JPH0164058U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0164058U JPH0164058U JP1987158805U JP15880587U JPH0164058U JP H0164058 U JPH0164058 U JP H0164058U JP 1987158805 U JP1987158805 U JP 1987158805U JP 15880587 U JP15880587 U JP 15880587U JP H0164058 U JPH0164058 U JP H0164058U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- camera
- inspected
- value
- image processing
- surface inspection
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 3
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例の構成を示す図、第２
図は実施例の作動の流れ図、第３図は他の実施例
の画像を示す図、第４図は第３図の画像を処理す
る場合の流れ図、第５図は従来の表面検査装置の
構成図、第６図は第５図の作動の流れ図である。 １１……被検査物、１４……照明装置、１５…
…カメラ、１６……スライド機構、１７……モー
タ、１８……カメラ移動制御部、２０……相対移
動手段、２１……画像処理装置、２３……算出手
段、２４……測定手段。
図は実施例の作動の流れ図、第３図は他の実施例
の画像を示す図、第４図は第３図の画像を処理す
る場合の流れ図、第５図は従来の表面検査装置の
構成図、第６図は第５図の作動の流れ図である。 １１……被検査物、１４……照明装置、１５…
…カメラ、１６……スライド機構、１７……モー
タ、１８……カメラ移動制御部、２０……相対移
動手段、２１……画像処理装置、２３……算出手
段、２４……測定手段。
Claims (1)
- 被検査物を照射する照明装置と照射された被検
査物を撮影するカメラと、該カメラに撮影された
画像情報を解析し陰影となる部分を傷として検知
する画像処理装置とからなる表面検査装置におい
て、前記被検査物、照明装置およびカメラを相対
的に移動させる相対移動手段と、前記相対移動に
よつて変化し前記画像処理装置に入力されて記憶
された被検査物の傷の面積の最大値を求める算出
手段と、前記最大値を測定値として検知する測定
手段とからなる表面検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987158805U JPH0164058U (ja) | 1987-10-19 | 1987-10-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987158805U JPH0164058U (ja) | 1987-10-19 | 1987-10-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0164058U true JPH0164058U (ja) | 1989-04-25 |
Family
ID=31439464
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987158805U Pending JPH0164058U (ja) | 1987-10-19 | 1987-10-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0164058U (ja) |
-
1987
- 1987-10-19 JP JP1987158805U patent/JPH0164058U/ja active Pending
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