JPH0124669Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案はキヤリヤカセツト（以下カセツトと称
す）内に収容したウエハの枚数を計測するための
ウエハカウンタに関する。

従来のウエハカウンタ装置、例えば出願番号58
−20144、58.12.29は第７図に示すように駆動モ
ータにより上下する長方形の２枚の平板３b′が並
設されており、該平板３b′の空間部をａ〜a′の方
向に水平に往復移動する光センサ受発光装置を設
け平板３b′の上にウエハ７を収容したカセツト８
を載置し、上記のセンサ受発光部１′を移動する
ことにより、カセツト８内に収容したウエハ７の
カウント作業を行なうものである。

しかし、この装置ではセンサ受発光部が１個で
あり、キヤリヤの直下、前記平板の空間部ａ〜
a′を往復移動するため、カウントの速度アツプは
制限される。

本考案はセンサ受発光部を各ウエハ収容溝に対
応して設けることにより、センサ受発光部を移動
することなく、ウエハのカウントができるように
してカウント時間を短縮することを目的としたも
のである。

本考案は複数のセンサ受発光部１（以下受発光
部と称す）を等間隔かつ一列に配設し、該受発光
部を挾んで両側に互に対応するウエハ収容溝を有
する部材を並設するとともに、両側のウエハ収容
溝の底面を含む面と受発光部との間に空間部１２
を設け、受発光部と上記の部材とを固着すること
により、受発光部の往復運動を不要となし、カセ
ツト内ウエハのカウント速度をアツプすることが
出来るようにした。

本考案を実施例により説明すると、第１図に示
すように複数の受発光部１を等間隔かつ一列に配
設し、該受発光部１を挾んで上下に対応する部材
としてテフロン又はダイフロン製の側板３ａを設
ける。又センサ増幅器を内蔵した函体４と側板３
ａとの間にアルミ板５を介在させ、ウエハ収容溝
２の底面１１を含む面と受発光部１の頭部との間
に空間部１２を設けて受発光部１及び側板３ａ並
びに函体４等を互に固着する。さらに上記側板３
ａに対応する部材として側板３a′を設け、両側板
３ａ，３a′にチヤツク機能を設ける。

今、第５図に示すようにキヤリヤ８内に収容さ
れたウエハ７を移し換え用つき上げ装置によりつ
き上げ、つき上げたウエハ７を第１図に示すウエ
ハカウンタの両側３ａ及び３a′を作動させ、ウエ
ハ収容溝２に収容し把持する。ウエハを両側板３
ａ，３a′により把持、即ちチヤツクすると、同時
にチヤツクされたウエハに対し、側板３ａに設け
た受発光部１より光をグループ別に順次発光す
る。発光方法は隣接するウエハとの光の干渉を避
けるため、第６図に示すようにグループ別に分け
たスキヤンニング方式とする。（第６図参照…受
発光部が25ケ設けられた場合の例）発光されると
ウエハ溝２に収容されるウエハ７の有無により受
発光部１への受光量が変化する。この変化の状況
を受発光部１が増幅器および接続コード６を介し
て接続した識別装置（図示省略−公知のもの）に
より判別することにより、ウエハ収容溝２ごとの
ウエハ収容の有無及び枚数を計測することが出来
る。

この装置を使用することにより、受発光部の移
動が不必要となるばかりでなく、側板３ａ及び３
a′によりウエハがチヤツクされることにより、第
３図に示すようにチヤツクされたウエハ７の周縁
部端面１１と受発光部１の頭部との距離ｌが常に
一定となり又ウエハ７と測板３ａ，３a′は完全に
係合、各ウエハは平行かつ等間隔となるので、従
来のウエハカウンタを使用する場合のウエハアラ
イナー装置及び押し上げ板によるウエハの突き上
げが不要となり、カウント作業のスピードのアツ
プが図れる。（出願番号58−201044ウエハカウン
タ参照） 第４図はウエハ溝を有する部材として他の実施
例を示すもので複数の受発光部１を等間隔かつ一
列に設け、その両側に互に対応するウエハ収容溝
２を有する上記部材として、昇降装置に連結され
上下動が可能なテフロン又はダイフロン製の平板
３ｂを並設する。

又、上記受発光部１とセンサ増幅器を内蔵した
函体４と平板３ｂとを固着する。

次に第５図に示すように搬送台９により運ばれ
て来たウエハキヤリヤ８の直下に本考案によるウ
エハカウンタを配置し、キヤリヤ８内のウエハ７
を平板３ｂにより軽くつき上げる。これによりキ
ヤリヤ８内のウエハ収容溝２に傾いて収容されて
いたウエハ７は第７図及び第９図に示すのと同じ
ように矯正され、カセツト内に収容されたウエハ
のオリエンテーシヨンフラツト部１０が測板３ｂ
のウエハ収容溝２の底部に完全に密着し、その直
下に設けた受発光部１の頭部にある受発光面との
距離ｌがいづれのウエハ７も略同じとなる。

次に受発光部１より第１図の実施例と同様な方
法により、グループ別に順次発光することにより
識別装置を通してキヤリヤ内に収容されているウ
エハをカウントすることが出来る。

本実施例は従来の装置（出願番号58−201044）
に比しカウント速度のアツプが図れるとともに従
来の装置の一部改造により製作が可能である。

本考案は上述の通りにしたので、前記従来の装
置のように、センサ受発光部を移動する操作とそ
の時間を要せず、単にウエハ収容溝にウエハを収
容した状態で直ちにカウントすることができウエ
ハのカウント時間を短縮することができる。又ウ
エハ収容溝の底面を含む面と受発光部との間に空
間部を設けたので、受発光部からの光をウエハの
周縁部で反射してそれを受発光部で感知すること
が出来るとともに、受発光部の移動を伴なわない
ので測定精度を高めることが出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の実施例の斜視図、第２図は第
１図の−線部断面図、第３図は第２図の−
線部断面図、第４図は他の実施例の要部斜視
図、第５図は第４図の使用状態を示す正面図、第
６図は各センサ受光部の作動状態を示す線図、第
７図は従来のウエハカウンタの使用状態を示す斜
視図、第８図は第７図の−線部断面図、第９
図は第８図の−線部断面図である。 １……センサ受発光部、２……ウエハ収容溝、
１１……ウエハ収容溝２の底面を含む面、１２…
…空間部、３ａ……センサ受発光部を固着した測
板、３a′……３ａに対応する側板、３ｂ……上下
動可能な平板。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 複数のセンサ受発光部１を等間隔かつ一列に
   配設し、該センサ受発光部１を挾んで両側に互
   に対応するウエハ収容溝２を有する部材を並設
   するとともに、該ウエハ収容溝２の底面１１を
   含む面とセンサ受発光部１の頭部との間に空間
   部１２を設けたことを特徴とするウエハカウン
   タ。 ２ ウエハ収容溝を有する部材が互に対抗する一
   対の可動側板３ａ，３a′であることを特徴とす
   る実用新案登録請求の範囲第１項記載のウエハ
   カウンタ。 ３ ウエハ収容溝２を有する部材が上下動が可能
   な平板３ｂであることを特徴とする実用新案登
   録請求の範囲第１項記載のウエハカウンタ。