JPH024674U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH024674U JPH024674U JP8325588U JP8325588U JPH024674U JP H024674 U JPH024674 U JP H024674U JP 8325588 U JP8325588 U JP 8325588U JP 8325588 U JP8325588 U JP 8325588U JP H024674 U JPH024674 U JP H024674U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- substrate support
- support member
- circular
- recess
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 3
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 claims 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
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- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Description
第１図ないし第４図は本考案の第１実施例に係
り、第１図は縦断側面図、第２図は平面図、第３
図は一部切り欠き斜視図、第４図は塗布状態を示
す要部拡大断面図、第５図は第１実施例の変形例
を示す縦断側面図、第６図は第２実施例の縦断側
面図、第７図はその分解斜視図、第８図は第２実
施例の変形例を示す縦断側面図である。また、第
９図は従来例の縦断側面図である。 １……回転テーブル、３……基板支持部材、４
……基板、５……凹部、６……基板支持面、８…
…吸着チヤツク、ａ……基板の下側角縁。
り、第１図は縦断側面図、第２図は平面図、第３
図は一部切り欠き斜視図、第４図は塗布状態を示
す要部拡大断面図、第５図は第１実施例の変形例
を示す縦断側面図、第６図は第２実施例の縦断側
面図、第７図はその分解斜視図、第８図は第２実
施例の変形例を示す縦断側面図である。また、第
９図は従来例の縦断側面図である。 １……回転テーブル、３……基板支持部材、４
……基板、５……凹部、６……基板支持面、８…
…吸着チヤツク、ａ……基板の下側角縁。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 回転テーブルの上面に非円形基板を略面一
状に嵌め入れる凹部を形成するとともに、この凹
部内に基板を吸引保持する吸着チヤツクを備え、
かつ、前記凹部の少なくとも周壁部を弾性材から
なる基板支持部材で構成するとともに、この基板
支持部材の内周辺には基板の下側角縁に当接する
傾斜状の基板支持面を形成してある非円形基板の
回転塗布装置。 (2) 請求項(1)に記載の非円形基板の回転塗布装
置において、基板支持部材と回転テーブルとは別
部材からなり、回転テーブルに基板支持部材を保
持する保持手段を具備する非円形基板の回転塗布
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8325588U JPH024674U (ja) | 1988-06-23 | 1988-06-23 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8325588U JPH024674U (ja) | 1988-06-23 | 1988-06-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH024674U true JPH024674U (ja) | 1990-01-12 |
Family
ID=31307980
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8325588U Pending JPH024674U (ja) | 1988-06-23 | 1988-06-23 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH024674U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05169003A (ja) * | 1991-12-20 | 1993-07-09 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 塗布装置 |
| JP2002143735A (ja) * | 2000-11-13 | 2002-05-21 | Honda Lock Mfg Co Ltd | 車両用ミラーのコーティング装置 |
| JP2006095366A (ja) * | 2004-09-28 | 2006-04-13 | Central Glass Co Ltd | 塗布装置および塗布方法 |
-
1988
- 1988-06-23 JP JP8325588U patent/JPH024674U/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05169003A (ja) * | 1991-12-20 | 1993-07-09 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 塗布装置 |
| JP2002143735A (ja) * | 2000-11-13 | 2002-05-21 | Honda Lock Mfg Co Ltd | 車両用ミラーのコーティング装置 |
| JP2006095366A (ja) * | 2004-09-28 | 2006-04-13 | Central Glass Co Ltd | 塗布装置および塗布方法 |