JPH0164057U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0164057U JPH0164057U JP1987159802U JP15980287U JPH0164057U JP H0164057 U JPH0164057 U JP H0164057U JP 1987159802 U JP1987159802 U JP 1987159802U JP 15980287 U JP15980287 U JP 15980287U JP H0164057 U JPH0164057 U JP H0164057U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- imaging
- substrate sample
- light
- collimator lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 6
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
第１図は、本考案の装置の一実施例を示す構成
略図、第２図は従来の基板表面の欠陥を検査する
装置の構成略図である。第３，４図は本考案の装
置を用いた場合の欠陥の画像の模式図、第５，６
図は従来の装置を用いた場合の欠陥の画像の模式
図である。 図中、１は光源、２はハーフミラー、３はコリ
メーターレンズ、４はサンプル、５は結像レンズ
、６は撮像装置、７はＣＲＴ画面、８は凸レンズ
をそれぞれ示す。
略図、第２図は従来の基板表面の欠陥を検査する
装置の構成略図である。第３，４図は本考案の装
置を用いた場合の欠陥の画像の模式図、第５，６
図は従来の装置を用いた場合の欠陥の画像の模式
図である。 図中、１は光源、２はハーフミラー、３はコリ
メーターレンズ、４はサンプル、５は結像レンズ
、６は撮像装置、７はＣＲＴ画面、８は凸レンズ
をそれぞれ示す。
Claims (1)
- 光源１からの光を基板サンプル４に照射させ、
その反射光をコリメーターレンズ３で集光し、こ
れを結像レンズ５に入射させ、次いで撮像装置６
に映像させて該基板サンプル表面の欠陥を検査す
る装置において、コリメーターレンズ３と結像レ
ンズ５との間に凸レンズを設けてなることを特徴
とする基板表面の欠陥を検査する装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987159802U JPH0164057U (ja) | 1987-10-19 | 1987-10-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987159802U JPH0164057U (ja) | 1987-10-19 | 1987-10-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0164057U true JPH0164057U (ja) | 1989-04-25 |
Family
ID=31441322
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987159802U Pending JPH0164057U (ja) | 1987-10-19 | 1987-10-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0164057U (ja) |
-
1987
- 1987-10-19 JP JP1987159802U patent/JPH0164057U/ja active Pending
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