JPH0583200B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0583200B2 JPH0583200B2 JP63137507A JP13750788A JPH0583200B2 JP H0583200 B2 JPH0583200 B2 JP H0583200B2 JP 63137507 A JP63137507 A JP 63137507A JP 13750788 A JP13750788 A JP 13750788A JP H0583200 B2 JPH0583200 B2 JP H0583200B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- discharge
- auxiliary electrode
- dielectric
- power supply
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、例えばガスレーザにおける放電電
極の構造の改良に関するものである。
極の構造の改良に関するものである。
第５図は例えばレーザー学会研究会報告
（1986.12.12）「高繰返しエミシマレーザ」に記載
されたエキシマレーザ装置に用いられる従来の放
電電極部を示す断面図であり、図において、１は
一方の主電極であり、複数の開孔部を有する開孔
電極、２は補助電極、３は誘電体、４はもう一方
の主電極であり、主放電部５を挟んで開孔極１と
対向配置している。６はバネ、７は補助電極２の
密着面８は保持部材、９は給電端子、１０は給電
部である。
（1986.12.12）「高繰返しエミシマレーザ」に記載
されたエキシマレーザ装置に用いられる従来の放
電電極部を示す断面図であり、図において、１は
一方の主電極であり、複数の開孔部を有する開孔
電極、２は補助電極、３は誘電体、４はもう一方
の主電極であり、主放電部５を挟んで開孔極１と
対向配置している。６はバネ、７は補助電極２の
密着面８は保持部材、９は給電端子、１０は給電
部である。
まず、一連の放電動作について説明する。開孔
電極１と補助電極２にパルス状の電圧を印加する
と、開孔電極１の各々の開孔内部において誘電体
３の表面でコロナ放電が起こる。この放電により
開孔電極１の表面近傍に電子がバラまかれ、その
状態で開孔電極１ともう一方の主電極４との間に
高電圧を印加すると、バラまかれた電子を種とし
て、空間的に均一な主放電が形成される。この種
放電はレーザー媒質を励起するために使用され、
紙面と垂直方向にレーザ光が取り出される。
電極１と補助電極２にパルス状の電圧を印加する
と、開孔電極１の各々の開孔内部において誘電体
３の表面でコロナ放電が起こる。この放電により
開孔電極１の表面近傍に電子がバラまかれ、その
状態で開孔電極１ともう一方の主電極４との間に
高電圧を印加すると、バラまかれた電子を種とし
て、空間的に均一な主放電が形成される。この種
放電はレーザー媒質を励起するために使用され、
紙面と垂直方向にレーザ光が取り出される。
ここで、補助電極２と誘電体３との間にすき間
があると、そのすき間においてもコロナ放電が起
こり、この放電は誘電体を境として主放電場と反
対側で起こるので、主放電の種となる電子をバラ
まく操作に寄与せず、ムダな電力消費となる。し
たがつて、補助電極２と誘電体３は密着させる必
要がある。このため、従来は、補助電極２をバネ
６で押し上げ、補助電極の密着面７の高さが、保
持材８の面より若干飛び出す位に保持し、その上
から誘電体３をかぶせ、さらに開孔電極１を置く
ことにより、補助電極２と誘電体３の密着を実現
していた。この組立ての際、補助電極２が若干上
下することになるため、給電端子９もフレキシブ
ルなものである必要があり、金属の薄板を補助電
極２と給電部１０とに、それぞれネジで固定する
手法とがとられていた。
があると、そのすき間においてもコロナ放電が起
こり、この放電は誘電体を境として主放電場と反
対側で起こるので、主放電の種となる電子をバラ
まく操作に寄与せず、ムダな電力消費となる。し
たがつて、補助電極２と誘電体３は密着させる必
要がある。このため、従来は、補助電極２をバネ
６で押し上げ、補助電極の密着面７の高さが、保
持材８の面より若干飛び出す位に保持し、その上
から誘電体３をかぶせ、さらに開孔電極１を置く
ことにより、補助電極２と誘電体３の密着を実現
