JPH0187205U - - Google Patents

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JPH0187205U
JPH0187205U JP18391287U JP18391287U JPH0187205U JP H0187205 U JPH0187205 U JP H0187205U JP 18391287 U JP18391287 U JP 18391287U JP 18391287 U JP18391287 U JP 18391287U JP H0187205 U JPH0187205 U JP H0187205U
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ultrasonic sensor
film thickness
oscillating part
substrate
ultrasonic
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JP18391287U
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  • Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はこの考案のセンサの説明図、第２図Ａ
および第２Ｂはそれぞれ異なる圧電体による基板
のみからの反射波のスペクトルを示す図、第３図
は極小部の周波数と膜厚の関係を示す図、第４図
Ａおよび第４図Ｂはそれぞれ異なる膜厚と圧電体
による反射スペクトルを示す図、第５図は異なる
入射角における極小部の周波数と膜厚の関係を示
す図、第６図Ａおよび第６図Ｂはそれぞれ異なる
膜厚と入射角による反射スペクトルを示す図であ
る。 １０……被検体、１２……膜、１４……基板、
１６……超音波伝搬媒体、１７……遅延材、１８
，１９……圧電体（発振部用）、２０，２１……
圧電体（受振部用）、３０……ホルダー、５０…
…超音波センサ、５１，５２……発振部、５３，
５４……受振部。
補正 昭６３．５．２５ 図面の簡単な説明を次のように補正する。 明細書第１２頁第１０行目「第２Ｂ」を「第２
図Ｂ」と補正する。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 基板とこの基板上に形成された膜とを有する被
    検体の膜厚を測定するのに用いる超音波センサで
    あつて、発振部より超音波を被検体に対して発振
    し、その反射波を受振部で受振してそのスペクト
    ル分布より前記被検体の膜厚を測定する超音波セ
    ンサに於いて、前記発振部及び受振部を角度及び
    ／若しくは方向を変えて複数組設けたことを特色
    とする超音波センサ。
JP18391287U 1987-12-02 1987-12-02 Pending JPH0187205U (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04315909A (ja) * 1991-04-15 1992-11-06 Toppan Printing Co Ltd 層厚測定方法
JP2020153810A (ja) * 2019-03-20 2020-09-24 三菱電機株式会社 液体検知方法および液体検知装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4835883A (ja) * 1971-09-09 1973-05-26
JPS6120803A (ja) * 1984-07-10 1986-01-29 Toppan Printing Co Ltd 膜厚測定方法

Patent Citations (2)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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