JPS6232529U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6232529U JPS6232529U JP12252385U JP12252385U JPS6232529U JP S6232529 U JPS6232529 U JP S6232529U JP 12252385 U JP12252385 U JP 12252385U JP 12252385 U JP12252385 U JP 12252385U JP S6232529 U JPS6232529 U JP S6232529U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tank
- door
- covered
- utility
- outer surfaces
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Elimination Of Static Electricity (AREA)
- Drying Of Solid Materials (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の断面図、第２図は
従来のリンサードライヤの外観斜視図、第３図は
第２図のリンサードライヤへの塵埃付着の状態を
示す側面図である。 １：半導体板、２：カセツト、３：カセツト押
さえ、４：乾燥槽、５：扉、７：金属板。
従来のリンサードライヤの外観斜視図、第３図は
第２図のリンサードライヤへの塵埃付着の状態を
示す側面図である。 １：半導体板、２：カセツト、３：カセツト押
さえ、４：乾燥槽、５：扉、７：金属板。
Claims (1)
- 槽内の低湿度ガス雰囲気中で遠心脱水を行なう
ものにおいて、槽の扉の内外両面がそれぞれ接地
された金属によつて被覆されたことを特徴とする
乾燥装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12252385U JPS6232529U (ja) | 1985-08-09 | 1985-08-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12252385U JPS6232529U (ja) | 1985-08-09 | 1985-08-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6232529U true JPS6232529U (ja) | 1987-02-26 |
Family
ID=31012788
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12252385U Pending JPS6232529U (ja) | 1985-08-09 | 1985-08-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6232529U (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4983014A (ja) * | 1972-11-24 | 1974-08-09 | ||
| JPS5556630A (en) * | 1978-10-20 | 1980-04-25 | Nec Corp | Preparation of semiconductor device |
| JPS58213422A (ja) * | 1982-06-07 | 1983-12-12 | Hitachi Ltd | ウエハ上の異物付着低減方法 |
-
1985
- 1985-08-09 JP JP12252385U patent/JPS6232529U/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4983014A (ja) * | 1972-11-24 | 1974-08-09 | ||
| JPS5556630A (en) * | 1978-10-20 | 1980-04-25 | Nec Corp | Preparation of semiconductor device |
| JPS58213422A (ja) * | 1982-06-07 | 1983-12-12 | Hitachi Ltd | ウエハ上の異物付着低減方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6232529U (ja) | ||
| JPS61139003U (ja) | ||
| JPS6376492U (ja) | ||
| JPS59196610U (ja) | 天井の構造 | |
| JPS61133166U (ja) | ||
| JPS6152146U (ja) | ||
| JPS6086207U (ja) | ニユ−セラミツクドライヤ− | |
| JPS6126496U (ja) | 乾燥室 | |
| JPH02119154U (ja) | ||
| JPS59157696U (ja) | ガス衣類乾燥機 | |
| JPH0397140U (ja) | ||
| JPS5957785U (ja) | 断熱壁体 | |
| JPS6223902U (ja) | ||
| JPS5837856U (ja) | 球状電気掃除機 | |
| JPS6446484U (ja) | ||
| JPS62159895U (ja) | ||
| JPS58185171U (ja) | 食器乾燥機付きワゴン装置 | |
| JPS5863744U (ja) | スピンコ−タ | |
| JPS6096529U (ja) | レンジフ−ド | |
| JPS62201608U (ja) | ||
| JPS60121192U (ja) | 循環型穀物乾燥機 | |
| JPS63150658U (ja) | ||
| JPS5983436U (ja) | 洋服乾燥機付収納体 | |
| JPS58174045U (ja) | アプライト形電気掃除機 | |
| JPS5940097U (ja) | 衣類乾燥機 |