JPH0183328U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0183328U JPH0183328U JP1987178556U JP17855687U JPH0183328U JP H0183328 U JPH0183328 U JP H0183328U JP 1987178556 U JP1987178556 U JP 1987178556U JP 17855687 U JP17855687 U JP 17855687U JP H0183328 U JPH0183328 U JP H0183328U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resist
- nozzle
- dropper
- discharging
- coating apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 5
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
- 238000013022 venting Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例を示すレジスト塗布装
置の概略構成図、第２図は従来のレジスト塗布装
置の概略構成図、第３図は第１図のカツプ平面図
、第４図は本考案の他の実施例を示すノズルの拡
大図である。 １……被処理物、２……レジスト、３０……カ
ツプ、４０……容器、４１……逆止弁、４３……
ベロー、４４，４７……エアー弁、４５……ノズ
ル、４５ａ……ノズル先端部、４６……スポイト
、４８……圧縮部材、１４５ａ……ノズルキヤツ
プ。
置の概略構成図、第２図は従来のレジスト塗布装
置の概略構成図、第３図は第１図のカツプ平面図
、第４図は本考案の他の実施例を示すノズルの拡
大図である。 １……被処理物、２……レジスト、３０……カ
ツプ、４０……容器、４１……逆止弁、４３……
ベロー、４４，４７……エアー弁、４５……ノズ
ル、４５ａ……ノズル先端部、４６……スポイト
、４８……圧縮部材、１４５ａ……ノズルキヤツ
プ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 被処理物を所定の回転速度で回転させる回転
手段と、所定量のレジストを吸入、送出するレジ
スト供給手段と、このレジスト供給手段から供給
されたレジストを前記被処理物上に吐出するレジ
スト排出手段とを備えたレジスト塗布装置におい
て、 前記レジスト排出手段は、 前記レジスト供給手段に接続され前記レジスト
の粘度に応じた口径のレジスト吐出用のノズル先
端部を有するノズルと、 このノズルに取付けられ該ノズルに対して排出
圧を加える弾性体からなるスポイトと、 前記ノズル及びスポイトに接続されたエアー抜
き用のエアー弁と、 前記スポイトを所定速度で圧縮する圧縮部材と
を備えたことを特徴とするレジスト塗布装置。 ２ 前記ノズル先端部は、着脱自在構造である実
用新案登録請求の範囲第１項記載のレジスト塗布
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987178556U JPH0183328U (ja) | 1987-11-24 | 1987-11-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987178556U JPH0183328U (ja) | 1987-11-24 | 1987-11-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0183328U true JPH0183328U (ja) | 1989-06-02 |
Family
ID=31470166
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987178556U Pending JPH0183328U (ja) | 1987-11-24 | 1987-11-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0183328U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011204948A (ja) * | 2010-03-26 | 2011-10-13 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 処理液供給装置および処理液供給方法 |
-
1987
- 1987-11-24 JP JP1987178556U patent/JPH0183328U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011204948A (ja) * | 2010-03-26 | 2011-10-13 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 処理液供給装置および処理液供給方法 |
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