JPH019172Y2 - - Google Patents
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- JPH019172Y2 JPH019172Y2 JP8072385U JP8072385U JPH019172Y2 JP H019172 Y2 JPH019172 Y2 JP H019172Y2 JP 8072385 U JP8072385 U JP 8072385U JP 8072385 U JP8072385 U JP 8072385U JP H019172 Y2 JPH019172 Y2 JP H019172Y2
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Landscapes
- Details Of Rigid Or Semi-Rigid Containers (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案はIC等の半導体機能部品の材料となる
シリコンウエハー等の半導体ウエハーを、特に航
空輸送する際に使用する半導体ウエハー収納容器
に関するものである。
シリコンウエハー等の半導体ウエハーを、特に航
空輸送する際に使用する半導体ウエハー収納容器
に関するものである。
従来の、主にIC等の素材となる半導体ウエハ
ー、その中でも特にIC回路を既に形成処理され
た後の半導体ウエハーの移送に用いることを目的
とする半導体ウエハー収納容器は、収納物即ち極
めて付加価値の高い半導体ウエハーと併せて小型
軽量であることから、輸送経費は少なくて済むが
輸送時間の多くかかる陸路や海路を利用するより
も、輸送に要する時間が極めて短くて済み且つ輸
送に要する経費も収納品の単位重量当たりに換算
すれば製品コストには殆ど負担とならない高付加
価値製品の持つ特性を最大に発揮すべく一般には
航空貨物として取り扱われることが多く、それ故
にこの種の半導体ウエハー収納容器は欠くべから
ざる必要条件として、航空機の離陸から着陸まで
の間にさらされる外部の気圧変化にも十分に耐え
られるように高気密高耐圧構造を備えていること
が要求されていた。何故ならば、航空機が陸上
（常圧）〜高空（低圧）〜陸上（常圧）の径路を
通過する際に受ける外部気圧の変化により生じる
容器内気圧との気圧差によつて容器が蓋の嵌合部
を介して呼吸をし、その際に付随的に大気中の微
細な塵をも取り込んでしまい、それらの塵が半導
体ウエハーの表面に付着した場合には、形成され
ている半導体回路が機能障害を起こす等の致命的
な不良原因と成りやすいからであつた。
ー、その中でも特にIC回路を既に形成処理され
た後の半導体ウエハーの移送に用いることを目的
とする半導体ウエハー収納容器は、収納物即ち極
めて付加価値の高い半導体ウエハーと併せて小型
軽量であることから、輸送経費は少なくて済むが
輸送時間の多くかかる陸路や海路を利用するより
も、輸送に要する時間が極めて短くて済み且つ輸
送に要する経費も収納品の単位重量当たりに換算
すれば製品コストには殆ど負担とならない高付加
価値製品の持つ特性を最大に発揮すべく一般には
航空貨物として取り扱われることが多く、それ故
にこの種の半導体ウエハー収納容器は欠くべから
ざる必要条件として、航空機の離陸から着陸まで
の間にさらされる外部の気圧変化にも十分に耐え
られるように高気密高耐圧構造を備えていること
が要求されていた。何故ならば、航空機が陸上
（常圧）〜高空（低圧）〜陸上（常圧）の径路を
通過する際に受ける外部気圧の変化により生じる
容器内気圧との気圧差によつて容器が蓋の嵌合部
を介して呼吸をし、その際に付随的に大気中の微
細な塵をも取り込んでしまい、それらの塵が半導
体ウエハーの表面に付着した場合には、形成され
ている半導体回路が機能障害を起こす等の致命的
な不良原因と成りやすいからであつた。
尚、航空機による輸送に供する場合であつても
気圧管理がなされている客室等を利用する場合に
は地上に於けると同様の条件で構わないことは勿
論のことである。
気圧管理がなされている客室等を利用する場合に
は地上に於けると同様の条件で構わないことは勿
論のことである。
上述の如き構成に係る従来の半導体ウエハー収
納容器は、高気密高耐圧構造を達成すべく容器本
体部分と蓋体部分との嵌合部には気圧差に耐え得
るように特に肉厚としたり、剛性を有する素材に
よる補強部材を組み合わせることも必要となり、
どうしてもこの種の半導体ウエハー収納容器は一
般に高価なものとならざるを得なかつた。
納容器は、高気密高耐圧構造を達成すべく容器本
体部分と蓋体部分との嵌合部には気圧差に耐え得
るように特に肉厚としたり、剛性を有する素材に
よる補強部材を組み合わせることも必要となり、
どうしてもこの種の半導体ウエハー収納容器は一
般に高価なものとならざるを得なかつた。
そこでこれらの根本的な問題を解消すべく本考
案の案出者らは既に、微細構造による分子濾過フ
