JPH0164056U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0164056U JPH0164056U JP1987159819U JP15981987U JPH0164056U JP H0164056 U JPH0164056 U JP H0164056U JP 1987159819 U JP1987159819 U JP 1987159819U JP 15981987 U JP15981987 U JP 15981987U JP H0164056 U JPH0164056 U JP H0164056U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light source
- defect inspection
- screen
- surface defect
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 5
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 5
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 5
- 230000005611 electricity Effects 0.000 claims 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims 1
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
第１図は本考案に基づく表面欠陥検査装置の模
式的な斜視図である。第２図は第１図の正面図で
ある。 １……表面欠陥検査装置、２……カメラ、３〜
５……光源部、６……カメラ送り装置、７……支
持部、７ａ……Ｌ字状部材、７ｂ……板状部材、
８……ガイド部材、９……駆動軸、１０，１２…
…モータ、１３……カムシヤフト、２０……支持
部材、２１……光源、２２……駆動ローラ、２３
……従動ローラ、２４……モータ、２５……スク
リーン、２６……清掃ブラシ、３０……支持部材
、３１……光源、３２……駆動ローラ、３３……
従動ローラ、３４……モータ、３５……スクリー
ン、３６……清掃ブラシ、３８……駆動ベルト、
４０……支持部材、４１……光源、４２……駆動
ローラ、４３……従動ローラ、４５……スクリー
ン、４６……清掃ブラシ。
式的な斜視図である。第２図は第１図の正面図で
ある。 １……表面欠陥検査装置、２……カメラ、３〜
５……光源部、６……カメラ送り装置、７……支
持部、７ａ……Ｌ字状部材、７ｂ……板状部材、
８……ガイド部材、９……駆動軸、１０，１２…
…モータ、１３……カムシヤフト、２０……支持
部材、２１……光源、２２……駆動ローラ、２３
……従動ローラ、２４……モータ、２５……スク
リーン、２６……清掃ブラシ、３０……支持部材
、３１……光源、３２……駆動ローラ、３３……
従動ローラ、３４……モータ、３５……スクリー
ン、３６……清掃ブラシ、３８……駆動ベルト、
４０……支持部材、４１……光源、４２……駆動
ローラ、４３……従動ローラ、４５……スクリー
ン、４６……清掃ブラシ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 被写体表面の欠陥を検査するべく、前記被
写体に光を照射する光源と、前記被写体からの反
射光により結像するカメラとを具備する表面欠陥
検査装置であつて、 前記光源と前記被写体との間に、前記光源から
の光を分散する半透明なスクリーンと、 前記スクリーンと相対移動可能な該スクリーン
の清掃手段とを有することを特徴とする表面欠陥
検査装置。 (2) 前記清掃手段が、静電気除去手段を含むこ
とを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項に
記載の表面欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987159819U JPH0164056U (ja) | 1987-10-19 | 1987-10-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987159819U JPH0164056U (ja) | 1987-10-19 | 1987-10-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0164056U true JPH0164056U (ja) | 1989-04-25 |
Family
ID=31441356
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987159819U Pending JPH0164056U (ja) | 1987-10-19 | 1987-10-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0164056U (ja) |
-
1987
- 1987-10-19 JP JP1987159819U patent/JPH0164056U/ja active Pending
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