JPH0188619U - - Google Patents

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JPH0188619U
JPH0188619U JP18298687U JP18298687U JPH0188619U JP H0188619 U JPH0188619 U JP H0188619U JP 18298687 U JP18298687 U JP 18298687U JP 18298687 U JP18298687 U JP 18298687U JP H0188619 U JPH0188619 U JP H0188619U
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JP
Japan
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gate valve
swing
processing apparatus
vacuum processing
rotation range
Prior art date
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JP18298687U
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  • Intermediate Stations On Conveyors (AREA)
  • Specific Conveyance Elements (AREA)
  • Lift Valve (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例の要部を示す概略断
面図、第２図は従来の搬送装置の一例を示す概略
断面図である。 図中、１，２：真空処理室、３：仕切壁、３ａ
：開口、４：スイング型の仕切弁、５，９：コン
ベア、６：揺動可能なコンベア部分、８：上下駆
動機構、１０：搬送物。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. スイング型の仕切弁を挟んで被処理物の受渡し
    を行なうようにした搬送機構を備えた真空処理装
    置において、上記スイング型の仕切弁の前後に設
    けられた各搬送機構の端部分が上記仕切弁に近接
    した位置までのび、上記仕切弁の開閉操作時の回
    動範囲に位置する上記仕切弁の回動側に位置した
    搬送機構の部分を、搬送位置と上記仕切弁の回動
    範囲外の退避位置との間で移動できるように構成
    したことを特徴とする真空処理装置における搬送
    装置。
JP18298687U 1987-12-02 1987-12-02 Pending JPH0188619U (ja)

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JP18298687U JPH0188619U (ja) 1987-12-02 1987-12-02

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JPH0188619U true JPH0188619U (ja) 1989-06-12

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