JPH0187268U - - Google Patents
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- JPH0187268U JPH0187268U JP18259587U JP18259587U JPH0187268U JP H0187268 U JPH0187268 U JP H0187268U JP 18259587 U JP18259587 U JP 18259587U JP 18259587 U JP18259587 U JP 18259587U JP H0187268 U JPH0187268 U JP H0187268U
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- substrate
- measuring means
- microscope
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 2
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の基板検査装置の要
部構成を示す説明図である。 １……電極端子、２……測定装置、３……測定
装置のプローブ、４……顕微鏡、５……顕微鏡の
視野、６……表示装置。
部構成を示す説明図である。 １……電極端子、２……測定装置、３……測定
装置のプローブ、４……顕微鏡、５……顕微鏡の
視野、６……表示装置。
Claims (1)
- 基板上に形成された電気回路の電気的な特性を
検査するための測定手段と、前記基板上の電極端
子および前記測定手段のプローブを目視するため
の顕微鏡と、前記顕微鏡の視野内に前記測定手段
の測定結果を表示する表示手段とを備えたことを
特徴とする基板検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18259587U JPH0187268U (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18259587U JPH0187268U (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0187268U true JPH0187268U (ja) | 1989-06-08 |
Family
ID=31474042
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18259587U Pending JPH0187268U (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0187268U (ja) |
-
1987
- 1987-11-30 JP JP18259587U patent/JPH0187268U/ja active Pending
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