していた。この組立ての際、補助電極２が若干上
下することになるため、給電端子９もフレキシブ
ルなものである必要があり、金属の薄板を補助電
極２と給電部１０とに、それぞれネジで固定する
手法とがとられていた。
また、複数個のバネを所定位置（例えは紙面垂
直方向に複数個）に配設、保持するために、保持
材８と補助電極２の相方に各々ザグリ穴８０，２
０を設けていた。
直方向に複数個）に配設、保持するために、保持
材８と補助電極２の相方に各々ザグリ穴８０，２
０を設けていた。
従来の放電電極は以上のように構成されている
ので、構造が複雑であり、組立て等のメインテナ
ンスがきわめて繁雑である等の問題点があつた。
ので、構造が複雑であり、組立て等のメインテナ
ンスがきわめて繁雑である等の問題点があつた。
この発明は、上記のような問題点を解消するた
めにたされたもので、簡易な構造でメインテナン
スが容易な放電電極を得ることを目的とする。
めにたされたもので、簡易な構造でメインテナン
スが容易な放電電極を得ることを目的とする。
この発明に係る放電電極は、その補助電極を、
誘電体を挟んで開孔電極に対向配置すると共に、
誘電体と給電部とに圧接される弾力性を有する導
電材に構成したものである。
誘電体を挟んで開孔電極に対向配置すると共に、
誘電体と給電部とに圧接される弾力性を有する導
電材に構成したものである。
この発明における補助電極は、補助電極自身
が、誘電体に密着させるための保持機能と、給電
部の給電端子の機能をもつ構成となり、きわめて
簡易な構造で、メインテナンスが容易な放電電極
が得られる。
が、誘電体に密着させるための保持機能と、給電
部の給電端子の機能をもつ構成となり、きわめて
簡易な構造で、メインテナンスが容易な放電電極
が得られる。
以下、この発明の一実施例を図について説明す
る。第１図において、第５図と同一符号は同一又
は相当部分を表わす。
る。第１図において、第５図と同一符号は同一又
は相当部分を表わす。
図において、補助電極２は中空の導電材よりな
る管であり、肉厚を薄くして弾力性に富む構造と
なつている。給電部１０は保持材８上に配置さ
れ、この上に管構造の補助２が置かれ、この補助
電極２を若干変形させるようにして誘電体３、さ
らに開孔電極１が上記補助電極２と対向配置され
ている。補助電極自身が弾力性を有するため、バ
ネなどの保持手段が不要であり、簡易な構造が実
現されている。また、補助電極２は誘電体３と給
電部１０に圧接され、これら３，１０と直接密着
する構造となつているので給電端子９が不要であ
り、給電端子９を補助電極２と給電部１０にネジ
固定するなどの従来の繁雑な工程が不要できわめ
てメインテナンス性の良い構造となつている。
る管であり、肉厚を薄くして弾力性に富む構造と
なつている。給電部１０は保持材８上に配置さ
れ、この上に管構造の補助２が置かれ、この補助
電極２を若干変形させるようにして誘電体３、さ
らに開孔電極１が上記補助電極２と対向配置され
ている。補助電極自身が弾力性を有するため、バ
ネなどの保持手段が不要であり、簡易な構造が実
現されている。また、補助電極２は誘電体３と給
電部１０に圧接され、これら３，１０と直接密着
する構造となつているので給電端子９が不要であ
り、給電端子９を補助電極２と給電部１０にネジ
固定するなどの従来の繁雑な工程が不要できわめ
てメインテナンス性の良い構造となつている。
また、上記実施例では、補助電極として中空の
管構造を用いたが、第２図ａ，ｂに示すように、
管の長手方向に直交する断面において、管の１部
を切断して、さらに弾力性を高める構造や、第３
図および第４図ａ，ｂに示すように、上記断面に
おいて、Ｓ字形構造を有する板バネの構造を取り
入れたものであつても良い。
管構造を用いたが、第２図ａ，ｂに示すように、
管の長手方向に直交する断面において、管の１部
を切断して、さらに弾力性を高める構造や、第３
図および第４図ａ，ｂに示すように、上記断面に
おいて、Ｓ字形構造を有する板バネの構造を取り
入れたものであつても良い。
以上のように、この発明によれば放電部を挟ん
で相対向し、一方が複数の開孔部を有する開孔電
極よりなる一対の主電極、上記開孔電極の上記放
電部と反対側の面に設けられた誘電体、及びこの
誘電体を挟んで上記開孔電極に対向配置すると共
に、上記誘電体と給電部とに圧接され、弾力性を
有する導電材よりなる補助電極により放電電極を
構成したので、簡易な構造でメインテナンスが容
