JPH0485645U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0485645U JPH0485645U JP12972690U JP12972690U JPH0485645U JP H0485645 U JPH0485645 U JP H0485645U JP 12972690 U JP12972690 U JP 12972690U JP 12972690 U JP12972690 U JP 12972690U JP H0485645 U JPH0485645 U JP H0485645U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion
- thin film
- coated
- diamond thin
- implantation device
- Prior art date
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図はこの考案のイオン注入装置の質量分析
器の平面図、第２図は本考案の実施例２のフオー
クの斜視図である。第３図は従来のイオン注入装
置の平面図である。 １……ライナ、２……イオン源、２ａ……軽い
イオンビーム、２ｂ……重いイオンビーム、３…
…イオンビーム、４……分析電磁石、５……可変
スリツト、６……分析スリツト、７……ウエーハ
、８……ダイヤモンド薄膜、９……フオーク、１
０……イオン発生源、１１……ビームライン部、
１２……エンドステーシヨン、１３……質量分析
器。
器の平面図、第２図は本考案の実施例２のフオー
クの斜視図である。第３図は従来のイオン注入装
置の平面図である。 １……ライナ、２……イオン源、２ａ……軽い
イオンビーム、２ｂ……重いイオンビーム、３…
…イオンビーム、４……分析電磁石、５……可変
スリツト、６……分析スリツト、７……ウエーハ
、８……ダイヤモンド薄膜、９……フオーク、１
０……イオン発生源、１１……ビームライン部、
１２……エンドステーシヨン、１３……質量分析
器。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) イオン注入装置のイオンビームの通過する
内壁部にダイヤモンド薄膜をコーテイングしたこ
とを特徴とするイオン注入装置。 (2) イオン注入装置のウエーハと接触する部分
にダイヤモンド薄膜をコーテイングしたことを特
徴とするイオン注入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12972690U JP2513136Y2 (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | イオン注入装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12972690U JP2513136Y2 (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | イオン注入装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0485645U true JPH0485645U (ja) | 1992-07-24 |
| JP2513136Y2 JP2513136Y2 (ja) | 1996-10-02 |
Family
ID=31877117
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12972690U Expired - Lifetime JP2513136Y2 (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | イオン注入装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2513136Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1027565A (ja) * | 1996-07-11 | 1998-01-27 | Nissin Electric Co Ltd | イオン照射装置 |
-
1990
- 1990-11-30 JP JP12972690U patent/JP2513136Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1027565A (ja) * | 1996-07-11 | 1998-01-27 | Nissin Electric Co Ltd | イオン照射装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2513136Y2 (ja) | 1996-10-02 |