JPH0220157U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0220157U JPH0220157U JP9806888U JP9806888U JPH0220157U JP H0220157 U JPH0220157 U JP H0220157U JP 9806888 U JP9806888 U JP 9806888U JP 9806888 U JP9806888 U JP 9806888U JP H0220157 U JPH0220157 U JP H0220157U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- imaging
- detecting
- imaging means
- inspected
- detection circuit
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 5
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例を示す構成図、第
２図は被検査体の透過光像に関する検査の様子を
示す図である。 １……被検査体（ワーク）、２……照明、３…
…ハーフミラー、４ａ，４ｂ，４ｃ……ラインセ
ンサカメラ、５……ラインセンサカメラ、６ａ，
６ｂ，６ｃ……欠陥検出回路、７……有孔部検出
回路、８……制御部、９……有孔部、１０……外
周部。
２図は被検査体の透過光像に関する検査の様子を
示す図である。 １……被検査体（ワーク）、２……照明、３…
…ハーフミラー、４ａ，４ｂ，４ｃ……ラインセ
ンサカメラ、５……ラインセンサカメラ、６ａ，
６ｂ，６ｃ……欠陥検出回路、７……有孔部検出
回路、８……制御部、９……有孔部、１０……外
周部。
Claims (1)
- 被検査体上の直線領域を照射する反射照明と、
この照射による前記被検査体の反射光像を撮像す
る第１の撮像手段と、この第１の撮像手段からの
撮像信号を検出処理する第１の検出回路と、前記
照射による前記被検査体の透過光像を撮像する第
２の撮像手段と、この第２の撮像手段からの撮像
信号を検出処理する第２の検出回路と、前記各撮
像信号から検出される撮像情報を照合して前記被
検査体の欠陥を検出する制御部とを具えたことを
特徴とする欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9806888U JPH0220157U (ja) | 1988-07-25 | 1988-07-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9806888U JPH0220157U (ja) | 1988-07-25 | 1988-07-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0220157U true JPH0220157U (ja) | 1990-02-09 |
Family
ID=31324004
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9806888U Pending JPH0220157U (ja) | 1988-07-25 | 1988-07-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0220157U (ja) |
-
1988
- 1988-07-25 JP JP9806888U patent/JPH0220157U/ja active Pending