JPH0197229U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0197229U JPH0197229U JP19202087U JP19202087U JPH0197229U JP H0197229 U JPH0197229 U JP H0197229U JP 19202087 U JP19202087 U JP 19202087U JP 19202087 U JP19202087 U JP 19202087U JP H0197229 U JPH0197229 U JP H0197229U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- load sensor
- fixed
- electrode
- capacitive load
- fixed substrate
- Prior art date
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- Granted
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- Pressure Sensors (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Description
第１図は本考案による静電容量式荷重センサの
１実施例を示す側面図、第２図は第１図の分解斜
視図、第３図は恒弾性合金の特性図、第４図は本
考案による他の実施例を示す側面図、第５図は、
第４図の斜視図、第６図は従来例を示す側面図、
第７図は第６図の分解斜視図である。 １，１ａ，１０１……絶縁性固定基板、２，２
ａ……可動基板（恒弾性合金）、１０２……絶縁
性可動基板、３，３ａ，１０３，１０３′……電
極部、３１，３１ａ，１０６，１０６′……電極
取出部、３２，１０７，１０７′……端子部、４
……スルホール部、４１……中空穴、５，１０４
……シール部材、１０５……中空穴、７……凸部
分、８……グリース、２１，２１ａ……段差部分
、２２，２２ａ……円周部分。
１実施例を示す側面図、第２図は第１図の分解斜
視図、第３図は恒弾性合金の特性図、第４図は本
考案による他の実施例を示す側面図、第５図は、
第４図の斜視図、第６図は従来例を示す側面図、
第７図は第６図の分解斜視図である。 １，１ａ，１０１……絶縁性固定基板、２，２
ａ……可動基板（恒弾性合金）、１０２……絶縁
性可動基板、３，３ａ，１０３，１０３′……電
極部、３１，３１ａ，１０６，１０６′……電極
取出部、３２，１０７，１０７′……端子部、４
……スルホール部、４１……中空穴、５，１０４
……シール部材、１０５……中空穴、７……凸部
分、８……グリース、２１，２１ａ……段差部分
、２２，２２ａ……円周部分。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 絶縁材よりなる固定基板上に形成された固
定電極と、これに対向して所定の間隔を保つて配
置された金属材料よりなる可動電極とよりなり、
前記固定電極の所定の位置から前記固定基板の裏
面に向けてスルホールを貫通せしめ、該スルホー
ルを介して前記固定電極を前記固定基板の裏面に
配線されたリード取り出しパターンに接続してな
る静電容量式荷重センサ。 (2) 前記スルホールは中空穴の側壁が導電体に
より被覆されてなる実用新案登録請求の範囲第１
項記載の静電容量式荷重センサ。 (3) 前記可動電極は恒弾性合金からなり前記固
定電極に対向する部分の領域に段差部分が加工さ
れている実用新案登録請求の範囲第１項又は第２
項記載の静電容量式荷重センサ。 (4) 前記固定基板外側円周部分であつて前記可
動電極の外形寸法より所定のクリアランス寸法を
加えた寸法位置に凸部領域を設けた実用新案登録
請求の範囲第１項乃至第３項記載の静電容量式荷
重センサ。 (5) 前記固定基板上の凸部分領域と前記可動電
極の周縁部との間隙に気密シール用のグリースを
塗布してなる実用新案登録請求の範囲第４項記載
の静電容量式荷重センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987192020U JPH086275Y2 (ja) | 1987-12-19 | 1987-12-19 | 静電容量式荷重センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987192020U JPH086275Y2 (ja) | 1987-12-19 | 1987-12-19 | 静電容量式荷重センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0197229U true JPH0197229U (ja) | 1989-06-28 |
| JPH086275Y2 JPH086275Y2 (ja) | 1996-02-21 |
Family
ID=31482898
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987192020U Expired - Lifetime JPH086275Y2 (ja) | 1987-12-19 | 1987-12-19 | 静電容量式荷重センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH086275Y2 (ja) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4885282A (ja) * | 1972-02-04 | 1973-11-12 | ||
| JPS5654331A (en) * | 1979-09-21 | 1981-05-14 | Bosch Gmbh Robert | Volumetric pressure sensor |
| JPS60233863A (ja) * | 1984-05-04 | 1985-11-20 | Fuji Electric Co Ltd | 静電容量式圧力センサ |
| JPS61272623A (ja) * | 1985-05-29 | 1986-12-02 | Fuji Electric Co Ltd | 静電容量式圧力センサ |
-
1987
- 1987-12-19 JP JP1987192020U patent/JPH086275Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4885282A (ja) * | 1972-02-04 | 1973-11-12 | ||
| JPS5654331A (en) * | 1979-09-21 | 1981-05-14 | Bosch Gmbh Robert | Volumetric pressure sensor |
| JPS60233863A (ja) * | 1984-05-04 | 1985-11-20 | Fuji Electric Co Ltd | 静電容量式圧力センサ |
| JPS61272623A (ja) * | 1985-05-29 | 1986-12-02 | Fuji Electric Co Ltd | 静電容量式圧力センサ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH086275Y2 (ja) | 1996-02-21 |