JPH0169731U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0169731U JPH0169731U JP1987165256U JP16525687U JPH0169731U JP H0169731 U JPH0169731 U JP H0169731U JP 1987165256 U JP1987165256 U JP 1987165256U JP 16525687 U JP16525687 U JP 16525687U JP H0169731 U JPH0169731 U JP H0169731U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- container body
- container
- lid
- packing
- adjustment part
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000012856 packing Methods 0.000 claims description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
Landscapes
- Details Of Rigid Or Semi-Rigid Containers (AREA)
- Closures For Containers (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Casings For Electric Apparatus (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例である半導体ウエ
ハをキヤリアに保持して収納する密閉容器の斜視
図、第２図はその断面図、第３図は従来の半導体
ウエハをキヤリアに保持して収納する密閉容器の
断面図である。 １０……容器本体、１１……蓋体、１２……パ
ツキング、１３……ロツク機構、１４……圧力調
整部。
ハをキヤリアに保持して収納する密閉容器の斜視
図、第２図はその断面図、第３図は従来の半導体
ウエハをキヤリアに保持して収納する密閉容器の
断面図である。 １０……容器本体、１１……蓋体、１２……パ
ツキング、１３……ロツク機構、１４……圧力調
整部。
Claims (1)
- 容器本体とこの容器本体の開口部を覆う蓋体と
の間にパツキングを介在させてこれら容器本体と
蓋体とをロツク機構により一体に固定することに
より内部を気密に保つ容器に内外の圧力差により
弾性変形する圧力調整部を設けたことを特徴とす
る密閉容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987165256U JPH0169731U (ja) | 1987-10-30 | 1987-10-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987165256U JPH0169731U (ja) | 1987-10-30 | 1987-10-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0169731U true JPH0169731U (ja) | 1989-05-09 |
Family
ID=31451574
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987165256U Pending JPH0169731U (ja) | 1987-10-30 | 1987-10-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0169731U (ja) |
-
1987
- 1987-10-30 JP JP1987165256U patent/JPH0169731U/ja active Pending