JPH0183255U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0183255U JPH0183255U JP1987180292U JP18029287U JPH0183255U JP H0183255 U JPH0183255 U JP H0183255U JP 1987180292 U JP1987180292 U JP 1987180292U JP 18029287 U JP18029287 U JP 18029287U JP H0183255 U JPH0183255 U JP H0183255U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- beam detection
- sample
- detection element
- move
- Prior art date
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- Pending
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
第１図は本考案が適用された表面分析装置の一
実施例を示す構成図、第２図は同上装置における
電子線検出器を示す斜視図、第３図，は、そ
れぞれ同上装置の動作を示す説明図、及び第４図
は透過電子検出用試料ホルダの一例を示す図であ
る。 １…表面分析装置本体、２…電子銃、４…軸調
整コイル、５…対物絞部材、６…対物レンズ、７
…試料台、１０…電子線検出器、１１…駆動源、
１２，１３…歯車、１４，１５…支持部材、１６
，１７…電子線検出素子。
実施例を示す構成図、第２図は同上装置における
電子線検出器を示す斜視図、第３図，は、そ
れぞれ同上装置の動作を示す説明図、及び第４図
は透過電子検出用試料ホルダの一例を示す図であ
る。 １…表面分析装置本体、２…電子銃、４…軸調
整コイル、５…対物絞部材、６…対物レンズ、７
…試料台、１０…電子線検出器、１１…駆動源、
１２，１３…歯車、１４，１５…支持部材、１６
，１７…電子線検出素子。
Claims (1)
- 試料載置部の周囲を回り対偶関係をもつて移動
する２つの駆動部材のそれぞれに、試料面に対向
するように電子線検出素子を配設してなる表面分
析計用電子線検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987180292U JPH0183255U (ja) | 1987-11-25 | 1987-11-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987180292U JPH0183255U (ja) | 1987-11-25 | 1987-11-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0183255U true JPH0183255U (ja) | 1989-06-02 |
Family
ID=31471810
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987180292U Pending JPH0183255U (ja) | 1987-11-25 | 1987-11-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0183255U (ja) |
-
1987
- 1987-11-25 JP JP1987180292U patent/JPH0183255U/ja active Pending