JPH0185326U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0185326U JPH0185326U JP1987178896U JP17889687U JPH0185326U JP H0185326 U JPH0185326 U JP H0185326U JP 1987178896 U JP1987178896 U JP 1987178896U JP 17889687 U JP17889687 U JP 17889687U JP H0185326 U JPH0185326 U JP H0185326U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shaped object
- disc
- pair
- transported
- disk
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Special Conveying (AREA)
Description
第１図は本考案に係る位置決め機構の１実施例
における作用効果の説明図である。第２図は上記
実施例における１対のハンドの斜視図、第３図は
上記１対のハンドの構成説明図である。第４図は
従来例の位置決め機構を示す模式図である。 １……ウエハ、４……板状部材、４ｌ……左ハ
ンド、４ｒ……右ハンド、５……円形穴、６……
底板。
における作用効果の説明図である。第２図は上記
実施例における１対のハンドの斜視図、第３図は
上記１対のハンドの構成説明図である。第４図は
従来例の位置決め機構を示す模式図である。 １……ウエハ、４……板状部材、４ｌ……左ハ
ンド、４ｒ……右ハンド、５……円形穴、６……
底板。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 円板状の被搬送物を搬送する手段に対して、該
円板状の中心点を位置決めして保持させる為の位
置決め機構において、 (a) 前記搬送手段に、円板状被搬送物を水平姿
勢ならしめてその両側から挾持する１対の挾持ハ
ンドを設け、 (b) 上記１対の挾持ハンドの内側に、前記円板
状被搬送物の半径と等しい半径を有する凹型円柱
面を形成し、 (c) 上記円柱面の下方に、前記円板状被搬送物
を載置して、その重量の一半を支承するための水
平面を設けたこと、を特徴とする、円板状被搬送
物の位置決め機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987178896U JPH0185326U (ja) | 1987-11-26 | 1987-11-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987178896U JPH0185326U (ja) | 1987-11-26 | 1987-11-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0185326U true JPH0185326U (ja) | 1989-06-06 |
Family
ID=31470492
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987178896U Pending JPH0185326U (ja) | 1987-11-26 | 1987-11-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0185326U (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5423082U (ja) * | 1977-07-14 | 1979-02-15 | ||
| JPS61136841A (ja) * | 1984-12-03 | 1986-06-24 | M T C:Kk | 半導体ウエハ−等の取出移送装置 |
| JPS61198644A (ja) * | 1985-02-27 | 1986-09-03 | Teru Saamuko Kk | ウエハの移し替え方法 |
-
1987
- 1987-11-26 JP JP1987178896U patent/JPH0185326U/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5423082U (ja) * | 1977-07-14 | 1979-02-15 | ||
| JPS61136841A (ja) * | 1984-12-03 | 1986-06-24 | M T C:Kk | 半導体ウエハ−等の取出移送装置 |
| JPS61198644A (ja) * | 1985-02-27 | 1986-09-03 | Teru Saamuko Kk | ウエハの移し替え方法 |