JPH0174267U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0174267U JPH0174267U JP1987167938U JP16793887U JPH0174267U JP H0174267 U JPH0174267 U JP H0174267U JP 1987167938 U JP1987167938 U JP 1987167938U JP 16793887 U JP16793887 U JP 16793887U JP H0174267 U JPH0174267 U JP H0174267U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exhaust
- fan
- cover
- exhaust fan
- housed
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000006837 decompression Effects 0.000 claims 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Description
第１図は、本考案の一実施例のエツチング装置
の排気ユニツトを説明する図、第２図は、本考案
の第２の実施例のエツチング装置の排気ユニツト
を説明する図、第３図は、従来のエツチング装置
の構成とレイアウトを説明する平面図、第４図は
、従来のエツチング装置の構成とレイアウトを説
明する側面図である。 １……ロータリーポンプ、２……メカニカルプ
ースターボンプ、４……送風用フアン、５……排
気用フアン、６……カバー、７……排気ダクト、
８……配管。
の排気ユニツトを説明する図、第２図は、本考案
の第２の実施例のエツチング装置の排気ユニツト
を説明する図、第３図は、従来のエツチング装置
の構成とレイアウトを説明する平面図、第４図は
、従来のエツチング装置の構成とレイアウトを説
明する側面図である。 １……ロータリーポンプ、２……メカニカルプ
ースターボンプ、４……送風用フアン、５……排
気用フアン、６……カバー、７……排気ダクト、
８……配管。
Claims (1)
- 減圧処理室の荒引き用排気ユニツトを送風用フ
アンと排気用フアンを有するカバー内に収納し、
前記排気用フアンを排気ダクトに連結したことを
特徴とする減圧処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987167938U JPH0174267U (ja) | 1987-11-04 | 1987-11-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987167938U JPH0174267U (ja) | 1987-11-04 | 1987-11-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0174267U true JPH0174267U (ja) | 1989-05-19 |
Family
ID=31456680
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987167938U Pending JPH0174267U (ja) | 1987-11-04 | 1987-11-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0174267U (ja) |
-
1987
- 1987-11-04 JP JP1987167938U patent/JPH0174267U/ja active Pending