イルターにより容器体が微細な塵を吸い込むこと
なく自由に空気の出し入れができるような半導体
ウエハー収納容器の構造を考案しており、（実願
昭60−54472号）これにより従来の半導体ウエハ
ー収納容器の有する基本的な問題点はほぼ完全に
克服され、製造コストの面から見ても極めて優れ
た性質を発揮するのであるが、実用面に於いて若
干の改善点が見いだされたため、その改善を施す
ためこの考案を成すに至つた。
案の案出者らは既に、微細構造による分子濾過フ
イルターにより容器体が微細な塵を吸い込むこと
なく自由に空気の出し入れができるような半導体
ウエハー収納容器の構造を考案しており、（実願
昭60−54472号）これにより従来の半導体ウエハ
ー収納容器の有する基本的な問題点はほぼ完全に
克服され、製造コストの面から見ても極めて優れ
た性質を発揮するのであるが、実用面に於いて若
干の改善点が見いだされたため、その改善を施す
ためこの考案を成すに至つた。
即ち、この種の半導体ウエハー収納容器は使用
後に洗浄を施すことによつて何度も繰り返して使
用するため、空気中の塵を濾過する分子濾過フイ
ルターは洗浄にも十分に耐えられるだけの強度を
有していなければならないと同時に、飛行機がエ
アポケツトに浸入してしまつた場合等に起きる急
激な気圧変化や、或いは比較的塵の密度の多い場
所で利用される場合に起きがちなフイルターの目
づまりによる容器体の呼吸作用の阻害等を未然に
防止するための対策が必要であることが判明した
のであつた。
後に洗浄を施すことによつて何度も繰り返して使
用するため、空気中の塵を濾過する分子濾過フイ
ルターは洗浄にも十分に耐えられるだけの強度を
有していなければならないと同時に、飛行機がエ
アポケツトに浸入してしまつた場合等に起きる急
激な気圧変化や、或いは比較的塵の密度の多い場
所で利用される場合に起きがちなフイルターの目
づまりによる容器体の呼吸作用の阻害等を未然に
防止するための対策が必要であることが判明した
のであつた。
本考案は、上述の点に鑑みて案出されたもの
で、以上の問題は、外部応力に対して剛性による
形状保持力を有する剛性樹脂材料より成り半導体
ウエハーを保持収納するウエハー保持用枠体と、
微細構造による分子濾過フイルターを備え前記ウ
エハー保持用枠体を収容する外囲容器体とにより
成る半導体ウエハー収納容器に於いて、前記分子
濾過フイルターが微細径繊維による布状構造体の
表面に極細径な透過孔を有する多孔質の膜体を形
成して成ることを特徴とする半導体ウエハー収納
容器によつて解決されるものである。
で、以上の問題は、外部応力に対して剛性による
形状保持力を有する剛性樹脂材料より成り半導体
ウエハーを保持収納するウエハー保持用枠体と、
微細構造による分子濾過フイルターを備え前記ウ
エハー保持用枠体を収容する外囲容器体とにより
成る半導体ウエハー収納容器に於いて、前記分子
濾過フイルターが微細径繊維による布状構造体の
表面に極細径な透過孔を有する多孔質の膜体を形
成して成ることを特徴とする半導体ウエハー収納
容器によつて解決されるものである。
尚、前記の分子濾過フイルターはフイルター表
面を保護するため、前記分子濾過フイルターの片
面あるいは両面に対向するような略格子状の補強
枠体に取り付ける形態が好適と思われる。そして
又、前記分子濾過フイルターは外囲容器体外方よ
り内方に向かうに従つて順に目が細かくなるよう
な多層構造を形成すると濾過効率の優れたフイル
ターを実現することができる。
面を保護するため、前記分子濾過フイルターの片
面あるいは両面に対向するような略格子状の補強
枠体に取り付ける形態が好適と思われる。そして
又、前記分子濾過フイルターは外囲容器体外方よ
り内方に向かうに従つて順に目が細かくなるよう
な多層構造を形成すると濾過効率の優れたフイル
ターを実現することができる。
以下、図面に基づいて本考案の一実施例を説明
する。
する。
図に於いて、１は本考案による半導体ウエハー
収納容器であり、以下の如き構成をとる。即ち、
例えばテフロンやポリプロピレン等の、外部応力
に対して剛性によりある程度形状保持力を有する
剛性樹脂材料より成り、シリコン等の主にIC用
に供される半導体ウエハー２を保持収納するウエ
ハー保持用枠体３と、微細構造による充分な濾過
面積を有する分子濾過フイルター４を備えた容器
本体部分５と蓋体部分６とにより成り前記ウエハ
ー保持用枠体３を収容する外囲容器体７とにより
基本構成を成し、前記の分子濾過フイルター４
は、更に第３図に表される如く、片面（勿論両面
でも可）に対向する略格子状の補強枠体４ａに微
細径繊維による布状構造体の表面に極細径な透過
孔を有する多孔質の膜体を形成して成るシート状
のフイルター体４ｂを組み合わせて構成し、前記
容器本体部分５には超音波接着技術等を利用して
取りつけ固定するものである。
収納容器であり、以下の如き構成をとる。即ち、
例えばテフロンやポリプロピレン等の、外部応力
に対して剛性によりある程度形状保持力を有する
剛性樹脂材料より成り、シリコン等の主にIC用
