JPH0245136U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0245136U JPH0245136U JP12504488U JP12504488U JPH0245136U JP H0245136 U JPH0245136 U JP H0245136U JP 12504488 U JP12504488 U JP 12504488U JP 12504488 U JP12504488 U JP 12504488U JP H0245136 U JPH0245136 U JP H0245136U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exhaust path
- closing
- fully
- stop valve
- opening
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
Landscapes
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例による真空排気装置
を示す構成図、第２図ａはバタフライ弁の駆動装
置の一例を示す図、第２図ｂは該駆動装置の一部
を詳細に示す図、第３図は従来の真空排気装置の
一例を示す構成図、第４図は従来の真空排気装置
の他の例を示す構成図である。 Ａ……粗引きライン、Ｂ……本引きライン、１
……粗引きポンプ、３ａ……ストツプバルブ、４
……バタフライ弁。
を示す構成図、第２図ａはバタフライ弁の駆動装
置の一例を示す図、第２図ｂは該駆動装置の一部
を詳細に示す図、第３図は従来の真空排気装置の
一例を示す構成図、第４図は従来の真空排気装置
の他の例を示す構成図である。 Ａ……粗引きライン、Ｂ……本引きライン、１
……粗引きポンプ、３ａ……ストツプバルブ、４
……バタフライ弁。
Claims (1)
- 真空ポンプによりチエンバ内を真空排気する装
置において、前記チエンバと粗引き用真空ポンプ
との間の排気路に、排気路の全開、全閉を行うス
トツプ弁と、閉塞が微小隙間を残す閉位置及び全
開位置の２位置に制御可能なバタフライ弁とを直
列に接続させるとともに、前記バタフライ弁を閉
位置と全開位置に作動させる駆動手段を備えたこ
とを特徴とする真空排気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988125044U JPH0719554Y2 (ja) | 1988-09-24 | 1988-09-24 | 真空排気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988125044U JPH0719554Y2 (ja) | 1988-09-24 | 1988-09-24 | 真空排気装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0245136U true JPH0245136U (ja) | 1990-03-28 |
| JPH0719554Y2 JPH0719554Y2 (ja) | 1995-05-10 |
Family
ID=31375300
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988125044U Expired - Lifetime JPH0719554Y2 (ja) | 1988-09-24 | 1988-09-24 | 真空排気装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0719554Y2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5967619A (ja) * | 1982-10-12 | 1984-04-17 | Kokusai Electric Co Ltd | 減圧容器を有する半導体製造装置の圧力制御装置 |
| JPH026835A (ja) * | 1988-06-24 | 1990-01-11 | Fujitsu Ltd | 制御機能付きバルブ及び減圧室の排気方法 |
-
1988
- 1988-09-24 JP JP1988125044U patent/JPH0719554Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5967619A (ja) * | 1982-10-12 | 1984-04-17 | Kokusai Electric Co Ltd | 減圧容器を有する半導体製造装置の圧力制御装置 |
| JPH026835A (ja) * | 1988-06-24 | 1990-01-11 | Fujitsu Ltd | 制御機能付きバルブ及び減圧室の排気方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0719554Y2 (ja) | 1995-05-10 |