JPH0189735U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案のスピンナー装置の概略を示
す断面説明図であり、第２図ａおよび第２図ｂは
、従来技術による基板の取り付け方法を示す断面
説明図である。第３図ａおよび第３図ｂは、本考
案のスピンナー装置のテーブルの説明図であり、
それぞれ、底面および側面から見た説明図である
。第４図は基板の説明図であり、斜線部がパター
ンの形成されうる有効領域である。 １……基台、２……裏打ち材、３……テーブル
、４……ＰＥＥＫネジ、５……吸気孔、６……吸
気溝、７……基板、８……スピンドル、９……ね
じ穴、１０……基板。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 中心部に吸気孔を設けた基台の上面部には
   凹所が設けられており、該凹所内には該吸気孔と
   一致する位置に穴のあいた皿状の裏打ち材、およ
   び上面が平滑で下部に外周方向から中心部に向か
   つた吸気溝が設けられたテーブルが載置されたこ
   とを特徴とするスピンナー装置。 (2) 基台およびテーブルが、合成樹脂もしくは
   ゴムよりなることを特徴とする実用新案登録請求
   の範囲第１項記載のスピンナー装置。 (3) テーブルが、３mm以上の厚みを有すること
   を特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載
   のスピンナー装置。