易なものが得られる効果がある。
で相対向し、一方が複数の開孔部を有する開孔電
極よりなる一対の主電極、上記開孔電極の上記放
電部と反対側の面に設けられた誘電体、及びこの
誘電体を挟んで上記開孔電極に対向配置すると共
に、上記誘電体と給電部とに圧接され、弾力性を
有する導電材よりなる補助電極により放電電極を
構成したので、簡易な構造でメインテナンスが容
易なものが得られる効果がある。
第１図はこの発明の一実施例による放電電極の
主要部を示す断面図、第２図ａ，ｂ、第３図及び
第４図ａ，ｂは各々この発明の他の実施例に係る
補助電極の構造を示す断面図、並びに第５図は従
来の放電電極を示す断面図である。 図において、１は開孔電極、２は補助電極、３
は誘電体、４はもう一方の主電極、５は放電部、
１０は給電部である。なお、図中、同一符号は同
一又は相当部分を示す。
主要部を示す断面図、第２図ａ，ｂ、第３図及び
第４図ａ，ｂは各々この発明の他の実施例に係る
補助電極の構造を示す断面図、並びに第５図は従
来の放電電極を示す断面図である。 図において、１は開孔電極、２は補助電極、３
は誘電体、４はもう一方の主電極、５は放電部、
１０は給電部である。なお、図中、同一符号は同
一又は相当部分を示す。
Claims (1)
- １ 放電部を狭んで相対向し、一方が複数の開孔
部を有する開孔電極よりなる一対の主電極、上記
開孔電極の上記放電部と反対側の面に設けられた
誘電体、及びこの誘電体を狭んで上記開孔電極に
対向配置すると共に、上記誘電体と給電部とに圧
接され、弾力性を有する導電材よりなる補助電極
を備えた放電電極。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13750788A JPH01307284A (ja) | 1988-06-06 | 1988-06-06 | 放電電極 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13750788A JPH01307284A (ja) | 1988-06-06 | 1988-06-06 | 放電電極 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01307284A JPH01307284A (ja) | 1989-12-12 |
| JPH0583200B2 true JPH0583200B2 (ja) | 1993-11-25 |
Family
ID=15200284
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13750788A Granted JPH01307284A (ja) | 1988-06-06 | 1988-06-06 | 放電電極 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01307284A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CA2054756A1 (en) * | 1990-03-05 | 1991-09-06 | Shuntaro Watanabe | Discharge exciting excimer laser device |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5810872A (ja) * | 1981-07-14 | 1983-01-21 | Toshiba Corp | 太陽電池の製造方法 |
| JPS6191983A (ja) * | 1984-10-11 | 1986-05-10 | Mitsubishi Electric Corp | 放電励起短パルスレ−ザ装置 |
| JPS6231186A (ja) * | 1985-08-02 | 1987-02-10 | Mitsubishi Electric Corp | パルスレ−ザ発振器 |
-
1988
- 1988-06-06 JP JP13750788A patent/JPH01307284A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01307284A (ja) | 1989-12-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |