
られた回転体と、外気取入口を有しチヤンバケー
シングの上部開口を蓋する上蓋と、上記チヤンバ
に連通させて設けた強制排気ダクトとを備えて成
り、回転体は基板収容カセツトを着脱可能に保持
する複数のカセツトホルダと、カセツトホルダと
チヤンバ側壁との間に介在させて設けた水滴吸収
透過部材とを具備して成る基板の回転乾燥装置に
おいて、 回転体の周縁部に複数の排気口を形成するとと
もに、カセツトホルダの脱水口をその排気口に対
向配置し、上記水滴吸収透過部材を当該排気口又
はカセツトホルダの脱水口のいずれか一方に着脱
可能に付設したことを特徴とする基板の回転乾燥
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987158290U JPH0163134U (ja) | 1987-10-15 | 1987-10-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987158290U JPH0163134U (ja) | 1987-10-15 | 1987-10-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0163134U true JPH0163134U (ja) | 1989-04-24 |
Family
ID=31438479
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987158290U Pending JPH0163134U (ja) | 1987-10-15 | 1987-10-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0163134U (ja) |
-
1987
- 1987-10-15 JP JP1987158290U patent/JPH0163134U/ja active Pending