に供される半導体ウエハー２を保持収納するウエ
ハー保持用枠体３と、微細構造による充分な濾過
面積を有する分子濾過フイルター４を備えた容器
本体部分５と蓋体部分６とにより成り前記ウエハ
ー保持用枠体３を収容する外囲容器体７とにより
基本構成を成し、前記の分子濾過フイルター４
は、更に第３図に表される如く、片面（勿論両面
でも可）に対向する略格子状の補強枠体４ａに微
細径繊維による布状構造体の表面に極細径な透過
孔を有する多孔質の膜体を形成して成るシート状
のフイルター体４ｂを組み合わせて構成し、前記
容器本体部分５には超音波接着技術等を利用して
取りつけ固定するものである。
尚、同図中８は前記外囲容器体７の前記容器本
体部分５に蓋部分６を気密嵌合する嵌合部、９は
前記ウエハー保持用枠体３が前記外囲容器体７の
中に於ける横方向への移動を防ぐ固定突起、１０
も前記固定突起９と同様に縦方向への移動を防ぐ
目的で蓋部分６に設けられた固定突起である。そ
して前記分子濾過フイルター４は本実施例にあつ
ては複数箇所（４箇所）に設けているが、勿論一
箇所でも何等問題は無い。要するに外囲容器体７
が外部の急激な気圧変化に対しても十分に対応で
きる濾過面積が確保されればよいのであり、取り
つける場所も容器本体部分５の他、蓋部分６であ
つても何等差支え無い。
体部分５に蓋部分６を気密嵌合する嵌合部、９は
前記ウエハー保持用枠体３が前記外囲容器体７の
中に於ける横方向への移動を防ぐ固定突起、１０
も前記固定突起９と同様に縦方向への移動を防ぐ
目的で蓋部分６に設けられた固定突起である。そ
して前記分子濾過フイルター４は本実施例にあつ
ては複数箇所（４箇所）に設けているが、勿論一
箇所でも何等問題は無い。要するに外囲容器体７
が外部の急激な気圧変化に対しても十分に対応で
きる濾過面積が確保されればよいのであり、取り
つける場所も容器本体部分５の他、蓋部分６であ
つても何等差支え無い。
また図示はしないが、本実施例に於けるのと同
様の分子濾過フイルターの素材を利用して、本実
施例に於ける形状とは異なる、例えば開口部に気
密フアスナー等の気密封止機構を備え、前記分子
濾過フイルターの素材（シート）そのものにより
形成した袋状に構成することもできる。
様の分子濾過フイルターの素材を利用して、本実
施例に於ける形状とは異なる、例えば開口部に気
密フアスナー等の気密封止機構を備え、前記分子
濾過フイルターの素材（シート）そのものにより
形成した袋状に構成することもできる。
尚、前記ウエハー保持用枠体３は収納する半導
体ウエハー２の処理状態例えばMOS（金属酸化物
半導体）技術により形成された回路を有している
場合には適宜の導電処理を施された、あるいは導
電性を有する素材により形成することも可能であ
る。そして又前記フイルター体４ｂも別の理由即
ち集塵作用が起きて目づまりを起こさないように
帯電防止処理を施したり、万が一雨等の水を浴び
てもフイルター体が濾過機能を維持できるように
撥水処理を施すことも非常に有用である。
体ウエハー２の処理状態例えばMOS（金属酸化物
半導体）技術により形成された回路を有している
場合には適宜の導電処理を施された、あるいは導
電性を有する素材により形成することも可能であ
る。そして又前記フイルター体４ｂも別の理由即
ち集塵作用が起きて目づまりを起こさないように
帯電防止処理を施したり、万が一雨等の水を浴び
てもフイルター体が濾過機能を維持できるように
撥水処理を施すことも非常に有用である。
以上詳述の如く、本考案により外囲容器体に微
細径繊維による布状構造体の表面に極細径な透過
孔を有する多孔質の膜体を形成して成した、分子
サイズレベルの微少な塵の濾過作用を有する分子
濾過フイルターを備えたため、航空貨物輸送に供
しても外囲容器体の外部に於ける気圧変化は分子
濾過フイルターを介して移動する清浄な空気によ
り常に均衡しているため容器本体部分と蓋部分と
の嵌合部より微細な塵が吸入されることもなく、
内部に収納した半導体ウエハーの清浄度は全く失
われることがなく、また上述の理由により容器本
体部分と蓋部分との嵌合部の気密構造も軽便なも
のでよく、洗浄乾燥等の処理を施して再利用する
にあたつてもシート状のフイルター体を用いてい
るため非常に対処しやすく、また更にフイルター
体の片面あるいは両面に略格子状の補強枠体が対
向する如くに取りつけた場合には外部応力に対す
る対抗力が更に増加する等数々の優れた特性を発
揮する半導体ウエハー収納容器の提供が可能とな
つたのである。
細径繊維による布状構造体の表面に極細径な透過
孔を有する多孔質の膜体を形成して成した、分子
サイズレベルの微少な塵の濾過作用を有する分子
濾過フイルターを備えたため、航空貨物輸送に供
しても外囲容器体の外部に於ける気圧変化は分子
濾過フイルターを介して移動する清浄な空気によ
り常に均衡しているため容器本体部分と蓋部分と
の嵌合部より微細な塵が吸入されることもなく、
内部に収納した半導体ウエハーの清浄度は全く失
