JPH0260245U - - Google Patents
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- JPH0260245U JPH0260245U JP14017088U JP14017088U JPH0260245U JP H0260245 U JPH0260245 U JP H0260245U JP 14017088 U JP14017088 U JP 14017088U JP 14017088 U JP14017088 U JP 14017088U JP H0260245 U JPH0260245 U JP H0260245U
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 6
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 3
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- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す図、第２図は
透過率分布を示す図、第３図は従来のブランク検
査方法を説明するための図、第４図はブランクと
その欠陥を説明するための図、第５図は従来の検
出方法を説明するための図である。 １１……ＣＣＤカメラ、１２……画像処理装置
、１３……制御装置、１４……モニタ、１５……
試料、１６……照明装置、１７……電源。
透過率分布を示す図、第３図は従来のブランク検
査方法を説明するための図、第４図はブランクと
その欠陥を説明するための図、第５図は従来の検
出方法を説明するための図である。 １１……ＣＣＤカメラ、１２……画像処理装置
、１３……制御装置、１４……モニタ、１５……
試料、１６……照明装置、１７……電源。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 蓄積時間可変の撮像手段で撮像した画像デ
ータに基づき欠陥検査を行うことを特徴とするフ
オトマスクブランク検査装置。 (2) 撮像手段が冷却型ＣＣＤカメラである請求
項１記載のフオトマスクブランク検査装置。 (3) 蓄積時間可変の撮像手段により試料なしで
撮像した画像データと試料を置いて撮像した画像
データから得られる試料の透過率分布に基づき欠
陥検査するフオトマスクブランク検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14017088U JPH0260245U (ja) | 1988-10-26 | 1988-10-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14017088U JPH0260245U (ja) | 1988-10-26 | 1988-10-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0260245U true JPH0260245U (ja) | 1990-05-02 |
Family
ID=31404100
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14017088U Pending JPH0260245U (ja) | 1988-10-26 | 1988-10-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0260245U (ja) |
-
1988
- 1988-10-26 JP JP14017088U patent/JPH0260245U/ja active Pending
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