JPH019167Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案はIC，LSI、超LSIに使用される半導体
基板の製造工程中、ウエハキヤリヤに収容された
ウエハの中から任意の１枚又は複数枚を取り出
し、石英ボートの溝や測定装置に移し替えする際
に使用するウエハ移し替え用つき上げ装置に関す
るものである。

従来の技術 従来のウエハ移し替え用つき上げ装置は第６図
及び第７図に示すごとく、各つき上げ板９の下部
両側端部に係合部１８を設け、これらに対応した
押え部材としての下部エアシリンダ１１が下部フ
レーム１２に水平に配設されている。

つき上げ板９をつき上げる場合にはこれに対応
する下部エアシリンダ１１に送気して係止部１３
を突出させ、そのつき上げ板９の両側端部の係合
部１８に係合させたのち、下部フレーム１２をモ
ータ（図示せず）により上昇させて、目的とする
つき上げ板９をつき上げていた。

又、装置の基板Ａの上面には各エアシリンダ１
１に対応した光センサ受発光部１４が設けられて
おり、その発光部から上方の下部エアシリンダ１
１に向けて発光させて係止部１３からの反射光の
有無を検出することによりつき上げ板９のつき上
げ状況を識別していた。

考案が解決しようとする問題点 したがつて、従来の装置においてはつき上げ板
をつき上げる都度、つき上げ板とエアシリンダと
の衝突・摩擦を生じるので、エアシリンダの耐久
性に欠けていた。

又、つき上げ板のつき上げ状況の検出は、上昇
した下部エアシリンダからの反射光の有無をセン
サにより検出することにより間接的に行つている
が、センサからの光を受光・反射するエアシリン
ダの係止部は外径が細く、かつ突出する距離も僅
か数mm程度であるので、係止部の摩耗やエアシリ
ンダの動作不良により、測定ミスを発生する恐れ
があつた。

本考案の目的は上記従来技術の問題点を解決
し、つき上げ板とエアシリンダとの衝突・摩耗が
生せず、耐久性があり、かつつき上げ板の位置の
検出が簡単で、測定ミスが生ずる恐れのないよう
にすることである。

問題点を解決するための手段 本考案は第１図に示すように各つき上げ板１ご
とその側方に、エアシリンダ２を垂直に並設し、
各つき上げ板１とその側方に設けたエアシリンダ
２を、つき上げ板１の下端部に設けた接続板６と
エアシリンダ２のシリンダロツド３を介して互に
接続するとともに、各エアシリンダ２の側壁にエ
アシリンダ２内のピストン１７の位置を検出する
ためのセンサ１０ａ，１０ｂを設けたものであ
る。

作 用 上記の構成とすることにより、いま任意のつき
上げ板１をつき上げる場合はそのつき上げ板１に
対応するエアシリンダ２に送気すると、そのエア
シリンダ２内のピストン１７が上昇し上限の位置
に停止する。

これによりシリンダロツド３及び接続板６を介
して接続されているつき上げ板１もピストン１７
の上昇に伴ないこれを連動して上昇し、ピストン
１７の停止に伴つて停止する。

又、つき上げ板１を下降させるにはエアシリン
ダ２を排気することによりピストン１７は下降
し、下限の位置にて停止する。これに伴なつてつ
き上げ板１も下降、停止する。

したがつて上記エアシリンダ２の側壁に設けた
センサ１０ａ，１０ｂによりエアシリンダ２内の
ピストン１７の位置を検出することにより、これ
に対応するつき上げ板１がつき上げられているか
否かを検出することが出来る。

実施例 この考案を添付図面の実施例により説明する
と、第１図のように上部にウエハホルダ４を挿着
した複数枚のつき上げ板１を、垂直かつ等間隔に
並列し、それらの各つき上げ板１の側方に一定の
距離ｌを置いてエアシリンダ２が垂直、かつ等間
隔に、左右互い違いに並設されている。

又、つき上げ板１とこれに対応するエアシリン
ダ２は、つき上げ板１の下端部に設けた接続板６
とエアシリンダ２のシリンダロツド３の先端部を
螺合することにより結合されている。

又、各エアシリンダ２の側壁の上部および下部
にはピストン１７の位置を検出するためのセンサ
１０ａ，１０ｂが設けられている。このセンサ１
０ａ，１０ｂには無接点スイツチの一種である磁
気形近接スイツチを用いる。

上記の構成としたので、エアシリンダ２に送気
或は排気することにより、シリンダロツド１７が
上昇又は下降し、これに連動してつき上げ板１も
上昇或は下降する。

さらに又ピストン１７が上昇してエアシリンダ
２の上部側の磁気形近接スイツチ１０ａに近接す
ると、該スイツチ１０ａが作動し、導線２３ａを
通して電気信号を識別装置（図示せず）に伝える
ことにより、つき上げ板１のつき上げ状況を検出
することが出来る。

同様にピストン１７が下降して停止した場合は
エアシリンダ側壁の下部側に設けられた磁気形近
接スイツチ１０ｂが作動し、導線２３ｂを通して
電気信号を識別装置に伝えることにより、つき上
げ板１がつき上げられていないことが検出でき
る。

