JPH0177249U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0177249U JPH0177249U JP1987172461U JP17246187U JPH0177249U JP H0177249 U JPH0177249 U JP H0177249U JP 1987172461 U JP1987172461 U JP 1987172461U JP 17246187 U JP17246187 U JP 17246187U JP H0177249 U JPH0177249 U JP H0177249U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filament
- mounting bracket
- current introduction
- introduction terminal
- guide groove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図は、この考案の一実施例に係るフイラメ
ント取付構造を示す斜視図である。第２図は、バ
ケツト型イオン源の一例を示す概略断面図である
。第３図は、従来のフイラメント取付構造の一例
を示す斜視図である。 ２……プラズマ生成容器、４……電流導入端子
、６……フイラメント、２０……取付金具、２０
３……凹部、２２……押え板、２２１……ガイド
溝、２６……固定ねじ。
ント取付構造を示す斜視図である。第２図は、バ
ケツト型イオン源の一例を示す概略断面図である
。第３図は、従来のフイラメント取付構造の一例
を示す斜視図である。 ２……プラズマ生成容器、４……電流導入端子
、６……フイラメント、２０……取付金具、２０
３……凹部、２２……押え板、２２１……ガイド
溝、２６……固定ねじ。
Claims (1)
- イオン源のプラズマ生成容器内に挿入固定され
た電流導入端子に熱電子放出用のフイラメントを
取付ける構造において、前記電流導入端子の先端
部が入る凹部を有する取付金具を電流導入端子の
先端部に被せて取付け、そしてフイラメント用の
ガイド溝を有する押え板およびそれを前記取付金
具に締付ける固定ねじであつて共に金属製のもの
を用いて、押え板のガイド溝部と取付金具間にフ
イラメントの端部を挟み込んで固定するようにし
たことを特徴とするイオン源のフイラメント取付
構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987172461U JPH0177249U (ja) | 1987-11-11 | 1987-11-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987172461U JPH0177249U (ja) | 1987-11-11 | 1987-11-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0177249U true JPH0177249U (ja) | 1989-05-24 |
Family
ID=31464432
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987172461U Pending JPH0177249U (ja) | 1987-11-11 | 1987-11-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0177249U (ja) |
-
1987
- 1987-11-11 JP JP1987172461U patent/JPH0177249U/ja active Pending
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