JPH0184436U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0184436U JPH0184436U JP1987180479U JP18047987U JPH0184436U JP H0184436 U JPH0184436 U JP H0184436U JP 1987180479 U JP1987180479 U JP 1987180479U JP 18047987 U JP18047987 U JP 18047987U JP H0184436 U JPH0184436 U JP H0184436U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafer
- tray
- storage plate
- frame body
- transfer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第１図乃至第７図は、本考案に係る半導体ウエ
ーハの移替装置の一実施例を示すもので、第１図
は側面図、第２図は平面図、第３図は搬送用トレ
ーの全体斜視図、第４図は第３図の縦断側面図、
第５図乃至第７図は上記装置の移替動作を説明す
るための縦断側面図である。第８図及び第９図は
夫々従来から利用されている搬送用トレー及び処
理キヤリアの全体斜視図である。 Ａ……移替装置、Ｂ……処理キヤリア、Ｗ……
半導体ウエーハ、２……収容部、３……保持溝、
１０……搬送用トレー、１２……枠体、１３……
収容板、１５……収容凹部、２１……押圧部材。
ーハの移替装置の一実施例を示すもので、第１図
は側面図、第２図は平面図、第３図は搬送用トレ
ーの全体斜視図、第４図は第３図の縦断側面図、
第５図乃至第７図は上記装置の移替動作を説明す
るための縦断側面図である。第８図及び第９図は
夫々従来から利用されている搬送用トレー及び処
理キヤリアの全体斜視図である。 Ａ……移替装置、Ｂ……処理キヤリア、Ｗ……
半導体ウエーハ、２……収容部、３……保持溝、
１０……搬送用トレー、１２……枠体、１３……
収容板、１５……収容凹部、２１……押圧部材。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 搬送用トレーに載置収容された方形状の半導体
ウエーハを、上記搬送用トレーの下方に配置され
、上記半導体ウエーハの隣接辺を保持する保持溝
を備えた処理キヤリアに移替える装置であつて、 上記搬送用トレーを、 枠体と、 枠体内に長手方向に沿う軸線を中心に回転可能
に配設され、上面に上記半導体ウエーハを水平に
載置し得る寸法で、かつ、上記軸線に対して一方
側の端面側に開口させた幅方向の収容凹部を有す
る収容板とで構成し、 上記収容板の裏面側を押圧して上記収容凹部の
開口が下方に向くように上記収容板を回転させる
押圧部材を配設したことを特徴とする半導体ウエ
ーハの移替装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987180479U JPH0184436U (ja) | 1987-11-26 | 1987-11-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987180479U JPH0184436U (ja) | 1987-11-26 | 1987-11-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0184436U true JPH0184436U (ja) | 1989-06-05 |
Family
ID=31471997
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987180479U Pending JPH0184436U (ja) | 1987-11-26 | 1987-11-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0184436U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021118332A (ja) * | 2020-01-29 | 2021-08-10 | 株式会社ディスコ | 観察用治具 |
-
1987
- 1987-11-26 JP JP1987180479U patent/JPH0184436U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021118332A (ja) * | 2020-01-29 | 2021-08-10 | 株式会社ディスコ | 観察用治具 |
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