JPH0183187U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0183187U JPH0183187U JP1987179350U JP17935087U JPH0183187U JP H0183187 U JPH0183187 U JP H0183187U JP 1987179350 U JP1987179350 U JP 1987179350U JP 17935087 U JP17935087 U JP 17935087U JP H0183187 U JPH0183187 U JP H0183187U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- adsorbent
- temperature
- cryopanel
- low
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 claims 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229920000049 Carbon (fiber) Polymers 0.000 claims 1
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Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
第１図、第２図および第３図は本考案の実施例
を示し、第１図は第１実施例のクライオパネルを
裏面から見た部分斜視図、第２図は第２実施例に
おける第１図相当図、第３図はクライオポンプの
全体構成を示す断面図である。第４図は従来例に
おける第１図相当図である。 Ａ……クライオポンプ、２……ヘリウム冷凍機
、７，８……ヒートステーシヨン、９，１０……
クライオパネル、１１……吸着媒、１２……接着
剤。
を示し、第１図は第１実施例のクライオパネルを
裏面から見た部分斜視図、第２図は第２実施例に
おける第１図相当図、第３図はクライオポンプの
全体構成を示す断面図である。第４図は従来例に
おける第１図相当図である。 Ａ……クライオポンプ、２……ヘリウム冷凍機
、７，８……ヒートステーシヨン、９，１０……
クライオパネル、１１……吸着媒、１２……接着
剤。
Claims (1)
- 冷凍機２のヒートステーシヨン８に熱接触して
約２０Ｋ以下の温度に冷却されるクライオパネル
１０に低温吸着媒１１が接着され、この低温吸着
媒１１によりガスを吸着させて排気するようにし
たクライオポンプにおいて、上記吸着媒１１とし
て活性炭繊維が用いられていることを特徴とする
クライオポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987179350U JPH0183187U (ja) | 1987-11-24 | 1987-11-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987179350U JPH0183187U (ja) | 1987-11-24 | 1987-11-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0183187U true JPH0183187U (ja) | 1989-06-02 |
Family
ID=31470908
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987179350U Pending JPH0183187U (ja) | 1987-11-24 | 1987-11-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0183187U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS557973A (en) * | 1978-07-04 | 1980-01-21 | Alpha Eng Kk | Adsorbing panel |
-
1987
- 1987-11-24 JP JP1987179350U patent/JPH0183187U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS557973A (en) * | 1978-07-04 | 1980-01-21 | Alpha Eng Kk | Adsorbing panel |