われることがなく、また上述の理由により容器本
体部分と蓋部分との嵌合部の気密構造も軽便なも
のでよく、洗浄乾燥等の処理を施して再利用する
にあたつてもシート状のフイルター体を用いてい
るため非常に対処しやすく、また更にフイルター
体の片面あるいは両面に略格子状の補強枠体が対
向する如くに取りつけた場合には外部応力に対す
る対抗力が更に増加する等数々の優れた特性を発
揮する半導体ウエハー収納容器の提供が可能とな
つたのである。
第１図は本考案の一実施例に係る半導体ウエハ
ー収納容器の概略斜視図、第２図は第１図の半導
体ウエハー収納容器の断面図、第３図は分子濾過
フイルターの拡大斜視図である。 ３……ウエハー保持用枠体、４……分子濾過フ
イルター、５……容器本体部分、６……蓋部分、
７……外囲容器体、９，１０……固定突起。
ー収納容器の概略斜視図、第２図は第１図の半導
体ウエハー収納容器の断面図、第３図は分子濾過
フイルターの拡大斜視図である。 ３……ウエハー保持用枠体、４……分子濾過フ
イルター、５……容器本体部分、６……蓋部分、
７……外囲容器体、９，１０……固定突起。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 外部応力に対して剛性による形状保持力を有
する剛性樹脂材料より成り半導体ウエハーを保
持収納するウエハー保持用枠体と、微細構造に
よる分子濾過フイルターを備え前記ウエハー保
持用枠体を収容する外囲容器体とにより成る半
導体ウエハー収納容器に於いて、前記分子濾過
フイルターが微細径繊維による布状構造体の表
面に極細径な透過孔を有する多孔質の膜体を形
成して成ることを特徴とする半導体ウエハー収
納容器。 (2) 分子濾過フイルターが略格子状の補強枠体に
取り付けられていることを特徴とする実用新案
登録請求の範囲第１項に記載の半導体ウエハー
収納容器。 (3) 略格子状の補強枠体が分子濾過フイルターの
両面に配されていることを特徴とする実用新案
登録請求の範囲第２項に記載の半導体ウエハー
収納容器。 (4) 分子濾過フイルターが多層構造を有している
ことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１
項乃至第２項の何れかに記載の半導体ウエハー
収納容器。 (5) 多層構造より成る分子濾過フイルターは、外
囲容器体外方より内方に向かうに従つて目が細
かくなつていることを特徴とする実用新案登録
請求の範囲第４項に記載の半導体ウエハー収納
容器。 (6) 分子濾過フイルターが帯電防止処理を施され
ていることを特徴とする実用新案登録請求の範
囲第１項乃至第５項に記載の半導体ウエハー収
納容器。 (7) 分子濾過フイルターが撥水処理を施されてい
ることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第
１項乃至第６項に記載の半導体ウエハー収納容
器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8072385U JPH019172Y2 (ja) | 1985-05-29 | 1985-05-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8072385U JPH019172Y2 (ja) | 1985-05-29 | 1985-05-29 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61196536U JPS61196536U (ja) | 1986-12-08 |
| JPH019172Y2 true JPH019172Y2 (ja) | 1989-03-13 |
Family
ID=30626846
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8072385U Expired JPH019172Y2 (ja) | 1985-05-29 | 1985-05-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH019172Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5873468A (en) * | 1995-11-16 | 1999-02-23 | Sumitomo Sitix Corporation | Thin-plate supporting container with filter means |
-
1985
- 1985-05-29 JP JP8072385U patent/JPH019172Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61196536U (ja) | 1986-12-08 |
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