JPH0185680U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0185680U JPH0185680U JP18083887U JP18083887U JPH0185680U JP H0185680 U JPH0185680 U JP H0185680U JP 18083887 U JP18083887 U JP 18083887U JP 18083887 U JP18083887 U JP 18083887U JP H0185680 U JPH0185680 U JP H0185680U
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- JP
- Japan
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- sample
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- jig
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- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 150000003377 silicon compounds Chemical class 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図ａは本考案の温度特性測定用治具の実施
例１を示す斜視図、第１図ｂは第１図ａのＡ―Ａ
線断面図、第２図ａは実施例２の温度特性測定用
治具を示す斜視図、第２図ｂは第２図ａのＢ―Ｂ
線断面図、第３図ａは従来の温度特性測定用治具
を示す斜視図、第３図ｂは第３図ａのＣ―Ｃ線断
面図である。 １……試料加熱用ユニツト、２……ソケツト、
３……電極、４……ソケツト支持部、５……フツ
ク、６……ヒータ線、７……溝、８……試料、９
……試料のリード、１０……シリコンコンパウン
ド、１１……ブロツク、１２……ビス、１３……
固定用金型、１４……配線、１５……加熱ヒータ
。
例１を示す斜視図、第１図ｂは第１図ａのＡ―Ａ
線断面図、第２図ａは実施例２の温度特性測定用
治具を示す斜視図、第２図ｂは第２図ａのＢ―Ｂ
線断面図、第３図ａは従来の温度特性測定用治具
を示す斜視図、第３図ｂは第３図ａのＣ―Ｃ線断
面図である。 １……試料加熱用ユニツト、２……ソケツト、
３……電極、４……ソケツト支持部、５……フツ
ク、６……ヒータ線、７……溝、８……試料、９
……試料のリード、１０……シリコンコンパウン
ド、１１……ブロツク、１２……ビス、１３……
固定用金型、１４……配線、１５……加熱ヒータ
。
Claims (1)
- 試料を加熱する試料加熱用ユニツトと、該ユニ
ツト上に設置した試料の電極端子に接触する電極
を設けたソケツトとの組合せからなることを特徴
とする温度特性測定用治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18083887U JPH0185680U (ja) | 1987-11-27 | 1987-11-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18083887U JPH0185680U (ja) | 1987-11-27 | 1987-11-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0185680U true JPH0185680U (ja) | 1989-06-07 |
Family
ID=31472343
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18083887U Pending JPH0185680U (ja) | 1987-11-27 | 1987-11-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0185680U (ja) |
-
1987
- 1987-11-27 JP JP18083887U patent/JPH0185680U/ja active Pending