又、第２図及び第３図に示すごとく、つき上げ
板１の両側端部５の横断面形状を60゜の角度を持
つ刃形とし、これと係合するガイドローラ１９の
溝も第４図に示すごとく同角度のＶ字形とすると
ともに、ガイドローラ１９の固定方法としてつき
上げ板１の何れか一方の側のガイドローラ１９は
スプリングダンパー２４を介して固定されてい
る。

これにより、従来のつき上げ板９の両側端部２
２がＬ形であつたため、両接触部の摩耗により、
つき上げ板９の傾きやつき上げの際に起る「ガタ
ツキ」を防ぐことが出来る。

さらに又、第２図に示すように、つき上げ板１
の板面上部側２０は凹形とし、又ウエハホルダ４
の下端部は、上記凹形に適合した凸形の突出部２
１を設けることにより、ワンタツチで容易にウエ
ハホルダ４をつき上げ板１に取付けることが出来
る。

又つき上げ板１の板面下端部に鍵形の切り欠き
部７を設け、これに接続する接続板６の上部に、
切り欠き部７に嵌合し得る形状の鍵形の突出部８
を設けることにより、接続板６をつき上げ板１に
ワンタツチで極めて容易に接続することが出来
る。

考案の効果 各つき上げ板ごとにその側方にエアシリンダを
垂直に並設し、つき上げ板とエアシリンダとをつ
き上げ板の下端部に設けた接続板とエアシリンダ
のシリンダロツドを介して接続することにより、
つき上げ板の係合部とエアシリンダの係止部を廃
し、両部分の衝突・摩耗を生じないようにしたの
でエアシリンダの耐久性を増大するとともに、つ
き上げ板１枚に必要なエアシリンダ数が従来の４
ケから１ケに減少できる外、エアシリンダを配設
した上部及び下部フレームならびに下部フレーム
の上昇・下降用モータも不要となるので、装置の
簡素化・小型化が出来る。

又各エアシリンダの側壁にピストンの位置を検
出するセンサを設けることにより、従来例のよう
に係止部の摩耗やエアシリンダの動作不良による
測定ミスを生じることがなく、つき上げ状況の検
出の信頼性を増すことが出来る。

さらに又、つき上げ板の両側端部の横断面形状
を刃形とし、これに係合するガイドローラの溝の
形状をＶ字形とすることにより、従来の装置のつ
き上げのさいに見られたつき上げ板の傾斜や、上
昇・下降の際の「ガタツキ」を防止することが出
来る。

又つき上げ板の板面上部側を凹形の溝穴とし、
ウエハホルダの下端部にこれに対応した〓形の突
出部を設け、さらにつき上げ板の板面下部側に鍵
形の切り欠き部を設け、接続板の上部にも鍵形の
突出部を設けることにより、ウエハホルダ及び接
続板をワンタツチで容易につき上げ板に接続する
ことが出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の原理図、第２図はつき上げ板
とウエハホルダ及び接続板との接続状況を示す斜
視図、第３図は第２図の−線矢視断面図、第
４図はつき上げ板とガイドローラとの係合状況を
示し、第５図は従来の装置におけるつき上げ板と
ガイドローラとの係合状況を示し、第６図は従来
の装置の斜視図、第７図は第６図の−矢視方
向の要部断面図である。 １……つき上げ板、２……エアシリンダ、３…
…シリンダロツド、４……ウエハホルダ、５……
つき上げ板両側端部、６……接続板、７……鍵形
の切り欠き部、８……接続板の上部突出部、１０
ａ，１０ｂ……センサ、１７……ピストン、１９
……ガイドローラ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 上部にウエハホルダ４を設けた複数枚のつき
   上げ板１を互に等間隔かつ垂直に並設し、それ
   らの各つき上げ板１ごとに、その側方にエアシ
   リンダ２を垂直に並設し、つき上げ板１とエア
   シリンダ２とを、つき上げ板１の下端部に設け
   た接続板６とエアシリンダ２のシリンダロツド
   ３を介して互に接続するとともに、各エアシリ
   ンダ２の側壁にピストン１７の位置を検出する
   センサ１０ａ，１０ｂを設けたことを特徴とす
   るウエハ移し替え用つき上げ装置。 ２ 各エアシリンダのピストン１７の位置を検出
   するセンサ１０ａ，１０ｂがエアシリンダ２の
   側壁の上部と下部に設けられた無接点式スイツ
   チであることを特徴とする実用新案登録請求の
   範囲第１項記載のウエハ移し替え用つき上げ装
   置。 ３ つき上げ板１がその両側端部５の横断面形状
   を刃形となし、これに係合するガイドローラ１
   ９の固定を一側方はスプリング式ダンパー２４
   を介して固定したことを特徴とする実用新案登
   録請求の範囲第１項記載のウエハ移し替え用つ
   き上げ装置。 ４ つき上げ板１がその板面上部側２０を凹形の
   溝穴とし、ウエハホルダ４がその下端部には上
   記凹形に適合した〓形の突出部２１を設けたこ
   とを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項
   記載のウエハ移し替え用つき上げ装置。 ５ つき上げ板１がその板面下端部に鍵形の切り
   欠き部７を設け、接続板６がその上部に上記切
   り欠き部７に嵌合する形状の突出部８を設けた
   ことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１
   項記載のウエハ移し替え用つき上げ装置。