JPH0177933U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0177933U JPH0177933U JP1987173284U JP17328487U JPH0177933U JP H0177933 U JPH0177933 U JP H0177933U JP 1987173284 U JP1987173284 U JP 1987173284U JP 17328487 U JP17328487 U JP 17328487U JP H0177933 U JPH0177933 U JP H0177933U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fixed substrate
- insulating fixed
- electrode portion
- sealing member
- load sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 10
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 4
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 2
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 2
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Pressure Sensors (AREA)
- Measuring Instrument Details And Bridges, And Automatic Balancing Devices (AREA)
Description
第１図は本考案による１実施例を示す側面図、
第２図は、第１図の分解斜視図であり、第３図は
恒弾性合金のヤング率の温特を示す図であり、第
４図は従来例の側面図、第５図は、第４図の分解
斜視図である。 １，１０１…絶縁性固定基板、２…恒弾性合金
よりなる可動基板、１０２…絶縁性可動基板、３
，１０３，１０３′…電極パターン、３１，１０
６，１０６′…リード線とり出しパターン、５，
１０７，１０７′…電極端子部、４，１０４…封
止部材、１０５…小孔。
第２図は、第１図の分解斜視図であり、第３図は
恒弾性合金のヤング率の温特を示す図であり、第
４図は従来例の側面図、第５図は、第４図の分解
斜視図である。 １，１０１…絶縁性固定基板、２…恒弾性合金
よりなる可動基板、１０２…絶縁性可動基板、３
，１０３，１０３′…電極パターン、３１，１０
６，１０６′…リード線とり出しパターン、５，
１０７，１０７′…電極端子部、４，１０４…封
止部材、１０５…小孔。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 絶縁性固定基板の一方の内側領域に電極部
分が形成され前記電極部分より前記絶縁性固定基
板の外側へ向かつてリード線取り出しパターンが
形成され、一方、金属よりなる可動基板が、所定
厚みを保つて封止部材によつて前記絶縁性固定基
板の面に対抗して設置され 前記絶縁性固定基板の電極部分はその中央部分
の電極材質が除去されていて、絶縁性固定基板の
下地面に露出していることを特徴とする静電容量
式荷重センサ。 (2) 前記封止部材は、電極部分の外側をリング
形状に取りまいてその一部分がカツトされた形状
である実用新案登録請求の範囲第１項記載の静電
容量式荷重センサ。 (3) 前記金属可動基板は恒弾性合金である実用
新案登録請求の範囲第１項記載の静電容量式荷重
センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987173284U JPH0542353Y2 (ja) | 1987-11-13 | 1987-11-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987173284U JPH0542353Y2 (ja) | 1987-11-13 | 1987-11-13 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0177933U true JPH0177933U (ja) | 1989-05-25 |
| JPH0542353Y2 JPH0542353Y2 (ja) | 1993-10-26 |
Family
ID=31465211
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987173284U Expired - Lifetime JPH0542353Y2 (ja) | 1987-11-13 | 1987-11-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0542353Y2 (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52114386A (en) * | 1976-03-22 | 1977-09-26 | Hewlett Packard Yokogawa | Fluid pressure converter |
| JPS5578228A (en) * | 1978-12-01 | 1980-06-12 | Besco Ind Inc | Power responsive motion transducer |
| JPS5654331A (en) * | 1979-09-21 | 1981-05-14 | Bosch Gmbh Robert | Volumetric pressure sensor |
-
1987
- 1987-11-13 JP JP1987173284U patent/JPH0542353Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52114386A (en) * | 1976-03-22 | 1977-09-26 | Hewlett Packard Yokogawa | Fluid pressure converter |
| JPS5578228A (en) * | 1978-12-01 | 1980-06-12 | Besco Ind Inc | Power responsive motion transducer |
| JPS5654331A (en) * | 1979-09-21 | 1981-05-14 | Bosch Gmbh Robert | Volumetric pressure sensor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0542353Y2 (ja) | 1993-10-26 |