JPH0171194U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0171194U JPH0171194U JP1987167678U JP16767887U JPH0171194U JP H0171194 U JPH0171194 U JP H0171194U JP 1987167678 U JP1987167678 U JP 1987167678U JP 16767887 U JP16767887 U JP 16767887U JP H0171194 U JPH0171194 U JP H0171194U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oil
- oil supply
- turbo
- flow path
- tank
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
図面は一実施例を示し、第１図はターボ分子ポ
ンプの油タンク内外の構成を示す断面図、第２図
は自動給油を指令する制御手段のブロツク図であ
る。 １…ポンプ本体、３…油タンク、４…タービン
スピンドル軸、５…ノズル、６…油通路、８…ボ
ールベアリング、１０…油補給通路、１１…油溜
め、１３…開閉切換弁（真空電磁弁）、１４…エ
アブリード、１６…光センサ、Ｏ…潤滑油、Ｓ１
，Ｓ２…油面。
ンプの油タンク内外の構成を示す断面図、第２図
は自動給油を指令する制御手段のブロツク図であ
る。 １…ポンプ本体、３…油タンク、４…タービン
スピンドル軸、５…ノズル、６…油通路、８…ボ
ールベアリング、１０…油補給通路、１１…油溜
め、１３…開閉切換弁（真空電磁弁）、１４…エ
アブリード、１６…光センサ、Ｏ…潤滑油、Ｓ１
，Ｓ２…油面。
Claims (1)
- ポンプ本体の下端部に、潤滑油を貯溜する油タ
ンクを装着したターボ分子ポンプにおいて、前記
油タンクの一側に、外部の油溜めから該油タンク
内に潤滑油を流入する油補給流路を連通するとと
もに、この油補給流路に開閉切換弁を介設したこ
とを特徴とするターボ分子ポンプの油供給機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987167678U JPH0171194U (ja) | 1987-10-30 | 1987-10-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987167678U JPH0171194U (ja) | 1987-10-30 | 1987-10-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0171194U true JPH0171194U (ja) | 1989-05-12 |
Family
ID=31456189
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987167678U Pending JPH0171194U (ja) | 1987-10-30 | 1987-10-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0171194U (ja) |
-
1987
- 1987-10-30 JP JP1987167678U patent/JPH0171194U/ja active Pending