JPH0187393U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0187393U JPH0187393U JP18407087U JP18407087U JPH0187393U JP H0187393 U JPH0187393 U JP H0187393U JP 18407087 U JP18407087 U JP 18407087U JP 18407087 U JP18407087 U JP 18407087U JP H0187393 U JPH0187393 U JP H0187393U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hollow member
- vacuum chuck
- shaft part
- rear end
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Joints Allowing Movement (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例に係る真空チヤツクス
ピンドルの一部分裁断した側面図、第２図は本考
案の実施例の組み付け状態を示す分解縦断面図、
第３図は本考案の他の実施例に係るノズル状中空
部材の縦断面図、第４図は本考案のさらに他の実
施例に係るノズル状中空部材の縦断面図である。 １……回転軸部、２……貫通孔、３……ハウジ
ング、７……モータ固定子、８……モータ回転子
、９……ノズル状中空部材、９ａ……ノズル部、
９ｂ……後端部、９ｃ……フランジ部。
ピンドルの一部分裁断した側面図、第２図は本考
案の実施例の組み付け状態を示す分解縦断面図、
第３図は本考案の他の実施例に係るノズル状中空
部材の縦断面図、第４図は本考案のさらに他の実
施例に係るノズル状中空部材の縦断面図である。 １……回転軸部、２……貫通孔、３……ハウジ
ング、７……モータ固定子、８……モータ回転子
、９……ノズル状中空部材、９ａ……ノズル部、
９ｂ……後端部、９ｃ……フランジ部。
Claims (1)
- 先端に真空チヤツクが装着され軸中心に貫通孔
が形成された回転軸部と、前記軸部の後端内径部
に極少のラビリンス〓間で挿入された摺動性のあ
る中空部材とを有し、前記中空部材が真空発生装
置に連結されることを特徴とするシール継手付き
真空チヤツクスピンドル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18407087U JPH0187393U (ja) | 1987-12-02 | 1987-12-02 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18407087U JPH0187393U (ja) | 1987-12-02 | 1987-12-02 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0187393U true JPH0187393U (ja) | 1989-06-09 |
Family
ID=31475456
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18407087U Pending JPH0187393U (ja) | 1987-12-02 | 1987-12-02 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0187393U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5510717U (ja) * | 1978-07-06 | 1980-01-23 | ||
| JPS61621U (ja) * | 1984-06-06 | 1986-01-06 | 株式会社リコー | 入出力装置 |
-
1987
- 1987-12-02 JP JP18407087U patent/JPH0187393U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5510717U (ja) * | 1978-07-06 | 1980-01-23 | ||
| JPS61621U (ja) * | 1984-06-06 | 1986-01-06 | 株式会社リコー | 入出力装置 |