JPH0180966U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0180966U JPH0180966U JP1987177835U JP17783587U JPH0180966U JP H0180966 U JPH0180966 U JP H0180966U JP 1987177835 U JP1987177835 U JP 1987177835U JP 17783587 U JP17783587 U JP 17783587U JP H0180966 U JPH0180966 U JP H0180966U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- discharge
- corona
- close contact
- parallel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Lasers (AREA)
Description
第１図及び第２図は、それぞれ本考案の第１及
び第２の実施例に係る模式的な横断面図である。 １……励起回路、２……放電電極、３……開孔
電極、４……セラミツクス、５……フツ素系プラ
スチツク、６……コロナ電極、７……フツ素系プ
ラスチツク。
び第２の実施例に係る模式的な横断面図である。 １……励起回路、２……放電電極、３……開孔
電極、４……セラミツクス、５……フツ素系プラ
スチツク、６……コロナ電極、７……フツ素系プ
ラスチツク。
Claims (1)
- 空間を隔てて対向する第１及び第２の放電電極
からなる放電電極対と、前記放電電極対に光の誘
導放出を可能にする高速な高電圧を印加する励起
回路とを少くとも備え、前記第１及び第２の放電
電極は互いにほぼ平行な広い表面で対向し、前記
放電電極対のうちの少くとも第１の放電電極は開
孔電極であり、前記第１の放電電極は前記広表面
を腹面とするとき背面に相当する面が該腹面にほ
ぼ平行な板状の形をなし、前記第１の放電電極の
背面に誘電体が密着してあり、この誘電体には前
記第１の電極の背面に接する第１の表面に平行な
第２の表面があり、この第２の表面にコロナ電極
が設置してあるコロナ予備電離放電励起エキシマ
レーザ装置において、前記誘電体がセラミツクス
とフツ素系プラスチツクとを重ねてなり、前記セ
ラミツクスは、板状の形をなしていて片方の板面
が前記第１の電極の背面に密着しており、前記フ
ツ素系プラスチツクは片面が平らであつて、この
平らな片面は前記セラミツクスの他方の板面に密
着してあり、前記コロナ電極は前記フツ素プラス
チツクの前記片面に対向しその片面に平行な表面
に密着してあり、前記フツ素系プラスチツクの周
縁は前記コロナ電極の側面の全周を囲んでいるこ
とを特徴とするコロナ予備電離放電励起エキシマ
レーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17783587U JPH079404Y2 (ja) | 1987-11-20 | 1987-11-20 | コロナ予備電離放電励起エキシマレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17783587U JPH079404Y2 (ja) | 1987-11-20 | 1987-11-20 | コロナ予備電離放電励起エキシマレーザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0180966U true JPH0180966U (ja) | 1989-05-30 |
| JPH079404Y2 JPH079404Y2 (ja) | 1995-03-06 |
Family
ID=31469486
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17783587U Expired - Lifetime JPH079404Y2 (ja) | 1987-11-20 | 1987-11-20 | コロナ予備電離放電励起エキシマレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH079404Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-11-20 JP JP17783587U patent/JPH079404Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH079404Y2 (ja) | 1995-03-06 |
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